KOMPETENZ IN HIGH PURITY - PATENTIERTE RECYCLING-ANLAGEN FÜR SLURRY UND REINSTWASSER - HIGHQ-FACTORY GMBH
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Kompetenz in High Purity Patentierte Recycling-Anlagen für Slurry und Reinstwasser
GREEN AND EFFICIENT
Entwicklung, Fertigung und Entwicklung von patentierten Unabhängiger Dienstleister
Installation von Gas- und Recycling-Anlagen für Slurrys und und Sachverständiger zur
Chemieversorgungssystemen Reinstwasser sowie Recycling und Qualifizierung von Gas- und
Aufbereitung von Abwasser per Chemieversorgungssystemen
Membranverfahren oder Zentrifugen
Kompetenz in der Halbleiterindustrie
Die HighQ-Factory GmbH steht für zukunftsweisende und umweltfreundliche Prozesslösungen in der
Halbleiterindustrie. Der Fokus des Unternehmens liegt auf der Rückgewinnung von Reinstwasser und
chemischen Rohstoffen durch einen Ultrafiltrationsprozess. Als weltweit erstes Unternehmen entwickelt
und produziert die HighQ-Factory GmbH patentierte Recycling-Anlagen für Slurry und Reinstwasser. Das
Unternehmen ist Teil der Fäth Group.
Als global agierendes Familienunternehmen ist die Fäth Group führend in der Entwicklung, Fertigung,
Installation, Qualifizierung und Analytik von Gas- und Chemieversorgungssystemen. Mit individuellen,
auf den Kunden zugeschnittenen Lösungen hat sich das Unternehmen in der die LED-, Photovoltaik- und
Halbleiterindustrie einen Namen gemacht. Gegründet im Jahre 2004, beschäftigt die Fäth Group weltweit
mehr als 350 Mitarbeiter. Seit Anfang 2016 hat das Unternehmen mit Bürkert Fluid Control Systems
einen starken Partner an seiner Seite: Als führender Hersteller von Mess-, Steuer- und Regelungssystemen
beschäftigt Bürkert weltweit ca. 2.500 Mitarbeiter und ist in 36 Ländern mit Niederlassungen und Produk-
tionsstätten vertreten.
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GREEN AND EFFICIENT
Patentierte Recycling-Anlagen
für Slurry und Reinstwasser
Recycling-Anwendungen in der Halbleiterindustrie gewinnen zunehmend an Bedeutung. Die Wieder-
verwendung aufbereiteter Materialien ist aus vielfältigen Gründen sinnvoll: Neben dem Schutz der
Umwelt und Gesundheit hilft das Recycling, die Produktionsprozesse zu optimieren und Kosten zu
sparen.
Das Funktionsprinzip
In der Anlage durchläuft das Gemisch aus Reinstwasser, Slurry oder anderen chemischen Materialien
mehrere Filtrationsstufen, so werden die ursprünglichen Rohstoffe separiert und können wiederverwendet
werden. Aufgrund des patentierten Rückspülprozesses der Ultrafiltrationsmodule wurde die Lebensdauer
dieser kostenintensiven Filterelemente drastisch erhöht. Statt nach wenigen Tagen müssen die Filter erst
nach über einem Jahr ausgetauscht werden, so wird die Kosteneffizienz der Anlage noch einmal deutlich
erhöht.
Das bedeutet
Es ist erstmals möglich, das Abwasser effizient
und wirtschaftlich in seine Hauptbestandteile
aufzuspalten. Bis zu 85 % des Slurrys und
90 % des Reinstwassers können wieder
dem Prozess zugeführt werden.
Zurückgewonnene wertvolle seltene
Erden können wiederverwendet
werden.
Wiederverwertbare
Materialien
> Reinstwasser
> Oxyd-Slurrys
> Tungsten-Slurrys
> Ceria-Slurrys
> Kupfer-Slurrys
> Lithiumtantalat
> Chemische Feststoffe
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GREEN AND EFFICIENT
Kundenspezifische
Anlagenvarianten
Die Vorteile
Prozesssicherheit
Durch die Wiederverwendung rückgewonnener Rohstoffe werden die hohen Qualitätsstandards
im Prozess in jedem Fall beibehalten und häufig sogar deutlich verbessert.
Kostenersparnis bis zu 85 %
Durch die Wiederverwendung chemischer Rohstoffe und Reinstwasser ergeben sich deutliche
Einsparungen im Produktionsprozess.
Das bedeutet:
> Erheblich niedrigere Beschaffungskosten für Slurrys
> Wegfall hoher Lager- und Transportkosten
> Einsparungen bei der Reinstwasseraufbereitung
> Reduzierung der Abwasserkosten
Größere Unabhängigkeit
Hochwertige chemische Rohstoffe sind teuer und selten. Aufgrund einer Recyclingrate von bis
zu 85 % bedeutet das: Nur 15 % des Materials muss neu hinzugefügt werden. Dadurch reduziert
sich der Bedarf erheblich!
Schutz von Umwelt & Gesundheit
Der Einsatz der patentierten Recycling-Anlagen leistet einen wichtigen Beitrag zum Schutz der Umwelt
und der Gesundheit: Gesundheitsschädliche Nano-Partikel werden aus dem Abwasser herausgefiltert
und sorgen für eine deutlich bessere Wasserqualität. Durch den reduzierten Verbrauch wertvoller und
nicht erneuerbarer Rohstoffe werden wichtige Ressourcen eingespart.
5GREEN AND EFFICIENT
Chemisch-mechanisches Planarisieren
Besonders in der Halbleiterindustrie sind umfangreiche Polierprozesse unabdingbar. Das benötigte Slurry-
Wasser-Gemisch ist nach dem CMP-Prozess bisher ein reines Abfallprodukt und muss einer aufwändigen
Abwasseraufbereitung zugeführt werden. Neben erheblichen Kosteneinsparpotentialen trägt das Recycling
des Slurrys dazu bei, die Prozessqualität deutlich zu optimieren.
Die Vorteile
> Durch die Wiederverwendung rückgewonnener Slurrys
kann das Auftreten von Microscratches um bis zu 35 %
reduziert werden. So kann das Slurry-Recycling auch
zur Erhöhung des Yields in der Produktion beitragen.
> Das wiederverwendete Slurry weist gegenüber frischem
keine Qualitätseinbußen auf.
> Es treten keine Sedimentationserscheinungen auf, da
das aufbereitete Slurry unter ständiger Bewegung dem
Produktionsprozess zugeführt wird.
15 %
SLURRY
CMP- RECYCLING-
100 % PROZESS
ABWASSER
PROZESS
*% ABWASSER
REINSTWASSER
85 %
AUFBEREITETES SLURRY
90 % WASSER
•
•
•
KÜHLTÜRME
ABLUFTWÄSCHER
WEICHWASSERANLAGE
• USW.
* abhängig vom Verdünnungsverhältnis im CMP-Prozess
6GREEN AND EFFICIENT
Schneid- und Schleifprozesse
Beim Schneid- und Schleifprozess in der Halbleiterherstellung werden, unter der Zugabe von Reinstwasser,
Nanopartikel aus seltenen Erden sowie andere Rohstoffe abgetragen. Durch den Einsatz unserer patentieren
Recycling-Anlagen können diese wertvollen Komponenten wieder dem Produktionsprozess zugeführt oder
wiederverwendet werden.
10 % SCHNEID-
RECYCLING-
10 %
REINSTWASSER & SCHLEIF- ABWASSER ABWASSER
PROZESS
PROZESS
SELTENE ERDEN
90 %
REINSTWASSER
Lernen Sie unsere patentierten Recycling-Anlagen kennen –
einfach und unkompliziert!
Gerne beraten wir Sie vor Ort. Mit Hilfe unseres transportablen Ultra-Kompakt-Moduls
können Sie sich schnell, einfach und unkompliziert ein Bild über die Vorteile des Recycling-
Prozesses machen. Wir bereiten Ihre Materialien auf, die Sie dann im Anschluss an unser
Gespräch Ihren individuellen Tests sowie Evaluierungen unterziehen können. Wir werden
Sie dabei selbstverständlich fachmännisch bei der Berechnung der Rentabilität sowie im
Prozess und in der Analytik unterstützen.
Erfahren Sie mehr über unsere Slurry-Recycling-Anlagen, unsere Produkte
und Dienstleistungen.
7Standorte
Germany USA Taiwan
Hauptsitz Semiconductor Support Services Co. HighQ-Factory GmbH
HighQ-Factory GmbH 4715 Steiner Ranch Blvd. 6F., No.1, Gongye E. 2nd Rd.
Am Dillhof 14 Austin, TX 78732 Hsinchu Science Park, Hsinchu City
63863 Eschau-Hobbach Fone +1 512-267-7087 Taiwan, 30075
Fon +49 9374 979709-0 info@highq-factory.com Fone +886-3-6667922
info@highq-factory.com info@highq-factory.com
Korea
HighQ-Factory GmbH IPOSS Tech Inc. China
Nailastraße 5 455-7 Chuja-Ri Faeth Shanghai Co., Ltd
81737 München Opo-Uep (c/o PAAT Consulting Co., Ltd)
Fon +49 89 1434516-0 Kwang Ju-Si | Korea Building C, No. 650 West Gaoke Road
info@highq-factory.com Fon +82 31 726 9850 Pudong District, Shanghai, 200126, PRC
info@highq-factory.com Fon +86 136 4496 9792
HighQ-Factory GmbH info@highq-factory.com
Schwabacher Straße 10 Malaysia
01665 Klipphausen FAETH Asia Pacific Sdn. Bhd. Singapore
Fon +49 35204 3930-0 No. 2464, Tingkat Perusahaan 6 FAETH Singapore Pte. Ltd.
info@highq-factory.com Free Industrial Zone 280 Woodlands Industrial Park E5
13600 Prai, Penang #09-43 Harvest @ Woodlands
Fon +60 4 3800777 757322 Singapore
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