MIKRO! Mikroelektronik / IKT in Sachsen - Silicon Saxony e. V.

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MIKRO! Mikroelektronik / IKT in Sachsen - Silicon Saxony e. V.
MIKRO!
   ORGANISCHE  ELEKTRONIK·SOFTWARE·E
   ANALYTIK·MOBILFUNK·SMART SYSTEMS
   Mikroelektronik / IKT in Sachsen

  ALTKREISE·HARDWARE·ANALYTIK·MOBIL
  RT SYSTEMS·CHIPDESIGN·MATERIAL·MEM
  K·NANOTECHNOLOGIE·SCHALTKREISE·
  E·ORGANISCHE ELEKTRONIK·EQUIPMENT
A LYTIK·MOBILFUNK·MEMS·SMART SYSTEM
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Unternehmen                           7    Ausbildung & Forschung                21   Netzwerke   27

Mikro- und Nanoelektronik             8    Ausbildung                            22
Neue Materialien                      11   Mikro- und Nanoelektronik             23
Nanotechnologie                       12   Intelligente Kommunikation            24
Intelligente Kommunikation            13   MEMS / Smart Systems                  25
MEMS / Smart Systems                  13   Organische und Gedruckte Elektronik   25
Organische und Gedruckte Elektronik   14
Fortschrittliche Fertigungssysteme    16
Software, Hardware und IT             18
MIKRO! Mikroelektronik / IKT in Sachsen - Silicon Saxony e. V.
UNTERNEHMEN DER MIKROELEKTRONIK- / IkT-BRANCHE IN SACHSEN (AUSWAHL)

              Leipzig

                                                     Dresden

                             Chemnitz

                                                                      Quelle: Wirtschaftsförderung Sachsen GmbH, Silicon Saxony e. V.
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Register der genannten Firmen & Institutionen
Unternehmen/Institution                                            Webadresse                       Unternehmen/Institution                                                                    Webadresse
Mikro- und Nanoelektronik
  Advanced Mask Technology Center GmbH & Co. KG (AMTC)             www.amtc-dresden.de               M+W Group                                                                                 www.mwgroup.net
  Deutsche Cell GmbH                                               www.deutschecell.de               MicroSystems GmbH                                                                         www.microsystems.de
  Deutsche Solar GmbH                                              www.deutschesolar.de              Roth & Rau AG                                                                             www.roth-rau.de
  DMOS GmbH                                                        www.dmosdesign.com                SGS INSTITUT FRESENIUS GmbH                                                               www.institut-fresenius.de
  GLOBALFOUNDRIES Fab 1 Dresden                                    www.globalfoundries.com           XENON Automatisierungstechnik GmbH                                                        www.xenon-dresden.de
  Infineon Technologies Dresden GmbH                               www.infineon.de
                                                                                                    Software, Hardware und IT
  JSSi GmbH                                                        www.js-silicon.de
                                                                                                     BuS Elektronik GmbH & Co. KG                                                              www.bus-elektronik.de
  Leading-Edge Cluster »Cool Silicon«                              www.cool-silicon.de
                                                                                                     Comarch Software AG                                                                       www.comarch.de
  Photronics MZD GmbH                                              www.photronics.com
  SAW COMPONENTS Dresden GmbH                                      www.sawcomponents.de              COMPAREX AG                                                                               www.comparex-group.com
  SolarFactory GmbH                                                www.solarfactory.de               itCampus Software- und Systemhaus GmbH                                                    www.itcampus.eu
  SolarWorld AG                                                    www.solarworld.de                 Leesys - Leipzig Electronic Systems GmbH                                                  www.leesys.com
  SolarWorld Innovations GmbH                                      www.sw-innovations.de             MEGWARE Computer Vertrieb und Service GmbH                                                www.megware.com
  Toppan Photomasks Germany GmbH                                   www.photomask.com                 Robotron Datenbank-Software GmbH                                                          www.robotron.de
  X-FAB Dresden GmbH                                               www.xfab.de                       SAP AG                                                                                    www.sap.com/germany
  Zentrum Mikroelektronik Dresden AG (ZMDI)                        www.zmd.biz                       Software AG                                                                               www.softwareag.com
Neue Materialien                                                                                     SYSTEMA Systementwicklung Dipl.-Inf. Manfred Austen GmbH                                  www.systemagmbh.de
  AIR LIQUIDE Electronics GmbH                                     www.airliquide.de                 TechniSat Digital GmbH                                                                    www.technisat.com

  AZZURRO Semiconductors AG                                        www.azzurro-semiconductors.com    T-Systems Multimedia Solutions GmbH                                                       www.t-systems-mms.com
  bubbles & beyond GmbH                                            www.bubbles-beyond.com           Ausbildung & Forschung
  Freiberger Compound Materials GmbH (FCM)                         www.fcm-germany.com               Deutsche Telekom AG, Hochschule für Telekommunikation Leipzig (HfTL)                      www.hft-leipzig.de
  Siltronic AG, Werk Freiberg                                      www.siltronic.de
                                                                                                     dresden chip academy (dca)                                                                www.dresden-chip-academy.de
Nanotechnologie                                                                                      Fraunhofer IZM - All Silicon System Integration Dresden (ASSID)                           www.izm.fraunhofer.de
  AXO DRESDEN GmbH                                                 www.axo-dresden.de                Fraunhofer-Einrichtung für Elektronische Nanosysteme (ENAS)                               www.enas.fraunhofer.de
  CREAVAC - Creative Vakuumbeschichtung GmbH                       www.creavac.de                    Fraunhofer-Einrichtung für Organik, Materialien und                                       www.comedd.fraunhofer.de
  NanoelektronikZentrumDresden GmbH                                www.nanodresden.de                Elektronische Bauelemente (COMEDD)
  Saxray GmbH                                                      www.saxray.de                     Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik (FEP)                         www.fep.fraunhofer.de
  VON ARDENNE Anlagentechnik GmbH                                  www.vonardenne.biz                Fraunhofer-Institut für Keramische Technologien und Systeme (IKTS)                        www.ikts.fraunhofer.de
  VTD Vakuumtechnik Dresden GmbH                                   www.vtd.de                        Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS)                                   www.ipms.fraunhofer.de
                                                                                                     Fraunhofer-Institut für Zerstörungsfreie Prüfverfahren, Institutsteil Dresden (IZFP-DD)   www.izfp-d.fraunhofer.de
Intelligente Kommunikation
                                                                                                     Fraunhofer-Technologiezentrum Halbleitermaterialien (THM)                                 www.thm.fraunhofer.de
  Intel Mobile Communications Technology Dresden GmbH              www.intel.com
                                                                                                     Helmholtz-Institut Freiberg für Ressourcentechnologie                                     www.hzdr.de/db/Cms?pNid=2423
  KOMSA KOMMUNIKATION SACHSEN AG                                   www.komsa.de
  RadioOpt GmbH                                                    www.radioopt.com                  Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e. V. (HZDR)                                         www.hzdr.de

  Signalion GmbH                                                   www.signalion.com                 Institut für Angewandte Photophysik (IAPP), TU Dresden                                    www.iapp.de
                                                                                                     Institut für Aufbau- und Verbindungstechnik der Elektronik (IAVT) und Zentrum für         www.avt.et.tu-dresden.de
MEMS / Smart Systems                                                                                 mikrotechnische Produktion (ZµP), TU Dresden
  ADZ NAGANO GmbH                                                  www.adz.de                        Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik (IHM), TU Dresden                         www.ihm.tu-dresden.de
  GEMAC - Gesellschaft für Mikroelektronikanwendung Chemnitz mbH   www.gemac.info                    Institut für Print- und Medientechnik (pmTUC), TU Chemnitz                                www.tu-chemnitz.de/mb/PrintMedienTech
  Microelectronic Packaging Dresden GmbH (MPD)                     www.mpd.de                        Nanoelectronic Materials Laboratory gGmbH (NaMLab), TU Dresden                            www.namlab.com
  MICRO-EPSILON Optronic GmbH                                      www.micro-epsilon.de              Technische Universität Bergakademie Freiberg                                              www.tu-freiberg.de
  Silicon Micro Sensors GmbH                                       www.smicrosensors.de              Technische Universität Chemnitz                                                           www.tu-chemnitz.de
  Smart Systems Campus Chemnitz                                    www.smartsystemscampus.de         Technische Universität Dresden                                                            www.tu-dresden.de
Organische und Gedruckte Elektronik                                                                  Vodafone Stiftungslehrstuhl Mobile Nachrichtensysteme, TU Dresden                         www.vodafone-chair.com
  CreaPhys GmbH                                                    www.creaphys.com                  Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM), TU Chemnitz                                          www.zfm.tu-chemnitz.de
  Heliatek GmbH                                                    www.heliatek.de                  Netzwerke
  LEDON OLED Lighting GmbH & Co. KG                                www.ledonlighting.com             Nanotechnologie-Kompetenzzentrum »Ultradünne funktionale Schichten« (NANO-CC-UFS)         www.nanotechnology.de
  Novaled AG                                                       www.novaled.com
                                                                                                     Organic Electronics Saxony e. V.                                                          www.oes-net.de
  Plastic Logic GmbH                                               www.plasticlogic.com
                                                                                                     RFID Saxony                                                                               www.rfid-saxony.de
  Printechnologics GmbH                                            www.printechnologics.de
                                                                                                     Silicon Saxony e. V.                                                                      www.silicon-saxony.de
Fortschrittliche Fertigungssysteme                                                                   Software Saxony                                                                           www.software-saxony.de
  3D-Micromac AG                                                   www.3d-micromac.de
                                                                                                    Sonstige Kontakte
  Cascade Microtech GmbH                                           www.cmicro.com
                                                                                                     »Invest in Saxony« – Sachsens Portal für Investoren                                       www.invest-in-saxony.de
  DAS Environmental Expert GmbH                                    www.das-europe.com
  FHR Anlagenbau GmbH                                              www.fhr.de                        Sächsisches Staatsministerium für Wirtschaft und Arbeit (SMWA)                            www.smwa.sachsen.de
  Kinetics Germany GmbH                                            www.kinetics.net                  Wirtschaftsförderung Sachsen GmbH (WFS)                                                   www.wfs.sachsen.de
MIKRO! Mikroelektronik / IKT in Sachsen - Silicon Saxony e. V.
MIKRO!

Willkommen!
»Silicon Saxony« ist Europas größter Mikroelektronik-Cluster und der    duzieren und vertreiben elektronische Produkte und Systeme auf der       5
fünftgrößte weltweit. In der Region zwischen Dresden, Freiberg und      Basis integrierter Schaltungen oder entwickeln und vermarkten Soft-
Chemnitz findet sich eine einzigartige Ballung von Unternehmen und      ware.
Forschungsinstituten mit Know-how in den Bereichen Mikro- und
Nanoelektronik, Nanotechnologie, Intelligente Kommunikation, Ener-      Seine Innovationskraft zeigt »Silicon Saxony« auf verschiedenen
gieeffiziente Systeme, Smart Systems und vernetzte Sensorik sowie       Gebieten: Die Novaled AG in Dresden ist weltweit führend bei der
Organische und Gedruckte Elektronik.                                    Herstellung von hocheffizienten und langlebigen OLEDs, die Partner
                                                                        des Spitzenclusters »Cool Silicon« entwickeln energieeffiziente IKT-
Mehr als 2.100 Unternehmen mit insgesamt 51.000 Mitarbeitern sind       Lösungen und das Leipziger Unternehmen bubbles & beyond GmbH
in Sachsen auf allen Stufen der IKT-Wertschöpfungskette aktiv:          entwickelt intelligente Fluids, die eine sanfte Reinigung von hochemp-
Sie entwickeln, fertigen und vermarkten integrierte Schaltkreise oder   findlichen Reinräumen und Wafern ermöglichen.
dienen der Chipindustrie als Material- und Equipmentlieferanten, pro-
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Geschichte
                         1886                1961                 1994                     1996                     1999                     2003                   2006                  2009                  2010                     2011                 2012

      1703                     1957                                    1995                    1998                     2002                     2005                  2007

6

    Der Leipziger                          Gründung der             Gründung der             Bis 2000 Entwick-        Gründung der            Eröffnung des          Eröffnung der     Im März 2009         GLOBALFOUNDRIES           Infineon             Start der weltweit
    Universalgelehr-                       »Arbeitsstelle für       Freiberger Com-          lung der 300-mm-         Advanced Mask           Fraunhofer-Cen-        Nanoelectronic    nimmt GLOBAL-        legt ein 2-Mrd.-Dollar-   Technologies gibt    ersten Produktion
    te Gottfried                           Molekulartech-           pound Materials          Technologie durch        Technology Cen-         ter Nanoelektro-       Materials Labo-   FOUNDRIES INC.       Investitionsprogramm      den Ausbau           von flexiblen orga-
    Wilhelm Leib-                          nik« (AME) durch         GmbH (FCM)               Infineon Technolo-       ter GmbH & Co.          nische Techno-         ratory gGmbH      die Geschäfts-       für den Ausbau seines     (250 Mio. Euro)      nischen Solarfolien
    niz erfindet                           den Physiker             – heute einer            gies Dresden und         KG (AMTC) – ein         logien (CNT) in        (NaMLab) – ein    tätigkeit auf. Als   Dresdner 300-mm-          der Dresdner Fab     mittels Vakuum-
    das Dualsys-                           Werner Hart-             der weltweit             Motorola; Bau der        Joint-Venture von       Dresden                An-Institut der   Joint-Venture von    Werkes auf.               für die Fertigung    deposition durch
    tem – die                              mann in Dresden          führenden Her-           ersten 300-mm-           AMD (heutiger                                  TU Dresden        AMD und der                                    von Leistungs-       die Dresdner
    mathematische                          zur Entwicklung          steller von GaAs-        Fabrik der Welt          Partner GLOBAL-                                                  ATIC Company         Infineon Technologies     halbleitern          Heliatek GmbH
    Grundlage der                          und Herstellung          Wafern – durch                                    FOUNDRIES) und      Erster Spaten-                               (Abu Dhabi)          investiert 200 Mio.       auf Basis von
    Computerwelt                           integrierter             die israelische                                   Toppan Photo­       stich für die          Beginn des Aus-       übernimmt es         Euro in die Kapazitäts-   300-mm-Wafern
    aus Einsen und                         Schaltkreise             Federmann           Start der Produktion          masks – zur Ent­-   AMD Fab 36             baus der AMD          die Fertigungs-      erweiterung seiner        bekannt.
    Nullen.                                                         Enterprises Ltd.    von Reinst-Silizium           wicklung und        – AMDs erste           Fab 30 (200 -mm-      standorte von        Dresdner 200-mm-
                             Gründung des                                               am Standort Frei-             Pilotproduktion     Produktionsstätte      Technologie) zur      AMD weltweit,        Fab.                      Intel eröffnet
                             VEB Spurenme-                                              berg durch die                von Photomasken     auf Basis von          Fab 38 (300 -mm-      produziert aber                                einen Entwick-
                             talle Freiberg;                    Gründung des            bayrische Wacker                                  300 -mm-Wafern;        Technologie)          auch für andere      SolarWorld AG             lungsstandort in
                             1966 Beginn der                    Siemens Micro­          Siltronic GmbH                                    Produktionsstart                             Halbleiterherstel-   erweitert Standort        Dresden – die
                             Produktion von                     electronics Center      (heute Siltronic AG)      Weltweit erste          2005                                         ler. 2012 über-      Freiberg –                Intel Mobile
                             monokristallinen                   Dresden (ab                                       Einführung der                                                       nimmt ATIC alle      dritte Modulfertigung,    Communications
                             Siliziumblöcken                    1999 Infineon           Erster Spatenstich        Kupfertech-                                                          Anteile.             Ausbau Logistik-          Technology
                             und Wafern                         Technologies            für die AMD Fab           nologie in der                                                                            zentrum, neues            Dresden GmbH.
                                                                Dresden)                30 in Dresden;            Dresdner AMD                                                                              FuE-Zentrum
                                                                                        1999 Eröffnung            Fab 30                                                                                                              Eröffnung des
                       Clemens Wink-                            Start der Produk-       des Werkes                                                                                                                                    Helmholtz-
                       ler, Chemiker                            tion von Solar-                                                                                                                                                       Instituts Freiberg
                       an der Bergaka-                          silizium-Wafern                                                                                                                                                       für Ressourcen-
                       demie Freiberg,                          durch die Bayer                                                                                                                                                       technologie, ein
                       entdeckt das                             Solar GmbH in                                                                                                                                                         gemeinsames
                       Element »Ger-                            Freiberg (2000                                                                                                                                                        Projekt des Helm-
                       manium« – das                            Übernahme                                                                                                                                                             holtz-Zentrums
                       erste Halbleiter-                        durch Solar-                                                                                                                                                          Dresden-Rossen-
                       material.                                World AG)                                                                                                                                                             dorf und der TU
                                                                                                                                                                                                                                      Bergakademie
                                                                                                                                                                                                                                      Freiberg
MIKRO! Mikroelektronik / IKT in Sachsen - Silicon Saxony e. V.
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Mikro!

  Unternehmen
MIKRO! Mikroelektronik / IKT in Sachsen - Silicon Saxony e. V.
Mikro- und Nanoelektronik                                                               Die X-FAB Dresden GmbH & Co. KG ist eine Halbleiter-Foundry und            Foto Seite 7
                                                                                                                                                                       In der Fertigung bei Infineon Tech-
                                                                                            fertigt im Kundenauftrag analog-digitale integrierte Schaltkreise. Am      nologies Dresden durchlaufen jede
    Die GLOBALFOUNDRIES Fab 1 in Dresden wird derzeit zum größten                           Standort Dresden werden von ca. 400 Mitarbeitern Mixed-Signal-Tech-        Woche Tausende von Silizumscheiben
                                                                                                                                                                       die hochkomplexe Fertigung in
    europäischen Halbleitwerk ausgebaut und zählt zu den produktivsten                      nologien bis 0,35 µm auf 8-Zoll-Siliziumwafern hergestellt. Als Bestand-   Reinraumklasse 1.
    und modernsten Waferfabriken weltweit. Die Fab 1 ist GLOBAL-                            teil der weltweit agierenden X-FAB-Gruppe ist X-FAB Dresden auch
                                                                                                                                                                       Foto unten rechts
    FOUNDRIES‘ Leitstandort mit mehr als 3.400 hoch qualifizierten Inge-                    wesentlich an der Entwicklung hocheffektiver Mixed-Signal-Technologien     SAW COMPONENTS stellt Mikrochips
                                                                                                                                                                       im Waferverbund und als fertiges Bau-
    nieuren, Technikern und Spezialisten sowie einem Investitionsvolumen                    für Strukturbreiten bis 0,18 µm beteiligt.                                 element her. Hohe technologische
    von bisher weit mehr als 8 Mrd. US-Dollar. Das Unternehmen fertigt                                                                                                 Sicherheit und umfangreiche Erfahrungen
                                                                                                                                                                       kommen den Kunden dabei sowohl bei
    in Dresden Chips in 45-, 40-, 32- und 28-nm-Technologien für Kunden                     Die SAW COMPONENTS Dresden GmbH entwickelt und fertigt Mikro-              Groß- als auch bei individuellen Klein-
    aus aller Welt.                                                                         chips und elektronische Bauelemente für alle Bereiche der Hochfre-         serien zugute.

8                                                                                           quenz- und Funkübertragungstechnik, Sensorik und Funkidentifikation
    Die Infineon Technologies Dresden GmbH ist einer der größten Ferti-                     auf der Grundlage des Oberflächenwelleneffekts (Surface Acoustic
    gungsstandorte der Infineon AG, in den seit 1994 über 3 Mrd. EUR                        Waves – SAW). Bis zu drei Mio. SAW-Chips verlassen wöchentlich das
    investiert wurden. Im sächsischen Werk werden hochwertige Chips                         Dresdner Werk. Zum Einsatz kommen sie z. B. in Mobiltelefonen, GPS-
    auf 200-mm-Siliziumscheiben hergestellt. Im Jahr 2011 hat der Infineon-                 Geräten und Funkfernbedienungen.
    Vorstand entschieden, Dresden als weltweit ersten Hochvolumen-
    Standort für die Produktion von Leistungshalbleitern auf 300-mm-                        Die Zentrum Mikroelektronik Dresden AG (ZMDI) ist ein weltweit füh-
    Silizumscheiben auszubauen.                                                             render Entwickler von Mixed-Signal-Halbleiterlösungen für die Märkte
                                                                                            Automobil, Medizin- und Konsumgüter sowie Industrieautomation.

                                    Helmut Warnecke               »Nur wenige Chiphersteller weltweit bedienen ein so
                                    breites Produktspektrum wie Infineon: In Dresden stellen wir mehr als 200 verschie-
                                    dene Logikschaltkreise für ganz unterschiedliche Anwendungsbereiche her und bau-
                                    en aktuell die weltweit erste Hochvolumenproduktion für Leistungshalbleiter auf
                                    300-mm-Silizumscheiben auf. Das geht natürlich nur mit hoch qualifizierten, erfah-
                                    renen und motivierten Mitarbeitern und einer exzellenten Infrastruktur, wie wir sie
                                    hier in Dresden seit mehr als achtzehn Jahren vorfinden.«
                                    (Geschäftsführer, Infineon Technologies Dresden GmbH)
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Foto rechts                                Ein Produkt-Beispiel ist der intelligente Batterie-Monitor-Mikrochip
Derzeit wird die Kapazität der
GLOBALFOUNDRIES Fab 1 in Dresden
                                           ZSSC1856, der durch Ladekontrolle bei Lithium-Ionen-Batterien Energie
erheblich erweitert. Bei Vollausbau wird   einspart. Außerdem wird durch die gezielte Überwachung des Lade-
die Fab über eine Gesamtkapazität von
80.000 300-mm-Waferstarts pro Monat        bzw. Entladeprozesses Schaden abgewehrt und somit die Lebensdauer
verfügen.                                  der Batterien verlängert.

                                           Die DMOS GmbH Dresden entwickelt anwendungsspezifische (ASICs)
                                           und Standard-Schaltkreise (ASSPs) für Anwendungen in der Automobil-
                                           und Automatisierungstechnik, darunter Motor-Controller für Lüftungen
                                           und Klimaanlagen sowie Power-Management- und Bus-Sende- und
                                           Empfangs-Bausteine für die Bordkommunikation von Personen- und                9
                                           Lastkraftfahrzeugen.

                                           Die Photronics MZD GmbH in Dresden ist eine Tochter der ameri-
                                           kanischen Photronics Inc. Das Unternehmen stellt photolithografische
                                           Masken für Chiphersteller in Europa und Asien her. Außerdem ent-
                                           wickelt es Masken mit Strukturbreiten von 100 nm, z. B. für spezielle
                                           optische und lithografische Anwendungen.

                                           Dr. Rutger Wijburg »Der Dresdner GLOBALFOUNDRIES-Stand-
                                           ort trägt seit 15 Jahren zum guten Ruf Sachsens als führendem europäischen
                                           Mikroelektronik-Cluster bei. Mehr als 3.400 Mitarbeiter arbeiten bei uns im
                                           größten und modernsten Chipwerk Europas an innovativen Technologie-
                                           lösungen für Kunden aus der ganzen Welt. Diese Erfolgsgeschichte baut auf
                                           den Standortstärken der Region auf – hervorragend ausgebildete Mitarbeiter,
                                           exzellente Ausbildungseinrichtungen, innovative Forschungsinstitute sowie
                                           ein technologiefreundliches Umfeld. Wir freuen uns darauf, auch zukünftig
                                           Technologieinnovationen aus Dresden heraus vorantreiben zu können.«
                                           (Senior Vice President und General Manager, GLOBALFOUNDRIES Fab 1 Dresden)
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»Cool Silicon« In dem sächsischen Spitzencluster entwickeln über
     100 Partner aus Forschung und Industrie gemeinsam Lösungen, die den
     Energieverbrauch im Bereich der IKT deutlich senken. Die Ergebnisse
     der Arbeit können sich sehen lassen. – So wurde z. B. die Batterielaufzeit
     in Laptops mittels der neuartigen HKMG-CMOS-Technologie von 8 auf
     über 10 Stunden erhöht. Ein innovativer Leistungsverstärker senkt den
     Energiebedarf von mobilen Geräten um 15 %, von Basisstationen um
     30 %. Und gemeinsam entwickelte Überwachungssensoren für Flug-
     zeuge sparen bis zu 25 Tonnen Kerosin auf Transatlantikflügen.

10   Die Advanced Mask Technology Center GmbH & Co. KG (AMTC)                     Foto links
                                                                                  Das AMTC liefert technologisch führende
     ist ein Joint Venture von GLOBALFOUNDRIES und Toppan Photo-                  Photomasken an GLOBALFOUNDRIES
     masks. Mit dem AMTC ist in Sachsen ein weltweit führendes                    sowie an das europäische und weltweite
                                                                                  Kundennetzwerk von Toppan Photomasks
     Zentrum für die Forschung, Entwicklung und Produktion von Photo-             Inc. Die Produktionseinrichtungen von
     lithografie-Masken entstanden. Die Nähe zu den Fertigungs-Stand-             Toppan Photomasks in Dresden sind in
                                                                                  die Fertigung des AMTC integriert.
     orten von GLOBALFOUNDRIES und Infineon erlaubt eine besonders
                                                                                  Foto oben rechts
     enge Kooperation, um schnell auf Kundenanforderungen reagieren               In »Area 1 – Mikro- und Nanotechnologien:
     zu können.                                                                   Technologien für energieeffiziente
                                                                                  Computing-Plattformen« des Spitzen-
                                                                                  clusters »Cool Silicon« entwickelt
     Im sächsischen Freiberg decken fünf Tochtergesellschaften der                GLOBALFOUNDRIES gemeinsam mit
                                                                                  vielen Partnern Basistechnologien und
     SolarWorld AG alle Produkte und Prozesse der photovoltaischen                Analyse- und Produktionsmethoden für die
     Wertschöpfungskette ab – vom Solarsilizium (JSSi GmbH – Joint                Herstellung energieeffizienter Elektronik.

     Solar Silicon) über die Wafer (Deutsche Solar GmbH) und Solar-
     zellen (Deutsche Cell GmbH) bis hin zu Modulen (SolarFactory
     GmbH). Auch das Recycling von (Solar)Silizium (Deutsche Solar
     GmbH) sowie die Bündelung der gesamten Forschungs- und
     Entwicklungsaktivitäten (SolarWorld Innovations GmbH) finden
     in Freiberg statt.
Dr. Christoph von Plotho »Wir haben uns 1995 für den Stand-
                                             ort Freiberg entschieden und die letzten 17 Jahre haben gezeigt, wie
                                             richtig diese Entscheidung war. Heute ist Freiberg ein wichtiger Produk-
                                             tionsstandort für 300-mm-Wafer. Das kommt nicht von ungefähr, denn
                                             hier in Sachsen hat die Mikroelektronik eine jahrzehntelange Tradition.
                                             Darum finden wir in dieser Region auch genau die gut ausgebildeten Mit-
                                             arbeiter, deren Kompetenz und Leistungsbereitschaft mit die Grundlage
                                             für unseren wirtschaftlichen Erfolg legen.«
                                             (Vorstandsvorsitzender, Siltronic AG)

Foto oben rechts                             Neue Materialien                                                           Wafer auf Siliziumsubstraten und nutzt dafür ein weltweit einzigartiges   11
Die Freiberger Compound Materials GmbH
(FCM) zählt zu den Technologieführern
                                                                                                                        Verfahren. Die Wafer werden u. a. in der Fertigung kostengünstiger
ihrer Sparte und deckt mit ihren Produkten   Die Siltronic AG verfügt an ihrem Standort in Freiberg über eine           Leuchtdioden sowie energieeffizienter Elemente für die Leistungselek-
– halbisolierende und halbleitende Wafer
bis 150 mm Durchmesser (200 mm in Ent­       hochmoderne Tiegelziehfabrik für Siliziumeinkristalle bis 300 mm           tronik eingesetzt. Verglichen mit herkömmlichen Galliumnitrid-Wafern
wicklung) – alle wesentlichen Anwendungs-    Durchmesser sowie eine der weltweit modernsten Fertigungslinien für        erlauben die AZZURRO-Wafer eine Weiterverarbeitung auf Standard-
gebiete für GaAs-Substrate ab.
                                             300-mm-Siliziumwafer. Siltronic hat hier seit 1996 circa 825 Mio. Euro     Fertigungslinien der Halbleiterindustrie, wodurch sich massive Kosten-
                                             investiert und beschäftigt mehr als 900 Mitarbeiter.                       einsparungen erzielen lassen.

                                             Die Freiberger Compound Materials GmbH (FCM) ist einer der welt-           Die AIR LIQUIDE Electronics GmbH in Ottendorf-Okrilla, eine
                                             weit führenden Hersteller von Galliumarsenid-Substraten (GaAs) für         Tochterfirma des französischen Weltmarktführers Air Liquide S.A., ver-
                                             Hochfrequenzleistungsbauelemente. FCM ist dabei das einzige Unter-         sorgt mit über 100 Mitarbeitern namhafte in Sachsen ansässige Halb-
                                             nehmen, das beide Herstellungsverfahren zur Züchtung von Einkristal-       leiterhersteller mit Gasen und gastechnischen Ausrüstungen sowie
                                             len beherrscht – LEC (Liquid Encapsulated Czochralski) und VGF (Ver-       Service.
                                             tical Gradient Freeze). Seit der Gründung 1995 durch den israelischen
                                             Mutterkonzern, Federmann Enterprises Ltd., wurden am Standort über         Die bubbles & beyond GmbH aus Leipzig entwickelt intelligent fluids®
                                             110 Mio. Euro investiert und ca. 250 Arbeitsplätze geschaffen.             – umweltverträgliche Formulierungen für Entschichtungs- und Reini-
                                                                                                                        gungsschritte in mikroelektronischen Prozessen, z. B. für das Ablösen
                                             Mit derzeit fast 40 Mitarbeitern entwickelt und produziert die             des Fotoresistlackes auf Wafern. Durch Verwendung sanfter chemischer
                                             AZZURRO Semiconductors AG am Standort Dresden Galliumnitrid-               Formulierungen sind beim Anwender Prozessverkürzungen möglich und
der Einsatz aggressiver Prozesschemikalien sinkt. Weiterhin bietet        Die VTD Vakuumtechnik Dresden GmbH ist ein Hersteller von kun-            Foto unten links
                                                                                                                                                         Das Produktionsgebäude der VON
     bubbles & beyond Produkte zur Teilereinigung nach Vakuumprozessen,        denspezifischen Vakuum-Beschichtungssystemen. Im Fokus stehen da-         ARDENNE Anlagentechnik am Standort
     z. B. die Entfernung von organischen Resublimaten oder Farbstoffen, an.   bei energieeffiziente und umweltgerechte Anlagensysteme zur PVD-          Dresden-Weißig »glänzt« durch eine
                                                                                                                                                         300 -qm-Solarfassade mit CIS -Solarmodu-
                                                                               Vakuumbeschichtung von Kunststoff, Glas, Keramik und Metall. Zur          len. Das für die 420 Module verwendete
     Nanotechnologie                                                           Weltspitze gehören die hochproduktiven Kurztakt-Sputtersysteme zur        Glas wurde auf firmeneigenen Anlagen
                                                                                                                                                         beschichtet.
                                                                               Metallisierung von Automobilreflektoren, sowie ein modular aufge-
                                                                                                                                                         Foto unten mitte
     Die AXO DRESDEN GmbH ist ein Spin-off aus dem Fraunhofer-Institut         bautes PVD-System für die Hochrate-Abscheidung von superharten,
                                                                                                                                                         Die intelligent fluids®-Entschichter von
     für Werkstoff- und Strahltechnik (IWS) Dresden und entwickelt und pro-    amorphen DLC-Schichten.                                                   bubbles & beyond (im Bild: Anwendung
                                                                                                                                                         auf einem Wafer zur Entfernung von
     duziert Röntgenoptiken und Hochpräzisionsbeschichtungen. Mit ihren                                                                                  Fotoresistlack) entfernen hartnäckige
     sich ergänzenden Präzisionsbeschichtungsverfahren können Einzel- und      Die Dresdner CREAVAC – Creative Vakuumbeschichtung GmbH                   Verschmutzungen in der Mikroelektronik
                                                                                                                                                         hocheffektiv. Dies geschieht durch physi-
12   Multischichten im Nanometerbereich mit extrem hoher Präzision her-        bietet innovative Beschichtungen an und baut Vakuumbeschichtungs-         kalische Effekte. Ein chemisches Auflösen
     gestellt werden.                                                          anlagen. Mit verschiedenen Verfahren erzeugt das Unternehmen              oder Ätzen findet nicht statt.

                                                                               technische und dekorative Oberflächen mit Metallen bzw. Lacken und        Foto unten rechts
                                                                                                                                                         Die META ROT von VTD Vakuumtechnik
     Die VON ARDENNE Anlagentechnik GmbH entwickelt und fertigt in             entwickelt Schichtsysteme für unterschiedlichste Anwendungen.
                                                                                                                                                         (im Bild: Blick in die Vakuumkammer
     Dresden Anlagen für industrielle nano- bis mikrometerdünne Beschich-                                                                                mit bestücktem Substrathalter im Vor-
                                                                                                                                                         dergrund) ist eine flexible, horizontale
     tungen auf großflächigen Materialien wie Glas, Metallband oder Kunst-     Die Dresdner Saxray GmbH entwickelt, fertigt und vertreibt Kompo-         Kurztakt-Sputteranlage zum Metallisieren
     stofffolie. Dabei kommen Technologien wie Magnetron-Sputtern und          nenten und Systemlösungen für hochpräzise Röntgen- und Spezialana-        einschließlich Schutzbeschichtung von
                                                                                                                                                         Kunststoffbauteilen und konzipiert für
     Elektronenstrahlverdampfen zur Anwendung.                                 lytik, mit der sich Materialien zerstörungsfrei und einfach untersuchen   den Einsatz in Taktstraßen.
                                                                               lassen. Dabei geht es um sich selbst einstellende Röntgenoptiken, die
Foto unten links                           es u. a. erlauben, auch kleinste strukturelle Unterschiede auf atomarer     Die RadioOpt GmbH Dresden ist eine Ausgründung des Stiftungs-
Die Signalion GmbH bietet als erste
Firma überhaupt integrierte Prototyping-
                                           Ebene – z. B. in Halbleitern – nachzuweisen.                                lehrstuhls Mobile Nachrichtensysteme der Technischen Universität
Komplettlösungen für digitale Funk-                                                                                    Dresden. Seit 2008 entwickelt das Unternehmen Softwarelösungen für
systeme aus einer Hand an. Kunden
schätzen dieses Angebot – es gibt da-      Intelligente Kommunikation                                                  die Qualitätsmessung in Mobilfunknetzen.
durch keine Probleme mit Schnittstellen,
inkompatibler Hardware oder fehlenden
Software-Treibern.                         Die Intel Mobile Communications Technology Dresden GmbH ist seit            Die KOMSA Kommunikation Sachsen AG mit Hauptsitz bei
Foto unten rechts
                                           Mai 2011 ein LTE-Entwicklungsstandort von Intel Mobile Communi-             Chemnitz gehört zu den führenden europäischen Dienstleistern der IKT-
Das junge Dresdner Unternehmen Saxray      cations. An der Entwicklung von Basisband-Chiptechnik für den Mobil-        Branche. Das inhabergeführte Unternehmen ist mit über 1.300 Mitarbei-
ist ein gemeinsames Ausgründungsprojekt
des Helmholtz-Zentrums Dresden-Ros-
                                           funkstandard der vierten Generation arbeitet das Team am Standort           tern in den drei Kernbereichen Großhandel, Integrierte Dienstleistungen
sendorf (HZDR), der TU Bergakademie        Dresden bereits seit einigen Jahren. Die Kernkompetenzen liegen im          und Reparaturservice tätig. KOMSA führt das zweitgrößte Reparatur-
Freiberg und der TU Dresden (im Bild:
Herzstück der Röntgenoptik – ein paten-    Bereich Design für energieeffiziente mobile Breitband-Modems.               center für Mobiltelefone in Deutschland, in dem monatlich über            13
tierter Röntgenspiegel).                                                                                               100.000 Handys, Smartphones und Tablets aller bekannten Hersteller
                                           2003 als Start-up in Dresden gegründet, ist die Signalion GmbH heute        instand gesetzt werden.
                                           ein weltweit etablierter Hersteller von Messtechnik und Speziallösungen
                                           für den Mobilfunk mit besonderem Fokus auf dem neuen Standard LTE.          MEMS / Smart Systems
                                           Als erstes Unternehmen brachte Signalion mit seinem Produkt SORBAS
                                           eine LTE-Test-UE, mit seinem Produkt RHT100 einen Remote-Radio-             Die Firma MICRO-EPSILON Optronic GmbH in Dresden gehört
                                           Head-Tester und mit seiner AMC-SRRM eine integrierte RF im µTCA/            seit ihrer Gründung im Jahr 1993 zur MICRO-EPSILON-Firmen-
                                           AMC-Format erfolgreich auf den Markt.                                       gruppe. Das Unternehmen hat sich auf die Entwicklung und Pro-

                                           Die NanoelektronikZentrumDresden GmbH stellt auf
                                           rund 8.000 m2 in zwei Gebäuden Flächen und gemeinschaftlich nutzbare
                                           Einrichtungen wie z. B. Reinräume für Start-up-Unternehmen der Mikro-
                                           und Nanoelektronik-Branche zur Verfügung. In unmittelbarer Nachbarschaft
                                           zu zwei Fraunhofer-Instituten und industriellen Partnern wie der ZMDI AG,
                                           Photronics MZD oder X-FAB bietet das Zentrum optimale Voraussetzungen
                                           für geschäftlichen Erfolg.
14   duktion von optoelektronischen Sensoren und Systemen für das präzise       Sensoren und Mikrosystemen an. Mit modernsten Verfahren der Auf-       Foto oben links
                                                                                                                                                       Als Tochterunternehmen der KOMSA
     berührungslose Messen geometrischer Dimensionen, Geschwindigkeit           bau- und Verbindungstechnik verarbeitet MPD Halbleiterchips in Rein-   AG im Jahr 2000 gegründet, hat sich die
     und Farbe spezialisiert.                                                   räumen der ISO-Klassen 8 bis 5. Dabei kommen bewährte Technolo-        w-support.com GmbH auf die Reparatur
                                                                                                                                                       von IT- und Telekommunikationsgeräten
                                                                                gien zur Herstellung von Bauelementen bis hin zu komplexen Modulen     spezialisiert – mit über einer Million
     Die ADZ NAGANO GmbH entwickelt und produziert bei Dresden                  und Systemen zur Anwendung. Neben Mustern und Kleinserien werden       Reparatureingängen pro Jahr (im Bild:
                                                                                                                                                       Löten per Infrarotunterhitze).
     Druck­sensortechnik. Mit einem Team von rund 100 Mitarbeitern hat          Stückzahlen im Millionenbereich hergestellt.
                                                                                                                                                       Foto oben Mitte
     sich das Unter­nehmen zu einem international gefragten Hersteller von                                                                             Die Druckmessumformer von ADZ
     Druck­messumformern und Drucktransmittern entwickelt. Sie werden           Die Silicon Micro Sensors GmbH in Dresden entwickelt, fertigt und      Nagano kommen insbesondere in
                                                                                                                                                       mobilen Anwen­dungen, wie beispiels-
     in vielen Bereichen eingesetzt, beispielsweise in der Prozess-, Umwelt-,   vertreibt integrierte optische und mikromechanische Sensorsysteme,     weise Mobilhydraulik, Motormanagement,
     Automatisierungs- und Kfz-Technik.                                         Komponenten und Module. Diese kommen in CMOS-Kamerasystemen            Öldruck- oder Brems­systemen sowie bei
                                                                                                                                                       Brennstoffzellen und anderen Hoch-
                                                                                und MEMS-Drucksensoren für Automobilbau, Sicherheitstechnik, Medi-     temperaturanwendungen zum Einsatz.
     Die GEMAC – Gesellschaft für Mikroelektronikanwendung Chemnitz             zintechnik sowie Industrieelektronik zum Einsatz.
                                                                                                                                                       Foto oben rechts
     mbH ist ein Dienstleister für Forschungs-, Entwicklungs- und Fertigungs-                                                                          Micro-Epsilon Optronic setzt ver-
     arbeiten in der Messtechnik und Sensorik. Vom Sensor- und ASIC-Design      Organische und Gedruckte Elektronik                                    schiedene physikalische Prinzipien, wie
                                                                                                                                                       Triangulation, Lichtschnittverfahren oder
     über elektronische Baugruppen bis hin zur Fertigung eigener Produkte                                                                              Schattenwurf für seine Sensoren und
                                                                                                                                                       Messgeräte ein, die berührungslos ein- und
     bietet das Unternehmen seinen Kunden angepasste Komplettlösungen.          Sachsen ist mit fast 40 Unternehmen und 17 Forschungseinrichtungen     mehrdimensionale Messgrößen wie Weg,
                                                                                der größte europäische Cluster der organischen Elektronik und gehört   Abstand, Position, Profil oder Kontur
                                                                                                                                                       erfassen (im Bild: Geschwindigkeits- und
     Die Microelectronic Packaging Dresden GmbH (MPD) ist Auftrags-             zu den TOP-5-Standorten im internationalen Vergleich.                  Längenmessung bei der Blechverarbeitung).
     fertiger und bietet die Entwicklung und Herstellung von elektronischen
Der »Smart Systems Campus Chemnitz« ist ein
                                                                                       Technologiepark mit enger Verflechtung von Wissenschaft, Forschung
                                                                                       und Industrie auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik. Der fast 6,5
                                                                                       Hektar große Campus befindet sich in unmittelbarer Nachbarschaft zur
                                                                                       Technischen Universität Chemnitz sowie zu den Fraunhofer-Instituten
                                                                                       für Elektronische Nanosysteme (ENAS) und für Werkzeugmaschinen und
                                                                                       Umformtechnik (IWU). Er verbindet auf kurzen Wegen renommierte
                                                                                       Forschungs-Einrichtungen, dynamische Start-ups sowie weltweit agierende
                                                                                       Unternehmen, die zu den Marktführern ihrer Branche gehören.

Foto oben links                              Die Novaled AG ist eine Ausgründung der Technischen Universität Dresden     Die Printechnologics GmbH Chemnitz ist der führende Technologie-        15
Mit einer Ansiedlung im Start-up-Gebäude
des Smart Systems Campus Chemnitz
                                             und hat im Bereich der organischen Leuchtdioden (OLED) Pionierarbeit        entwickler für gedruckte Funktionalitäten. Das Unternehmen entwickelt
profitieren Existenzgründer von der          geleistet. Das Unternehmen besitzt über 500 Patente und beliefert Kunden    elektronische Systeme, die einfach und problemlos mit Standarddruck-
intelligenten Infrastruktur. So können
sie z. B. universi­täre Ein­richtungen wie   weltweit mit Technologien und Materialien zur Herstellung besonders         maschinen hergestellt werden können. Die Datencodes sind zu 100 %
die Bibliothek, Forschungsräume und          leistungseffizienter OLEDs für Beleuchtungs- und Displayprodukte –          recycelbar und lassen sich über den Touchscreen eines handelsüblichen
Reinräume nutzen und damit intensiv an
Forschungsergebnissen teilhaben.             letztere inzwischen in Massenproduktion.                                    Smartphones auslesen. Das innovative Portfolio des Unternehmens wird
Foto oben rechts
                                                                                                                         in Zusammenarbeit mit dem strategischen Partner 3M kontinuierlich
Die Novaled PIN-OLED-Technologie bietet      Die LEDON OLED Lighting GmbH & Co. KG in Dresden – ein Joint Venture        erweitert.
enormes Potenzial für alle Bereiche der
organischen Elektronik – besonders dort,     der österreichischen Zumtobel-Gruppe und der Fraunhofer-Gesellschaft
wo die molekularen Dotanden effizientere     – entwickelt und produziert innovative Lichtmodule auf Basis von orga-      Plastic Logic wurde 2000 von Forschern der Cambridge University
Halbleiter ermöglichen. (im Bild: hochef-
fizientes, weißes OLED für die Anwen­dung    nischen Leuchtdioden. Diese OLED-Lichtmodule werden in flächigen            gegründet und errichtete 2007 die weltweit erste Volumenfertigung
in Leuchten und Displays der Zukunft)        Beleuchtungslösungen und Signalanzeigen angewandt.                          zur Herstellung von flexiblen E-Paper-Displays – die Plastic Logic
                                                                                                                         GmbH in Dresden. Das Unternehmen produziert heute flexible
                                             Die CreaPhys GmbH ist eine Ausgründung der Technischen Universität          Schwarzweiß- und Farb-Kunststoffdisplays in unterschiedlichen
                                             Dresden und spezialisiert sich auf Verfahren zur Beschichtung und Mate-     Größen. Die Displaytechnologie ermöglicht die vielfältigsten robusten
                                             rialreinigung in der Herstellung organischer Dünnschichten (für OLEDs und   und leichten Endgeräte und Anwendungen – Smartphones, Smartcards
                                             Solarzellen) und verfügt über umfassendes Know-how im Bereich der orga-     oder zukünftig auch großflächige Sensoren.
                                             nischen Opto-Elektronik. Darüber hinaus entwickelt und fertigt CreaPhys
                                             Anlagen zur Aufreinigung der verwendeten organischen Substanzen.
Die Heliatek GmbH ist eine gemeinsame Ausgründung der Tech-               Foto links
                                                                               Die Heliatek-Technologie ermöglicht eine
     nischen Universität Dresden und der Universität Ulm. Heliatek ent-        kostengünstige und effiziente Rolle-zu-
     wickelt und produziert Solarzellen aus organischen Materialien und        Rolle-Produktion von großflächigen
                                                                               Modulen auf preiswerten, flexiblen
     verwendet dabei eine patentgeschützte Tandemzellen-Technologie,           Substraten. Die hauchdünnen Solarfolien
     die einen sehr breiten Bereich des Sonnenspektrums ausnutzt. Das          wiegen nur 500 g/m² und sind weniger
                                                                               als 1 mm dünn. So können die Folien
     Unternehmen hält derzeit mit einem Wirkungsgrad von 10,7 Prozent          in vielseitige Anwendungen integriert
                                                                               werden.
     den Effizienz-Weltrekord für organische Solarzellen.
                                                                               Foto unten Mitte
                                                                               Zu den serienreifen Produkten von
     Fortschrittliche Fertigungssysteme                                        Printechnologics gehört »Touchcode«,
                                                                               eine kostengünstige und einfach ein-
                                                                               setzbare Anwendung, um nahezu jedes
16   Die zur schweizerischen Meyer-Burger-Gruppe gehörende Roth & Rau          gedruckte Erzeugnis digital aufzuwerten
     AG in Hohenstein-Ernstthal ist einer der weltweit führenden Anbieter      und funktional zu erweitern.

     von Fertigungstechnologien für die Photovoltaikindustrie. Die Roth &      Foto unten rechts
                                                                               Das modulare Fertigungssystem
     Rau-Tochter MicroSystems GmbH hat sich mit anspruchsvollen tech-          microFLEXTM von 3D-Micromac arbeitet
     nologischen Lösungen zur Anwendung von Plasma- und Ionenstrahlver-        im Rolle-zu-Rolle-Verfahren und ist in
                                                                               der Lage, den Aufwand für die Bauteile-
     fahren für die Beschichtung, Strukturierung und Modifizierung von Ober-   Fertigung – z. B. von flexiblen Solarzel-
     flächen auf den Bereich Mikroelektronik und Optik spezialisiert.          len, gedruckten Batterien, RFID-Etiketten
                                                                               oder rollbaren Displays – drastisch zu
                                                                               reduzieren.
     Die FHR Anlagenbau GmbH entwickelt nahe Dresden Dünnschicht-
Foto unten rechts                           technologien im Bereich physikalischer und chemischer Beschichtungen         In einem zweiten Geschäftsfeld bietet DAS Environmental Expert auch
Plastic Logic hat eine revolutionäre
Kunststofftransistorentechnologie entwi-
                                            (PVD, CVD) sowie entsprechende Ätztechnologien mit dem Ziel der              Lösungen zur Abwasserbehandlung an.
ckelt, mit der es möglich ist, Elektronik   Umsetzung in Anlagenkonzepte für die industrielle Produktion.
auf flexiblen Folien oder Plastikfolien
herzustellen. Das Unternehmen arbeitet                                                                                   Die Cascade Microtech GmbH, eine Tochter der US-amerikanischen
auch an Lösungen für andere Anwen-          Lasermikrobearbeitung ist die Kernkompetenz der 3D-Micromac AG in            Cascade Microtech, Inc., ist ein führender Hersteller von Wafer-Test-
dungen jenseits von flexiblen Displays,
wie zum Beispiel für großflächige Sen-      Chemnitz. Sie entwickelt und produziert Maschinen für den Einsatz in         Lösungen. Am sächsischen Standort bei Dresden entwickelt und fertigt
soren.
                                            der Produktion von Photovoltaik-Bauelementen, in der Halbleiterferti-        das Unternehmen seit 20 Jahren innovative Systeme zum Enginee-
                                            gung, der Medizintechnik und der digitalen Herstellung von gedruckten        ring- und Produktionstest von Halbleitersubstraten.
                                            Funktionalitäten. Die Laseranlagen werden sowohl als Stand-Alone-
                                            Systeme oder zur Integration in bestehende, vollautomatisierte Produk-       Die Mitarbeiter der SGS INSTITUT FRESENIUS GmbH in Dresden
                                            tionslinien geliefert. Ein weiterer Schwerpunkt liegt auf Maschinen für      sind gefragte Spezialisten in der Analyse ultradünner Schichten.        17
                                            die Rolle-zu-Rolle-Bearbeitung von dünnen Schichten auf flexiblen            Als Tochter des schweizerischen SGS S.A.-Konzerns beherrscht sie
                                            Trägersubstraten.                                                            mit rund 400 Materialuntersuchungstechniken die gesamte Palette
                                                                                                                         der abbildenden und analysierenden Verfahren. In allen Produkt-
                                            Die DAS Environmental Expert GmbH in Dresden bietet ressourcen-              bereichen der Nanotechnologie – und insbesondere in der Prozess-
                                            schonende Lösungen für die umweltgerechte Reinigung von Prozessab-           und Qualitätskontrolle – sind solche Verfahren unverzichtbar.
                                            gasen in der Halbleiter-, Solar-, LED- und FPD-Industrie an. Das Port-
                                            folio umfasst insgesamt neun Produktfamilien, die Abgase aus z. B.           Bereits seit Jahren ist die M+W Group in Dresden mit einem
                                            CVD-, Etch- und Epitaxy-Prozessen sicher und kostengünstig entsorgen.        Kompetenz­zentrum für Hook-up Services, für das rund 150

                                            Dr. Horst Reichardt »Zur Erfolgsgeschichte von ›Silicon Saxony‹
                                            als führendem europäischen Halbleiterstandort hat DAS mit seiner Expertise
                                            für Umwelt-Technologien ein eigenes Kapitel beigetragen. Als Familienun-
                                            ternehmen in der Region fest verwurzelt, beliefern wir heute die weltweit
                                            führenden Fabs und Foundries der Mikroelektronikbranche. Im Bereich der
                                            umweltverträglichen Aufbereitung von Prozessabgasen sind wir ein Global
                                            Player und entwickeln unsere Technologien kontinuierlich weiter.«
                                            (Geschäftsführer, DAS Environmental Expert GmbH)
Spezialisten tätig sind, aktiv. An der Planung und Ausführung der     auch komplette Turnkey-Projekte. Die Ingenieure, Konstrukteure,            Foto unten links
                                                                                                                                                      Kinetics Germany verfügt über umfang-
     wichtigsten Produktionsstätten der Halbleiterindustrie in Sachsen –   CAD-Spezialisten und Monteure arbeiten anhand kundenspezifischer           reiche Erfahrung in der Konstruktion,
     darunter die von Infineon, GLOBAL­FOUNDRIES, AMTC und Siltronic       Anforderungen.                                                             Fertigung und Montage von Reinstme-
                                                                                                                                                      diensystemen für Chemikalien, Slurries,
     – war bzw. ist die M+W Group maßgeb­lich beteiligt. Im Juni 2011                                                                                 Gase und Reinstwasser, wie sie in
     gründete der internationale Anlagenbauer die Tochtergesellschaft      Software, Hardware und IT                                                  der Mikroelektronik, Photovoltaik und
                                                                                                                                                      anderen Spitzentechnologien An-
     M+W Integrated Solutions GmbH mit Sitz in Dresden, um sein                                                                                       wendung finden.
     Geschäft mit Hightech-Dienstleistungen in Europa auszubauen.          Die 140 Mitarbeiter der SYSTEMA Systementwicklung Dipl.-Inf.               Foto unten Mitte
                                                                           Manfred Austen GmbH in Dresden entwickeln und realisieren End-             Das XENON-Präzisionsmontagemodul
                                                                                                                                                      SPACE 400 (Detail im Bild) ist univer-
     Mit 155 Mitarbeitern beliefert die XENON Automatisierungstechnik      to-End-IT-Lösungen für die Halbleiter- und Elektronikindustrie sowie für   sell für 2D- und 3D-Anwendungen im
     GmbH von Dresden aus Automotive-, Elektronik-, Photovoltaik- und      Automotive, Medizintechnik und Erneuerbare Energien. Zu den Kunden         Bereich der Mikromontage, der Mikro-
                                                                                                                                                      Dispenstechnik und Bestückung einsetz-
18   Medizintechnikkunden mit Maschinen für die automatisierte Ferti-      gehören u. a. ABB, Infineon, GLOBALFOUNDRIES und Bosch. Das                bar. Mit dem SPACE-400-Modul werden
     gung von Elektronikprodukten. Neuentwicklungen sind u. a. flexible    Portfolio reicht von der Anlagenintegration über die Automatisierung       Applikationen im Bereich 3D-MID, LED-
                                                                                                                                                      Bestückung, Sensormontage und Sonder-
     Fertigungslinien für Sensoren, die 3D-Montage von MID-Produkten       von Fertigungsabläufen bis hin zur Implementierung und Erweiterung         bestückung realisiert.
     und Ausrüstungen zur Herstellung flexibler Solarzellen. Zum Unter-    von Manufacturing Execution-Systemen und deren Einbindung in ERP-
     nehmen gehört auch eine Tochtergesellschaft in China.                 bzw. Supply Chain-Management-Systeme.

     Der Standort Dresden der Kinetics Germany GmbH realisiert             In der Vertriebs- und Consulting-Niederlassung der SAP AG in Dresden
     Lösungen in der Prozessmedienversorgung für die Mikroelektronik-,     helfen rund 500 IT-Spezialisten Firmen, ihre Prozesse entlang der Wert-
     Solar- und Bio-Pharmaindustrie sowie weitere Märkte und seit 2007     schöpfungskette zu optimieren, Softwarelösungen zu modellieren und zu
Foto unten links                             konfigurieren sowie mit anderen Speziallösungen zu verbinden und um    Virtualisierung, Büroarbeit und Kommunikation, IT-Security, Systems
T-Systems Multimedia Solutions belegte
mehrfach in Folge den ersten Platz im
                                             wichtige Bausteine zu erweitern. Dazu unterhält die SAP am Standort    Management und Cloud Computing.
jährlichen Internetagentur-Ranking des       Dresden eine Forschungs- und Entwicklungsabteilung (SAP Research)
Bundesverbandes Digitale Wirtschaft
e. V. (BVDW). Das Unternehmen un-            mit über 100 Mitarbeitern.                                             Die Leesys – Leipzig Electronic Systems GmbH bietet als Systemdienst-
terstützt seine Kunden u. a. dabei,                                                                                 leister mit Standort in Leipzig umfassende Electronic Manufacturing
innovative Internet- und Präsentations-
technologien (im Bild: »Surface Table«       Die T-Systems Multimedia Solutions GmbH in Dresden zählt zu den        Services von der Entwicklung über die Fertigung von elektronischen
– ein interaktiver Multi-Touch-Screen) im
Geschäftsbereich einzusetzen.
                                             größten Internet-Agenturen in Europa. Die T-Systems-Tochter ent-       Baugruppen, die Highend-Kunststoffverarbeitung für Gehäuse bis hin zu
                                             wickelt internetbasierte Lösungen für Großkonzerne und mittelstän-     Montage und Versand der kompletten Geräte sowohl in Kleinserien- als
Foto unten Mitte
Die Leipziger Leesys GmbH verfügt
                                             dische Unternehmen. Rund 1.200 Mitarbeiter übersetzen für Kunden       auch in Massenproduktion.
über 17.000 qm Fertigungsfläche und          aus allen Branchen Web-Innovationen in Dienstleistungen für den
eine jährliche Fertigungskapazität von
1,4 Mio. schnurgebundenen Telefonen,         digitalen Lebens- und Geschäftsraum. Hierzu gehören u. a. Lösungen     Die BuS Elektronik GmbH & Co. KG entwickelt und fertigt in Riesa        19
8 Mio. Baugruppen und 1,2 Mrd. be-           für E-Commerce, Inter- und Intranet-Portale, »Social Business« sowie   elektronische Baugruppen und Systeme. Mit 900 Mitarbeitern ist BuS
stückten Bauelementen.
                                             Web-IT-Management.                                                     Elektronik ein bewährter Electronic Manufacturing Services (EMS)-
Foto unten rechts
SYSTEMA ist ein weltweit tätiges IT-
                                                                                                                    Dienstleister für Industrie- und Automobilelektronik, Gebäude- und
Unternehmen mit Hauptsitz in Dresden (im     Die COMPAREX AG mit Hauptsitz in Leipzig zählt zu den führenden        Sicherheitstechnik, Kommunikationstechnik, Bahn- und Luftfahrt-
Bild) und Niederlassungen in Regensburg
und Corvallis (USA). Eine Niederlassung in
                                             herstellerunabhängigen IT-Dienstleistern in Europa. Rund 1.800         technik sowie Medizintechnik.
Asien ist in Vorbereitung.                   Mitarbeiter sind an 75 Standorten in 28 Ländern weltweit aktiv.
                                             COMPAREX bietet Software, Consulting und Services hersteller-          Seit 1990 dient der Standort Dresden der TechniSat Digital GmbH als
                                             übergreifend und aus einer Hand. Fokusthemen sind IT-Infrastruktur,    Forschungs- und Entwicklungszentrum für die Bereiche Satellitenemp-
fangs- und Digitaltechnik sowie Digitalfernseher. Über 350 Mitarbeiter   leistungen sowie Business-Software für mittelständische Unternehmen.      Foto unten links
                                                                                                                                                        Neben der Satellitenempfangstechnik
     entwickeln neben TechniSat-Markengeräten für den Endkunden auch          Hosting- und Outsourcing-Services ergänzen die Angebotspalette.           und Digital(fernseh)technik (im Bild: eine
     speziell zugeschnittene OEM-Konzepte für die Elektronik- und                                                                                       Platine) bilden vor allem die vernetzten
                                                                                                                                                        Autoradio- und Navigations-Geräte der
     Automobilindustrie. Das Know-how beinhaltet sowohl die Hard- und         Seit mehr als 22 Jahren entwickeln und installieren rund 50 Experten      neuen Generation einen Entwicklungs-
     Software-Entwicklung als auch das Layout und die mechanische             der Chemnitzer MEGWARE Computer Vertrieb und Service GmbH                 schwerpunkt am TechniSat-Standort
                                                                                                                                                        Dresden. Hauptkunde ist die hierbei die
     Konstruktion der Geräte.                                                 maßgeschneiderte High-Performance-Computing-Lösungen (HPC) und            VW-Gruppe.
                                                                              IT-Systemtechnik für Unternehmen und Forschungseinrichtungen in           Foto unten rechts
     Die 1999 als Spin-off der Universitäten Leipzig und Halle gegründete     Deutschland und Europa. MEGWARE-Supercomputer stehen für extrem           Zu den herausragenden Referenzen von
                                                                                                                                                        MEGWARE gehören Hochleistungs-
     itCampus Software- und Systemhaus GmbH ist heute eine Tochter            hohe Rechenleistung bei gleichzeitiger Energieeffizienz. Viele der über   rechner für das Albert-Einstein-Institut
     der Software AG. ItCampus besetzt im Konzern die globalen Kompe-         500 Systeme stehen in der TOP500-Liste der leistungsfähigsten Super-      der Max-Planck-Gesellschaft in
                                                                                                                                                        Potsdam-Golm, für die Gesellschaft für
20   tenzzentren Mobile Business Solutions, Agile Development Consulting      computer der Welt.                                                        wissenschaftliche Datenverarbeitung
     sowie User Experience Design, Consulting & Development. Im Mittel-                                                                                 mbH in Göttingen oder der Vienna
                                                                                                                                                        Scientific Cluster 2 (VSC-2, im Bild) an
     punkt stehen dabei die Entwicklung mobiler Geschäftsanwendungen,         Die Robotron Datenbank-Software GmbH in Dresden entwickelt                der Technischen Universität Wien.
     kundenspezifische IT-Lösungen sowie die Produktneuentwicklung.           datenbankgestützte Informationssysteme für die Energiewirtschaft,         Foto rechts
                                                                              Industrie und öffentliche Verwaltung. Auftraggeber erhalten Software-     Die an der Fraunhofer-Einrichtung
                                                                                                                                                        COMEDD in Dresden untersuchten und
     2005 hat die polnische Comarch S.A. ihre deutsche Vertriebszentrale      Lösungen und eigene Produkte auf Oracle-Basis. Das Leistungsan-           hergestellten organischen Solarzellen
     von Frankfurt am Main nach Dresden verlagert. Das Angebot der            gebot erstreckt sich von der ersten Idee bis zur Verfahrensbetreuung      basieren auf Molekülen, die im Hoch-
                                                                                                                                                        vakuum verdampfbar sind. (im Bild:
     Comarch Software AG umfasst Lösungen für die Branchen Tele-              über den gesamten Software-Lebenszyklus hinweg.                           Blick durch eine transparente organische
     kommunikation, Banken und Versicherungen, Handel und Dienst-                                                                                       Solarzelle)
21

Mikro!

    Ausbildung & forschung
Ausbildung                                                               Sensing, Energie- und Automatisierungssysteme sowie biomedizinische      Foto unten links
                                                                                                                                                       Am Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM)
                                                                              Technik, Elektromobilität und Regenerative Energietechnik.               der TU Chemnitz werden Siliziumscheiben
     Mit 2.600 Studenten der Elektro- und Telekommunikationstechnik                                                                                    mit mikrometerkleinen mechanischen
                                                                                                                                                       Strukturen beschichtet – etwa für Anwen-
     sowie rund 1.800 Informatik-Studenten ist die Technische Universität     Die Technische Universität Bergakademie Freiberg bringt insbeson-        dungen in der Luftfahrt- und Automobil­
     Dresden die wichtigste »Kaderschmiede« der IT-Branche in Sachsen.        dere ihre über 240-jährige Kompetenz auf dem Gebiet der Werkstoff-       industrie.

     Zahlreiche der rund 1.200 Ingenieure, die seit 1997 von AMD bzw.         wissenschaften in die Ausbildung und Forschung ein. Der Studiengang      Foto unten rechts
                                                                                                                                                       On-Wafer-Messplatz an der Professur
     heute von GLOBALFOUNDRIES für die Chipfabriken in Dresden                »Elektronik- und Sensormaterialien« ist ein deutschlandweit einzig-      »Elektronische Bauelemente und
     eingestellt wurden und werden, studierten an der TU. Seit 2012 bietet    artiges Angebot. Die Absolventen sind bei Halbleiterunternehmen          Integrierte Schaltungen« der TU
                                                                                                                                                       Dresden zur elektrischen Charakteri-
     die TU Dresden einen weltweit einzigartigen Studiengang an – den         sehr begehrt.                                                            sierung von sehr schnellen, integrierten
     Master in »Organischer und molekularer Elektronik«. In einem neu-                                                                                 Bauelementen. Daraus entwickelte
                                                                                                                                                       Kompaktmodelle sind die Grundlage
22   artigen Lehrkonzept werden die Disziplinen Physik, Chemie, Elektro-      Die Hochschule für Telekommunikation Leipzig (HfTL) bietet rund          für den rechnergestützten Entwurf von
     technik und Materialwissenschaften praxisrelevant verbunden.             800 Studienplätze. Von der Deutschen Telekom AG gegründet, bildet        energieeffizienten Schaltkreisen in
                                                                                                                                                       drahtlosen Kommunikationssystemen,
                                                                              sie IKT- und TKI-Fachleute in direkten, dualen oder berufsbegleitenden   z. B. für Mobilfunkanwendungen.
     Ob Mikrosensoren für Automobile und Flugzeuge, Aktoren oder              Studiengängen aus. Optische Netze, Übertragungstechnik, Hochfre-
     gedruckte polymerelektronische Schaltkreise – Wissenschaftler der        quenztechnik, Mobilfunk, »Next Generation Network Services« und
     Technischen Universität Chemnitz arbeiten erfolgreich im engen           Wirtschaftsinformatik zählen zu den Spezialgebieten der HfTL.
     Kontakt zur Industrie und sorgen für eine praxisnahe Ausbildung in den
     Bereichen Mikrofertigungstechnik, Print- und Medientechnik, Mikro-       Die dresden chip academy (dca) bietet in enger Kooperation mit
     und Nanosysteme, IKT, Intelligent Vehicles, Communication and            Unternehmen Aus- und Weiterbildung in den Bereichen Mikrotechno-
Foto unten links                             logie, Mikrosystemtechnik, Mechatronik, Elektronik, Automatisierungs-      Die Nanoelectronic Materials Laboratory gGmbH (NaMLab) ist ein
Eines der Forschungsgebiete im
Geschäftsfeld »Nanoelektronische Tech-
                                             und Messtechnik, Instandhaltung, Vakuumtechnik und Solartechnolo-          An-Institut der Technischen Universität Dresden. Das NaMLab forscht
nologien« am Fraunhofer-Institut IPMS        gien an. Außerdem gibt es kooperative Studiengänge für Mikrotechnolo-      an Materialien für nanoelektronische Anwendungen. Ein Schwerpunkt
befasst sich mit Prozess und Simulation
von chemisch-mechanischem Plana-             gie, Mechatronik und Produktionstechnik.                                   liegt in der Untersuchung von Materialien für energieeffiziente Halblei-
risieren (CMP). Der Einfluss von Struktur-                                                                              ter. Dazu gehört auch die Integration der Materialien in neue Bauele-
größe und Verbrauchsmitteln wird dabei
anhand eigens entwickelter CMP-Testwa-       Mikro- und Nanoelektronik, Nanotechnologie                                 mente und deren elektrische Charakterisierung.
fer (im Bild: strukturierter Oxidwafer mit
CMP-Testchip) untersucht.
                                             Die Wissenschaftler des Geschäftsfeldes »Nanoelektronische Techno-         Am Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e. V. (HZDR) arbeiten
Foto unten Mitte
Das NaMLab betreibt auf dem Campus
                                             logien« am Fraunhofer-Institut IPMS forschen an der Weiterentwicklung      900 Mitarbeiter an der Entwicklung innovativer Materialien für Spei-
der TU Dresden Forschungslabore,             und Charakterisierung von Materialien, Analyse- und Prozessmethoden        cher- und Computertechnologien der Zukunft. Zur Verbesserung der
Reinräume sowie Büroplätze für insge-
samt ca. 40 Forscher und Mitarbeiter.        auf 300-mm-Wafern. Zu den Dienstleistungen gehören dabei u. a. die         Qualität von Einkristallen berechnen HZDR-Forscher z. B. die Magnet-       23
                                             maskenlose Strukturierung von Wafern durch Elektronenstrahllithografie     felder, die benötigt werden, um aus flüssiger Siliziumschmelze perfekte
Foto unten rechts
Im Reinraumlabor (im Bild) der TU            (E-Beam) oder die Materialanalyse mittels Atomsondentomografie. Die        300- bzw. 450-mm-Wafer produzieren zu können. Das Zentrum ist
Freiberg stehen Grundtechnologien der
Halbleiterfertigung zur Verfügung: der
                                             Forscher arbeiten auf über 800 m2 Reinraum- und Laborflächen auf dem       auch in der spin- und optoelektronischen Forschung tätig.
Lithografiebereich zur Strukturierung,       Gelände von Infineon Technologies Dresden und arbeiten eng mit der
ein nasschemischer Bereich für Ätz- und
Reinigungsschritte, der Ofen- und CVD-       Fab 1 von GLOBALFOUNDRIES zusammen. So ist es möglich, neue                Gemeinsam mit der TU Bergakademie Freiberg betreibt das HZDR das
Bereich zur Temperaturbehandlung und         Entwicklungen schnell in Fertigungsabläufe einzubauen, was Herstellungs-   Helmholtz-Institut Freiberg für Ressourcentechnologie zur Entwicklung
chemischen Schichtabscheidung, der
PVD-Bereich zur physikalischen Schicht-      kosten und -zeit spart.                                                    neuer Technologien, um mineralische und metallhaltige Rohstoffe effi-
abscheidung mittels Bedampfungs- und                                                                                    zienter bereitzustellen, zu nutzen sowie umweltfreundlich zu recyceln.
Sputteranlagen.
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