MULTI-DOF Messtechnik für mehrere Freiheitsgrade - Heidenhain

Die Seite wird erstellt Klara Hartmann
 
WEITER LESEN
MULTI-DOF Messtechnik für mehrere Freiheitsgrade - Heidenhain
MULTI-DOF
Messtechnik für
mehrere Freiheitsgrade

07/2021
MULTI-DOF Messtechnik für mehrere Freiheitsgrade - Heidenhain
Dplus-Messgeräte für perfekte                                                                                                          Inhalt
Bewegungssysteme
Längenmessgeräte erfassen die Position        Offene Längenmessgeräte kommen an            Mechanischer Aufbau
                                                                                           Offene Längenmessgeräte bestehen aus        Übersicht
von Linearachsen ohne zusätzliche mecha-      Maschinen und Anlagen zum Einsatz, die
nische Übertragungselemente. Dadurch          eine hohe Genauigkeit des angezeigten        einem Maßstab bzw. Maßband und einem
werden eine Reihe von möglichen Fehler­       Messwerts erfordern. Typische Einsatz­       Abtastkopf und arbeiten berührungslos.
quellen ausgeschlossen:                       gebiete sind:                                Bei offenen Längenmessgeräten wird der
                                                                                                                                                                Dplus Messgeräte für perfekte Bewegunssysteme       2
• Positionierfehler aufgrund der Erwär-       • Fertigungs- und Messeinrichtungen der      Maßstab auf einer Montagefläche befes-
  mung der Kugelumlaufspindel                   Halbleiterindustrie                        tigt. Eine hohe Ebenheit der Montageflä-                             Mehrdimensionale Messtechnik                        4
• Umkehrfehler                                • Bestückungsautomaten                       che ist daher eine notwendige Vorausset-
• kinematischer Fehler durch Steigungs-       • Ultrapräzisionsmaschinen und -apparatu-    zung für hohe Genauigkeiten des
  fehler der Kugelumlaufspindel                 ren z. B. Diamantdrehmaschinen für opti-   Längenmessgerätes.                                                   Innovative Teilungsstrukturen                       6
                                                sche Bauteile, Plandrehmaschinen für
Für Maschinen mit hohen Anforderungen           Magnetspeicherplatten, Schleifmaschi-
an die Positioniergenauigkeit und an die        nen für Ferrit-Teile etc.
                                                                                                                                                                Mehrere Freiheitsgrade – ein Messgerät              8
Bearbeitungsgeschwindigkeit sind des-         • hochgenaue Werkzeugmaschinen
halb Längenmessgeräte unerlässlich.           • Messmaschinen und Komparatoren,                                                                                 Diagonale Teilungsanordnung                         10
                                                Messmikroskope und andere Präzisions-
Dplus-Messgeräte                                geräte der Messtechnik
Dplus-Messgeräte erfassen innerhalb einer     • Direktantriebe
                                                                                                                                                                Out of Plane-Abstandsmessung                        12
Achse mehrere Freiheitsgrade. Fehler und
daraus resultierende Abweichungen werden
so direkt und sehr präzise gemessen.
                                                                                                                                                                Transferable Accuracy                               14
Dplus-Messgeräte bieten Ihnen außerge-
wöhnliche Möglichkeiten, um Ihr Bewe-                                                                                                                           Weniger Kabel – höhere Dynamik                      16
gungssystem zu optimieren – insbesondere
wenn ein sehr genaues und dynamisches
                                                                                                                                       Technische Daten
System gefordert ist.

                                                                                                                                                                LIP 6031 Dplus                                      18

                                                                                                                                                                LIP 281 Dplus                                       20

                                                                                                                                                                PP 281 R                                            22

                                                                                                                                                                GAP 1081                                            24

                                                                                                                                       Elektrischer Anschluss

                                                                                                                                                                Anschlussbelegung                                   26

Informationen über
• Winkelmessgeräte mit Eigenlagerung
• Modulare Winkelmessgeräte mit
   ­optischer Abtastung
                                                                                                 Weitere Informationen:
• Modulare Winkelmessgeräte mit
    ­magnetischer Abtastung                    Mit Erscheinen dieses Prospekts verlieren    Ausführliche Beschreibungen zu allen
• Drehgeber                                    alle vorherigen Ausgaben ihre Gültigkeit.    verfügbaren Schnittstellen sowie all­
• Messgeräte für elektrische Antriebe          Für die Bestellung bei HEIDENHAIN maß-       gemeine elektrische Hinweise finden Sie
• Längenmessgeräte für gesteuerte              gebend ist immer die zum Vertragsab-         im Prospekt Schnittstellen von HEIDEN-
     ­Werkzeugmaschinen                        schluss aktuelle Fassung des Prospekts.      HAIN-Messgeräten ID 1078628-xx.
• Interface-Elektroniken
• HEIDENHAIN-Steuerungen                       Normen (EN, ISO, etc.) gelten nur, wenn      Die erforderlichen Anschlusskabel finden
erhalten Sie auf Anfrage oder finden Sie im    sie ausdrücklich im Prospekt aufgeführt      Sie im Prospekt Kabel und Steckverbin-
Internet unter www.heidenhain.de               sind.                                        der ID 1206103-xx.

2                                                                                                                                                                                                               3
MULTI-DOF Messtechnik für mehrere Freiheitsgrade - Heidenhain
Höhere Genauigkeit
                                                                                                                                                                              und größere Dynamik

Mehrdimensionale Messtechnik                                                                                                                                                  Produktivität und Genauigkeit sind
                                                                                                                                                                              mehr denn je entscheidende Wettbe-
                                                                                                                                                                              werbsfaktoren. Dabei geht es aber
                                                                                                                                                                              nicht nur darum, den Fertigungspro-
Herkömmliche Messgeräte können nur einen Freiheitsgrad erfassen. Dadurch ist das                       Die Genauigkeit eines Bewegungssystems wird durch                      zess schneller und präziser zu ma-
Messsystem für die unvermeidbaren Abweichungen in der anderen Messrichtung blind.                      mehrere Faktoren beeinflusst:                                          chen. Es geht vor allem auch um
In mehrachsigen Systemen beeinflussen diese Abweichungen auch die weiteren                             „ Nicht-lineare Führungsfehler                                         hohe Reproduzierbarkeit und stabile
Achsen. Positionsabweichungen übertragen sich damit auf die komplette                                  „ Vertikale Ebenheit, horizontale Geradheit                            Qualität. Denn eine höhere und zu-
Achseinheit. Dadurch verändert sich die Position des zweiten Messge-                                   „ Nicken, Gieren, Rollen                                               gleich zuverlässige Genauigkeit er-
räts mit den Fehlern der ersten Achse. Diese Abweichungen werden                                       „ Rechtwinkligkeitsfehler                                              weitert die Fertigungsmöglichkeiten
nicht gemessen.                                                                                        „ Kinematische Fehler                                                  enorm – insbesondere im High-End-
                                                                                                       „ Wärmeausdehnung, thermische Einflüsse                                Bereich.
Mit Hilfe von Dplus-Messgeräten von HEIDENHAIN können mehrere                                          „ Umkehrspiel
Freiheitsgrade innerhalb einer Achse gemessen werden. So
können Abweichungen einer Achse gemessen und durch
die benachbarte Achse ausgeglichen bzw. kompen-                                                                              Das Perfektionieren der Positionsmessung in Hauptachsrichtung ist, abhängig von der er-
siert werden.                                                                                                                forderlichen Genauigkeit, eine große Herausforderung. Um an einem Bewegungssystem
                                                                                                                             das Maximum an Präzision und Dynamik herauszuholen, ist weit mehr erforderlich, als nur
                                                                                                                             den Maßstab und die Abtastung zu optimieren. Je genauer und dynamischer die Messung
                                                                                                                             sein soll, desto mehr machen sich Einflüsse aus der Maschinenkonstruktion und thermi-
                                                                                                                             sche Veränderungen bemerkbar. Durch den Einsatz mehrdimensionaler Messgeräte wie
                                                                                                                             z. B. dem LIP 6000 Dplus können diese Einflüsse unmittelbar erfasst und kompensiert
                                                                                                                             werden.

                                                                                    = Führungsfehler

4                                                                                                                                                                                                                      5
MULTI-DOF Messtechnik für mehrere Freiheitsgrade - Heidenhain
Innovative Teilungsstrukturen

                                Präzise Messdaten für optimale Performance

                                Das interferentielle Messprinzip nutzt die Beugung und Interferenz des Lichts an fein ge-
                                teilten Gittern, um Signale zu erzeugen. Die Maßverkörperung besteht aus einer ebenen
                                Oberfläche mit 0,2 μm hohen, reflektierenden Strichen. Davor befindet sich als Abtastplatte
                                ein lichtdurchlässiges Phasengitter mit der gleichen Teilungsperiode.

                                Interferentielle Messgeräte arbeiten mit Signalperioden von 4 μm oder kleiner. Ihre Ab-
                                tastsignale sind weitgehend frei von Oberwellen und können hoch interpoliert werden.
                                Sie eignen sich daher besonders für hohe Auflösungen und hohe Genauigkeiten.

                                Bei Dplus-Messgeräten wie z. B. dem LIP 6000 Dplus befinden sich auf dem Teilungsträ-
                                ger zwei separate Teilungsspuren mit diagonaler Teilung ±45°. Damit ist die Nebenmess-
                                richtung über die gesamte Messlänge der Hauptmessrichtung direkt und hochgenau er-
                                fassbar.

                                HEIDENHAIN bietet auch ein inkrementales Zwei-Koordinaten-Messgerät, mit dem zwei
                                Messrichtungen gleichwertig erfasst werden können. Bei diesem Messgerät gibt es keine
                                Haupt- und Nebenmessrichtung. Als Teilungsträger wird hier eine hochgenaue Kreuzgitter-
                                teilung verwendet.

                                Inkrementales Zwei-Koordinaten-Messgerät PP 281 R

6                                                                                                                           7
MULTI-DOF Messtechnik für mehrere Freiheitsgrade - Heidenhain
Mehrere Freiheitsgrade – ein Messgerät

                                                                                                         Freiheitsgrade X, Y

                                                                                                         Dplus-Maßverkörperung
                                                                                                         mit 2 Abtastköpfen

                                      Mit Dplus-Maßverkörperungen können mehrere Freiheitsgrade
                                      mit einem einzigen Maßstab gemessen werden.

                                                                                                         Freiheitsgrade X, Y

                                                                                                         Dplus-Maßverkörperung
                                                                                                         mit Dplus-Abtastkopf
              Mehrere Freiheitsgrade erfassen

              Ein Körper verfügt über sechs Bewegungsmöglichkeiten im freien Raum. Dabei unter-
              scheidet man zwischen translatorischen Freiheitsgraden (X, Y, Z) und rotatorischen Frei-
              heitsgraden (RX, RY, RZ).

              Das Messen mehrerer Freiheitsgrade erfordert viele Komponenten. Bei Standardmessge-
              räten wird pro Freiheitsgrad ein Abtastkopf und eine Maßverkörperung benötigt. Mit den
              Dplus-Messgeräten von HEIDENHAIN kann die Anzahl der benötigten Komponenten
              deutlich reduziert werden.

              Beispielsweise ist es möglich, mit einem Dplus-Maßstab mit zwei separaten Maßverkörpe-
              rungen sowie drei Abtastköpfen auf einem Maßstab bis zu drei Freiheitsgrade zu erfassen.   Freiheitsgrade X, Y, RZ
              Diese Technologie macht es möglich, komplexe Messaufgaben mit einem einfachen und
              kompakten Design zu realisieren.                                                           Dplus-Maßverkörperung mit
                                                                                                         Standardabtastkopf und
                                                                                                         Dplus-Abtastkopf

8                                                                                                                                    9
MULTI-DOF Messtechnik für mehrere Freiheitsgrade - Heidenhain
Diagonale Teilungsanordnung

                                                                                                                               Vorsprung durch gezieltes Monitoring

                                                                                                                               Bei der rechtwinkligen Anordnung der Teilungen mit 0° und 90° kann die Nebenmessrich-
                                                                                                                               tung nicht referenziert werden. Die diagonale Anordnung der Teilungsspuren ermöglicht
                                                                                                                               hingegen ein Referenzieren beider Messrichtungen.

                                                                                                                               Dadurch können absolute Haupt- und Nebenachsmesswerte bereitgestellt werden. Das
                                                                                                                               absolute Erfassen von Positionsänderungen im Maschinensystem ermöglicht genauere
                                                                                                                               Positionierungen und Rückschlüsse auf mögliche Fehlerquellen.

                       ¹2(pos2 – pos1)
     x(pos1, pos2) =
                             2
                       ¹2(pos2 + pos1)
     y(pos1, pos2) =
                             2

                                         Dplus-Abtastkopf

                                         Mit dem von HEIDENHAIN entwickelten Dplus-Abtastkopf können zwei Freiheitsgrade
                                         gleichzeitig gemessen werden. Über die EnDat 3-Schnittstelle werden beide gemessene
                                         Positionswerte mit nur einem Kabel an die Steuerung übertragen.

                                         Dadurch kann die Anzahl der Kabel deutlich reduziert werden. Neben dem geringeren
                                         Montage-Aufwand kann so auch das dynamische Verhalten des Bewegungssystems
                                         optimiert werden.

10                                                                                                                                                                                                                     11
MULTI-DOF Messtechnik für mehrere Freiheitsgrade - Heidenhain
Out of Plane-Abstandsmessung

             Standardmessgeräte können immer nur jeweils einen Freiheitsgrad erfassen. Mit Dplus-
             Messgeräten können hingegen bis zu drei Freiheitsgrade in Messgerät-Ebene gemessen
             werden, z. B. X, Y und RZ. Zusätzliche Messungen in einer anderen Ebene würden dann
             aber weitere Messgeräte und einen komplexen Systemaufbau erfordern.

             Das Abstandsmessgerät GAP 1081 ermöglicht durch das vertikale Mess­prinzip eine sehr
             einfache und platzsparende Systemerweiterung für zusätzliche Messrichtungen. Die Mon-                               Freiheitsgrade X, Z
             tage der Komponenten erfolgt in der Hauptebene des Messgeräts. Dadurch liefert das
             GAP 1081 besonders unmittelbare und direkte Messwerte.                                                              Standard-Maßverkörperung
                                                                                                                                 mit einem Abtastkopf und
             Das GAP 1081 eignet sich sowohl für einfache Positionieraufgaben in vertikaler Richtung                             Abstandsmessgerät GAP 1081
             als auch für kontinuierliche Messungen über die gesamte Ebene. Durch die Anordnung                                  mit einem Abtastkopf
             von zwei Abtastköpfen auf einem Spiegel kann das Messgerät auch die Neigung bzw. das
             Kippen der jeweiligen Achse erfassen. Dadurch kann die Komplexität eines Metrologie-
             Konzepts deutlich reduziert und der Montageaufwand vereinfacht werden.

                                                                                                                                 Freiheitsgrade X, Y, Z,
                                                                                                                                 RY, RZ
                                                                                                                                 Dplus-Maßverkörperung
                                                                                                                                 mit drei Abtastköpfen und
                                                                                                                                 Abstandsmessgerät GAP 1081
                                                                                                                                 mit zwei Abtastköpfen

                                                                                                                      GAP 1081

                                                           Freiheitsgrade X, Y, Z,
                                                           RY, RZ
                                                           Dplus-Maßverkörperungen
                                                           mit jeweils drei Abtastköpfen

                                                                                                       Abtastfelder

12                                                                                                                                                            13
MULTI-DOF Messtechnik für mehrere Freiheitsgrade - Heidenhain
Transferable Accuracy

                                                                                                                                                                                                 Robustheitstest für Dplus-Maßstabsbaugruppen

                                                                                                                                                                                                 Die Systemgenauigkeit in der Applikation hängt nicht nur von der Mon­tage der Messgeräte,
                                                                                                                                                                                                 sondern auch von den Umgebungsbedingungen während des Betriebs ab. Mit Hilfe von
                                                                                                                                                                                                 Maßstabskalibrierungen auf Messmaschinen bei HEIDENHAIN wird die Genauigkeit des
                                                                                                                                                                                                 Mess­systems gesteigert, und aufwendige Kalibrierungen nach der Montage vor Ort ent-
Maßstabsbaugruppe LIP 201 Dplus auf Keramikträgerkörper                                                                                                                                          fallen.

                                                                                                                                                                                                 Dazu wird der Maßstab vor der Auslieferung bei HEIDENHAIN auf einen Trägerkörper
                                                                                                                                                                                                 montiert und vermessen. Der Maßstab wird dadurch von negativen Montage-, Umge-
                                                                                                                                                                                                 bungs- und Transporteinflüssen entkoppelt. Somit wird letztlich die Übertragung der
                                                                                                                                                                                                 von HEIDENHAIN gemessenen Genauigkeit von der Messmaschine bis zur Applikation
                                                                                                                                                                                                 garantiert. Die entsprechende Kalibriertabelle wird mitgeliefert.

Maßstabsbaugruppe LIP 201 Dplus auf Stahlträgerkörper

LIP 201 Dplus

                                                                                                                                                                                      1000

                                                                                                                                                                        u
                   Umgebungsbedingungen                                                                     Transportbedingungen                                                                                            1. Messung            4. Messung
                                                                                                                                                                                      800

                                                                                                                                                                   Abweichung in nm
1. Messung                        2. Messung                    3. Messung                   4. Messung                     5. Messung               6. Messung                                                             2. Messung            5. Messung
                                                                                                                                                                                      600
                                                                                                                                                                                                                            3. Messung            6. Messung
                                                                                                                                                                                      400
                        Kälte                       Wärme                       Feuchtigkeit                   Vibrationen                    Falltest                                200
                                                                                                                        2                                                               0
                         –10 °C                 50 °C bei 50% rF               22 °C bei 85% rF                6,86 m/s RMS*              Fallhöhe: 0,8 m
                                                                                                                                                                                      -200
                   • Kühl- bzw. Heiz-           • Heiz- bzw. Kühl-             • Änderungsrate                • Fertig verpackt          • Fertig verpackte
                     rate: ±10K/h                 rate: ±10K/h                   der Luftfeuchtig-              im Karton                  Maßstabsbau-                               -400
                   • Plateauzeit: 2 h           • Plateauzeit: 2 h               keit: ±20%                                                gruppe
                                                                               • Plateauzeit: 2h                                                                                      -600

                                                                                                                                                                                      -800
                                        24h                             24h                          72h                                                                        - 1000
                         Stabilisierungszeit             Stabilisierungszeit          Stabilisierungszeit                                                                                    0   40    80    120    160    200    240    280    320    360    400    440   480   520   560
                        (Raumtemperatur)                (Raumtemperatur)             (Raumtemperatur)
                                                                                                                                                                                                                                                                      Position in mm   u

             *40 min: 3,92 m/s² RMS; 15 min: 5,29 m/s² RMS; 5 min: 6,86 m/s² RMS (ASTM D 4169)                                                                    Geradheitsabweichung bezogen auf die Messlänge

14                                                                                                                                                                                                                                                                                     15
MULTI-DOF Messtechnik für mehrere Freiheitsgrade - Heidenhain
Weniger Kabel – höhere Dynamik

                                                                                              Mehrkopfverrechnung mit EnDat 3

                                                                                              Der Einsatz von mehreren Messgeräten erhöht nicht nur die Anzahl der Kabel im System,
                                                                                              sondern auch den Aufwand für die Montage und die nachfolgende Verrechnung in der
                                                                                              Steuerung. Mit der Schnittstelle EnDat 3 bietet HEIDENHAIN eine optimale Lösung, um-
                                                                             Mehrkopf-        fangreiche Informationen mit nur einem Kabel zu übertragen. Beispielsweise werden zwei
                                                                             Verrechnung      Positionswerte in der Impulsformer-Platine eines Dplus-Messgeräts berechnet und über
                                                                             Ausgangs-        ein einziges Kabel übertragen.
                                                                             schnittstelle:
                                                                             EnDat 3          Mit einer Mehrkopf-Verrechnungselektronik können die Positionssignale mehrerer Mess-
                                                                                              geräte zusammengefasst und ebenfalls über ein einziges Kabel an die Steuerung übertragen
                                                                                              werden.

                                                                                              Das Ergebnis: Komplexe Metrologiekonzepte ohne großen Verkabelungsaufwand und
                                                                                              ohne eigene Positionswertberechnungen einfach und bequem umsetzbar.

                                Maßstab LIP 6001 Dplus

     Abtastkopf LIP 601 Dplus

                                     Abtastkopf LIP 608

                                                          Maßstab LIP 6001

16                                                                                                                                                                                17
MULTI-DOF Messtechnik für mehrere Freiheitsgrade - Heidenhain
LIP 6031 Dplus
Inkrementales offenes Längenmessgerät
„ Zwei diagonale Teilungen ±45° zur Messung von Haupt- und Nebenmessrichtung
„ Maßstab aus Glaskeramik, Befestigung mit PRECIMET oder Spannpratzen

                                                                                                                                                                 Maßstab                      LIP 6001 Dplus
                                                                  

                                                                                                   4.5
6.8

                                                                                                                                                                 Maßverkörperung              OPTODUR-Phasengitter auf Zerodur-Glaskeramik; Teilungsperiode 8 µm
                                                                                                                                                                 Längenausdehnungskoeffizient Þtherm  (0 ±0,1) · 10–6 K–1

                                                                                                                             2.9
                                                                                                                                                                 Genauigkeitsklasse           X-Richtung: ±3 µm; Y-Richtung: ±20 µm
0.75±0.1

                                                                                                                      
                                                                                                                                                               Basisabweichung              X-Richtung: ±0,175 µm / 5 mm; Y-Richtung: ±0,175 µm / 5 mm

                                                                ML +10                                                                                          Messlänge in X-Richtung ML      70 120 170             220 270	 320	 370            420     470 520         570 620       670    720
                                                                                                                                                                 in mm                          770 820 870             920 970 1020 1140           1240    1340 1440       1540 1640     1840   2040
                                                            2 F8                                                                                                                              2240 2440 2640          2840 3040
                                                                                                  45°
                                                                                                                                                                 Messlänge in Y-Richtung      ±2 mm
                                    
                                                                                                                                                                 Referenzmarke                eine am Beginn der Messlänge

                                                                                                                      20
                                                                                                                                                                 Masse                        1,5 g/mm
36

                                                                                                                                                                 Abtastkopf                   LIP 603 Dplus
                                             
                                                                                                                                                                 Schnittstelle                EnDat 3
               5                                                      M2.5
                       10                                  16.5                                                                                                  Integrierte Interpolation    16384fach (14 bit)
                                                                 36
                                                                   37                                                                                           Messchritt                    172 pm

                                                                                                                                                                 Rechenzeit                    5 µs
Kundenseitige Anschlußmaße                                            ISO 4762 - M2.5 x (a+6) - 8.8 /
                                                                      ISO 7092 - 2.7                                                                             Datenrate                    12,5 Mbit/s; 25 Mbit/s

                                                                                                                                                                 Verfahrgeschwindigkeit        240 m/min
                                                                                        a

           0.1 / 32 A
                                                                                                                                                                 Interpolationsabweichung     ±6 nm
                                                                                              
                                                                                                                                                                 Positionsrauschen RMS        1 nm, (1 MHz)
                       0.75 ± 0.1

                                                                                                                                                                Elektrischer Anschluss       Kabel 0,5 m / 1 m / 3 m mit Schnittstellen-Elektronik im Stecker (Sub-D, Stift, 15-polig)
                                                         37
                                        4x              (32)                                                                                                     Kabellänge                   12,5 Mbit/s: ≤ 100 m; 25 Mbit/s: ≤ 40 m
                                                                                                                                                                                              während des Signalabgleichs mit PWM 21: ≤ 3 m
                   0.1 F
                                                                                            45°                                                                  Versorgungsspannung          DC 3,6 V bis 14 V
                                                                                                                     >8
                                                                                                           4.5

                                                                                                                                                                 Leistungsaufnahme (max.)     1,5 W
                10

                                                                                                                                                                 Stromaufnahme                bei 12 V: 100 mA (ohne Last, typisch)
                                                                                 (32)

                                                                                                                                                   33.3
                                                                                                                                                          40.1

                                                                                                                                                                Vibration 55 Hz bis 2 kHz
                                                                                                                                                                                                         2
                                                                                                                                                                                               500 m/s (EN 60068-2-6)
                                                                                                                                                                 Schock 11 ms                  1000 m/s2 (EN 60068-2-27)
                                                                                                                  
                                                                                                                                        UNC 4/40

                                                                                                                                                                Arbeitstemperatur            –10 °C bis 70 °C
                                     2 F8
                    0.1 A B                                             4x Ø 3.3                                                                                Masse Abtastkopf 			 27 g
                                                 16.5                                                                   Md = 40 Ncm
                                                                                                                                                                Stecker APE    108 g
                                                                                                                                                   16

F          =   Maschinenführung
l          =   Maßstabslänge
r          =   Referenzmarken-Lage                                                                                                 50
s          =   Beginn der Messlänge ML
1          =   Bewegungsrichtung der Abtasteinheit für steigende Positionswerte
2          =   Montageabstand Abtastkopf zu Maßstab
3          =   Moiré-Justage: Passstift Ø 2m6
4          =   Klebeband
5          =   Funktions-LED

18                                                                                                                                                                                                                                                                                                 19
LIP 281 Dplus
 Inkrementales offenes Längenmessgerät
 „ Zusätzliche Y-Spur für Messungen von Abweichungen quer zur Messrichtung
 „ Maßstab aus Glaskeramik, Befestigung mit PRECIMET oder Spannpratzen

                                                                                                                                                                                                                Maßstab                         LIP 201 Dplus

                                                                                                                                                                                                                Maßverkörperung              OPTODUR-Phasengitter auf Zerodur-Glaskeramik; Teilungsperiode 2,048 µm
                                2.5mrad B                                                                                                                                                                       Längenausdehnungskoeffizient Þtherm  (0 ±0,1) · 10–6 K–1
                                                                        n x 100                     n x 100
                                                                                                                            60
                                                                                                                                                 
                                            (67.073)                      100                    100                                                                                                            Genauigkeitsklasse              X-Richtung: ±3 µm; Y-Richtung: ±20 µm
                      8
                                                                                      37                      M3x6 ISO 7984 < 60

                                                                                                                                       7.825
           M3

                                                            45°                                              +ISO 7092-3
                                                    12
                                                                                                                                                                                                                Basisabweichung                 X-Richtung: ±0,125 µm/5 mm; Y-Richtung: ±0,125 μm/5 mm
                                                      .5

                                                                                                                                                                                                    (52.201)
33 ± 0.1

                                                                                                                                                                                                                Messlänge in X-Richtung ML    70	  120	  170	  220	  270	  320	  370	  420	  470	  520	  570	  620	  670	  720

                                                                                                                                                         25
                                                                                                                                                                                                                in mm

                                                                                                                                               (7.825)
                                                                                                                                                                                                                                                         1)
                                                                            45° 
           4

                                                                                                                                                                                                               Messlänge in Y-Richtung         ±2 mm
                                                           .5

 3.2 ± 0.1                      7.5
                                                         14

                                                                                      25                                 0.01/10 F
                                                2.5mrad B                                                                                                                            18                       Referenzmarke                   eine in der Mitte der Messlänge
                                                              r
                                                                                                     M3x6 ISO 7984
                                                                                                                                                                                      22.9
                                                                                                                                                                                                                Masse                           7,2 g + 0,18 g/mm
                                                                                   = ML + 40
                                Z                                                                                                                                                                               Abtastkopf                      LIP 21                     LIP 29F                    LIP 29M                    LIP 28

                                                                                                                                                                                                                Schnittstelle                   EnDat 2.2                  Fanuc Serial               Mitsubishi high            » 1 VSS
                                                                                                                                                                                                                                                                           Interface                  speed Interface
                                                                    2.9 ± 0.1

                          
                                                                     2 ± 0.1

                                                                                                                                                                                                                Bestellbezeichnung              EnDat 22                   Fanuc02                    Mit02-4                    –
                                                             3.7

                                            0.02 A CZ                                                                                                                                                           Integrierte Interpolation       16384fach (14 bit)                                                               –
                                                  (beide Abtastköpfe)
                           0.02/100 F                                                                                                                                                                           Messschritt		                   0,03125 nm (31,25 pm)                                                            –

                                                                                                                                                                                                                Verfahrgeschwindigkeit           120 m/min                                                                       90 m/min

                                                                      M2.5                                                                                                                                     Interpolationsabweichung        ±0,4 nm
                                                                                                                                                                                                                                                          1)

                                                                       4 deep (4x)

                                                                                                                                                                         16.5 ± 0.5
                                                                                                                                                                                                                Positionsrauschen RMS           0,12 nm                                                                          0,12 nm (3 MHz)2)
                          Z
                                                                                10
                                                 11 .5

                                                                                                                                     76.5 ± 0.5
                                                                                .5
                                                      66
                                                      .5
                                                     16

                          5:1                                                                                                                                                                                   Elektrischer Anschluss          Kabel 0,5 m / 1 m / 3 m mit Stecker Sub-D, Stift, 15-polig; Schnittstellen-Elektronik im Stecker
                                                                                     31 .5
                                               10

                                                   .0

                                                                                       16

                                                                                                                                                                                                                Kabellänge                      siehe Schnittstellenbeschreibung, jedoch  15 m ( 30 m bei 1 VSS) mit HEIDENHAIN-Kabel;
                0.2

                                                                                                                                                                                                                                               während des Signal-Abgleichs mit PWM 21:  3 m
                                                                                                                                                                                       42.5 ± 0.5
                                                                                          9.35
                                                  12

                                                                                                                                                                                                                Versorgungsspannung             DC 3,6 V bis 14 V                                                                DC 5 V ±0,25 V
                                                                                                                                                                         33.3
                                                    .5
                                                       7.

                                                                                                                  3.7
                                                           5

                                                                                     .5

                                                                                                                                                                                                               Leistungsaufnahme               bei 14 V: 2,5 W; bei 3,6 V: 2,6 W                                                –
                                                                                     12
                                                    24
                                                       .2

                                                                        
                                                                                                                                                              UNC 4/40
                                                                                      24
                                                       89

                                                                                                                                                                                                                Stromaufnahme                   bei 5 V: 300 mA (ohne Last, typisch)                                              390 mA
                                                                                5
                                                                                7.

                                                                                                                                                                                                                Vibration 55 Hz bis 2 kHz        200 m/s2 (EN 60068-2-6)
                                                                                                                                                                                                                Schock 11 ms                     400 m/s2 (EN 60068-2-27)

                                                                                                                                                                                                                Arbeitstemperatur               0 °C bis 50 °C
 F         =    Maschinenführung
 l         =    Maßstabslänge
 r         =    Referenzmarken-Lage                                                                                                                                                                             Masse Abtastkopf 			 59 g
 s         =    Beginn der Messlänge ML                                                                                                                                                                               Stecker        140 g
 k         =    Klebstoff
 g         =    Montageelement für Hartklebung zur Definition des thermischen Fixpunktes                                                                                                                       1) Mit HEIDENHAIN-Interface-Elektronik
                                                                                                                                               INVISIBLE LASER RADIATION
 1         =    Neutraler Drehpunkt (0.2 mm unter der Maßstabsoberfläche)                                                                                                                                      2) –3 dB Grenzfrequenz der Folge-Elektronik
 2         =    Abhängig von Messlänge ML, zusätzliches Spannpratzenpaar verwenden                                                                             IEC60825-1:2007
 3         =    Bewegungsrichtung der Abtasteinheit für steigende Positionswerte                                                                                   Pmax = 4 mW
 4         =    Optische Mitte                                                                                                                                       λ= 850 nm
 5         =    ML transversal ±0.6 mm
                                                                                                                                                CLASS 3B LASER PRODUCT

 20                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                  21
PP 281 R
Inkrementales Zwei-Koordinaten-Messgerät
„ Für Messchritte von 1 µm bis 0,05 µm

                                                                                                                                                                      PP 281 R

                                                                                                                                    Maßverkörperung              Zwei-Koordinaten TITANID-Phasengitter-Teilung auf Glas; Teilungsperiode 8 µm
                                                                         ②                                                          Längenausdehnungskoeffizient Þtherm  8 · 10–6 K–1

                                                                                                             
                                                                                                                                    Genauigkeitsklasse                ±2 µm

                                                                                                                        
                                                             ①
                                                                                                                                    Messbereich                       68 mm x 68 mm,
                                                                                                                                                                      andere Messbereiche auf Anfrage
                                                                                                                                                      1)
③                                                                                                                                   Referenzmarken                    je eine Referenzmarke 3 mm nach Messbeginn

                                                                                                                                    Schnittstelle                     » 1 VSS

                                                                                                                                    Signalperiode                     4 µm

                                                                                                                                    Grenzfrequenz            –3 dB     300 kHz

                                                                                                                                    Verfahrgeschwindigkeit             72 m/min
                                                                                                                                                                              3)
                                                                                                                                    Interpolationsabweichung          ±12 nm
                    ③                                                                                                               Positionsrauschen RMS             2 nm (450 kHz2))

                                                                                                                                    Elektrischer Anschluss            Kabel 0,5 m mit Stecker Sub-D, Stift, 15-polig; Schnittstellen-Elektronik im Stecker

                                                                                                                                    Kabellänge                        siehe Schnittstellenbeschreibung, jedoch  30 m (mit HEIDENHAIN-Kabel)

                                                                                                                                    Versorgungsspannung               DC 5 V ±0,25 V

                                                                                                                                    Stromaufnahme                     < 185 mA pro Achse

                                                                                                                                    Vibration 55 Hz bis 2000 Hz        80 m/s2 (EN 60068-2-6)
                                                                                                                                                                               2
                                                                                                                                    Schock 11 ms                       100 m/s (EN 60068-2-27)

                                                                                                                                    Arbeitstemperatur                 0 °C bis 50 °C

                                                                                                                                    Masse       Abtastkopf            170 g (ohne Anschlusskabel)
                                                                                                                                                Messplatte            75 g
                                                                                                                                                Stecker               140 g

                                           *   =   Max. Änderung bei Betrieb                                                       1)
                                                                                                                                        Das Referenzmarkensignal weicht in seinen Nulldurchgängen K, L von der Schnittstellenspezifikation ab (siehe Montageanleitung)
                                           F   =   Maschinenführung                                                                2)
                                                                                                                                        –3 dB Grenzfrequenz der Folge-Elektronik
                                           r   =   Referenzmarken-Lage von der dargestellten Mittellage                            3)
                                                                                                                                        Mit HEIDENHAIN-Interface-Elektronik, z. B. EIB 741
                                           1   =   Bei Montage justiert
                                           2   =   Teilungsseite
                                           3   =   Bewegungsrichtung der Abtasteinheit für steigende Positionswerte

22                                                                                                                                                                                                                                                                       23
GAP 1081
Inkrementales offenes Langenmessgerat
„ Für vertikale Abstandsmessungen
„ Spiegel auf Glas, Befestigung mit PRECIMET

                                                   B-B
                                    ISO 4762 M3x (a-t+3) -A2

                                                                     t
                                                                                 a                                                                                           B
        12                                                                                                                                                                                               Spiegel                       GAP 1001
                                                                                                                                                                              6
                                                                                                                                                                                                         Spiegelträger                Glas mit OPTODUR-Spiegel
                                                                                                                                                                                                         Längenausdehnungskoeffizient Þtherm  8 · 10–6 K–1 (Glas)
                                   7
5

                                                                                                                      0.02/100 C

                                                                                                                                                                                                         Messbereich                   ±2 mm
                                   5.7

                                                                                                                                                                                                 2.25
                                                                                                                                                                                            10
                                                                                                                                  16.9
                                           4.139

                                                                                                                                                                                       11
                                                                                                                                                                                                        Referenzmarken                eine Referenzmarke in der Mitte der Messlänge

                                                                                                                                             8.25
                                                                                                                                                                                                        Masse                         0,11 g/mm

                                                                                                                     6.239±0.05
                                                                                                                                                                                                       Abtastkopf                    GAP 108
                                                                                                                                                                        B
                                                                                                                                                                      18                                Anbaumaß (nominal)            4,14 mm

                                                                                                                                                                                                         Schnittstelle                 1 VPP
                                                                                                                
                                                                                                                                                                                                         Signalperiode		               2,2 µm

                                                                                                                                                                                                 21.7
                                                                                                                                                                                                         Grenzfrequenz        –3 dB     27 kHz
                                                                                                      12

                                                                                                                                                                                                         Verfahrgeschwindigkeit         60 mm/s

                                                                                                                                                                                             4.5
                 90°                                                                                                                                                                                     Interpolationsabweichung      ±4 nm

                                                                                                                                                                                      0.4
                                                                                                                                                                                                         Positionsrauschen RMS          100 pm

                                                                                                                                                                                                         Elektrischer Anschluss        Kabel 0,5 m / 1 m / 3 m mit Stecker Sub-D, Stift, 15-polig, Schnittstellen-Elektronik im Stecker
Lochmuster für den Anbau des Messgeräts
                                                                                                                          A                                                                              Kabellänge                    siehe Schnittstellen-Beschreibung (analog zu Schnittstellen-Elektronik), jedoch  30 m
                                             0.03 C B A

                                                                   A-A           0.03 A                                                                                                                                                (mit HEIDENHAIN-Kabel); während des Signal-Abgleichs mit PWM 21:  3 m
                            0.25                                                                    2.5 H7                        0.03 C B A                    Pin  2.5
                                                                                                                                                                                                         Versorgungsspannung           DC 5 V ±0,25 V
                                                            6.5

                                                                                                                                                    11
                                                                          3.4

                                                                                                                                                                                              
                                                                                                  17.519

                                                                                                                                                                                                         Leistungsaufnahme             1500 mW
                                                                                 
                                                                                                                                                                                                         Stromaufnahme                  300 mA
                                                                                                                18                                                Pin  3
                                         7.769
         3 H7

                       18                                                                                                                                                                               Laser                         Klasse 3B
                                                                                                                                  A                                                                                                             2
                                                                                                                                                                                                         Vibration 55 Hz bis 2000 Hz    200 m/s (EN 60068-2-6)
                                                                                                           >8                                                                                            Schock 11 ms                   400 m/s2 (EN 60068-2-27)
                                                                                           4.5

                                                                                                                                                                                                         Arbeitstemperatur*            0 °C bis 50 °C
                                                                                                                                                           40.1
                                                                                                                                                    33.3

                                                                                                                                                                                                         Masse Abtastkopf              50 g
                                                                                                                                                                                                               Stecker                 120 g

                                                                                                  
                                                                                                                                         UNC 4/40

                                                                                                                                                                                                        * Für bitgenaue Referenzmarke: 22 °C ±2 °C

                                                                                                            Md = 40 Ncm

1   =   Montagefläche für das Messgerät
2   =   Montagefläche für den Maßstab                                                                                                                                VISIBLE LASER RADIATION
                                                                                                                                                    16

3   =   Maßstab
                                                                                                                                                                                  IEC60825-1:2008
4   =   Kabellänge 1.5 m
                                                                                                                     50                                                             Pmax = 100 mW
5   =   Nomineller Mittelpunkt                                                                                                                                                          λ= 660 nm

                                                                                                                                                                      CLASS 3B LASER PRODUCT

24                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                        25
Anschlussbelegung

LIP 603                                                                                                                                    LIP 281 und PP 281 R
 Stecker Sub-D, 15-polig                                                                                                                    Stecker Sub-D, 15-polig

                   Spannungsversorgung                                    sonstige Signale                               serielle Daten­                      Spannungsversorgung                           Inkrementalsignale                                sonstige Signale
                                                                                                                          übertragung
                                                                                                                                                          4       12        2       10       1        9         3       11            14       7      13         5       6/8        15
               4       12      2        10      1      9          3     11      14       7       13        5      6        8       15
                                                                                                                                                                                                                                                            1)      1)                    1)
                                                                                                                                            » 1 VSS      UP      Sensor    0V     Sensor     A+       A–       B+      B–             R+      R–    belegt belegt         /      belegt
              UP     Sensor    0V     Sensor   frei   frei       frei   frei   frei     frei    frei      frei   frei   DATA DATA                                  5V               0V                                                               frei 3) frei 3)              frei 3)
                       5V               0V
                                                                                                                                                2)      braun/    blau    weiß/    weiß    braun     grün     grau     rosa           rot   schwarz violett     rot/      /        gelb
                                                                                                                                                         grün             grün                                                                                schwarz
     2)     braun/     blau   weiß/    weiß     /       /         /      /       /       /        /        /       /     grün/    gelb
                                                                                                                                                                                                                                 1)
             grün             grün                                                                                      schwarz            Kabelschirm liegt auf Gehäuse; UP = Spannungsversorgung                                   ur für Abgleichzwecke, im Normalbetrieb nicht
                                                                                                                                                                                                                                    N
                                                                                                                                           Sensor: Die Sensorleitung ist im Messgerät mit der jeweiligen                           belegen
                                                                                                                                                                                                                                 2)
Kabelschirm liegt auf Gehäuse; UP = Spannungsversorgung                                                                                             ­Spannungsversorgung verbunden                                                  Farbbelegung des Verbindungskabels
                                                                                                                                                                                                                                 3)
Sensor: Die Sensorleitung ist im Messgerät mit der jeweiligen                                                                             Nicht verwendete Adern und Pins dürfen nicht belegt werden.                              PP 281 R
         ­Spannungsversorgung verbunden
Nicht verwendete Adern und Pins dürfen nicht belegt werden.

                                                                                                       Weitere Informationen:
                                                                                               Ausführliche Beschreibungen zu Kabeln
                                                                                               finden Sie im Prospekt Kabel und Steck-
                                                                                               verbinder.

26                                                                                                                                                                                                                                                                                     27


           
          
           

                                                                             Vollständige und weitere Adressen siehe www.heidenhain.de
                                                              For complete and further addresses see www.heidenhain.de

DE      HEIDENHAIN Vertrieb Deutschland              DK   Denmark  SE                            NZ   Llama ENGINEERING Ltd
        83301 Traunreut, Deutschland                                                                   5012 Wellington, New Zealand
         08669 31-3132                              ES   FARRESA ELECTRONICA S.A.                     E-mail: info@llamaengineering.co.nz
        | 08669 32-3132                                   08028 Barcelona, Spain
        E-Mail: hd@heidenhain.de                          www.farresa.es                          PH   MACHINEBANKS' CORPORATION
                                                                                                       Quezon City, Philippines 1113
        HEIDENHAIN Technisches Büro Nord             FI   HEIDENHAIN Scandinavia AB                    E-mail: info@machinebanks.com
        12681 Berlin, Deutschland                         01740 Vantaa, Finland
         030 54705-240                                   www.heidenhain.fi                       PL   APS
                                                                                                       02-384 Warszawa, Poland
        HEIDENHAIN Technisches Büro Mitte            FR   HEIDENHAIN FRANCE sarl                       www.heidenhain.pl
        07751 Jena, Deutschland                           92310 Sèvres, France
         03641 4728-250                                  www.heidenhain.fr                       PT   FARRESA ELECTRÓNICA, LDA.
                                                                                                       4470 - 177 Maia, Portugal
        HEIDENHAIN Technisches Büro West             GB   HEIDENHAIN (G.B.) Limited                    www.farresa.pt
        44379 Dortmund, Deutschland                       Burgess Hill RH15 9RD, United Kingdom
         0231 618083-0                                   www.heidenhain.co.uk                    RO   HEIDENHAIN Reprezentanţă Romania
                                                                                                       Braşov, 500407, Romania
        HEIDENHAIN Technisches Büro Südwest          GR   MB Milionis Vassilis                         www.heidenhain.ro
        70771 Leinfelden-Echterdingen, Deutschland        17341 Athens, Greece
         0711 993395-0                                   www.heidenhain.gr                       RS   Serbia  BG

        HEIDENHAIN Technisches Büro Südost           HR   Croatia  SL                            RU   GERTNER Service
        83301 Traunreut, Deutschland                                                                   119002 Moscow, Russian Federation
         08669 31-1337                              HU   HEIDENHAIN Kereskedelmi Képviselet           www.heidenhain.ru
                                                          1239 Budapest, Hungary
                                                          www.heidenhain.hu                       SE   HEIDENHAIN Scandinavia AB
                                                                                                       12739 Skärholmen, Sweden
AR      NAKASE SRL.                                  ID   PT Servitama Era Toolsindo                   www.heidenhain.se
        B1653AOX Villa Ballester, Argentina               Jakarta 13930, Indonesia
        www.heidenhain.com.ar                             E-mail: ptset@group.gts.co.id           SG   HEIDENHAIN PACIFIC PTE LTD
                                                                                                       Singapore 408593
AT      HEIDENHAIN Techn. Büro Österreich            IL   NEUMO VARGUS MARKETING LTD.                  www.heidenhain.com.sg
        83301 Traunreut, Germany                          Holon, 5885948, Israel
        www.heidenhain.de                                 E-mail: neumo@neumo-vargus.co.il        SK   KOPRETINA TN s.r.o.
                                                                                                       91101 Trencin, Slovakia
AU      FCR MOTION TECHNOLOGY PTY LTD                IN   HEIDENHAIN Optics & Electronics              www.kopretina.sk
        Laverton North Victoria 3026, Australia           India Private Limited
        E-mail: sales@fcrmotion.com                       Chetpet, Chennai 600 031, India         SL   NAVO d.o.o.
                                                          www.heidenhain.in                            2000 Maribor, Slovenia
BE      HEIDENHAIN NV                                                                                  www.heidenhain.si
        1760 Roosdaal, Belgium                       IT   HEIDENHAIN ITALIANA S.r.l.
        www.heidenhain.be                                 20128 Milano, Italy                     TH   HEIDENHAIN (THAILAND) LTD
                                                          www.heidenhain.it                            Bangkok 10250, Thailand
BG      ESD Bulgaria Ltd.                                                                              www.heidenhain.co.th
        Sofia 1172, Bulgaria                         JP   HEIDENHAIN K.K.                                                                   ·
        www.esd.bg                                        Tokyo 102-0083, Japan                   TR   T&M Mühendislik San. ve Tic. LTD. ŞTI.
                                                          www.heidenhain.co.jp                         34775 Y. Dudullu –
BR      HEIDENHAIN Brasil Ltda.                                                                        Ümraniye-Istanbul, Turkey
        04763-070 – São Paulo – SP, Brazil           KR   HEIDENHAIN Korea Ltd.                        www.heidenhain.com.tr
        www.heidenhain.com.br                             Anyang-si, Gyeonggi-do, 14087
                                                          South Korea                             TW   HEIDENHAIN CO., LTD.
BY      GERTNER Service                                   www.heidenhain.co.kr                         Taichung 40768, Taiwan
        220026 Minsk, Belarus                                                                          www.heidenhain.com.tw
        www.heidenhain.by                            MX   HEIDENHAIN CORPORATION MEXICO
                                                          20290 Aguascalientes, AGS., Mexico      UA   GERTNER Service
CA      HEIDENHAIN CORPORATION                            E-mail: info@heidenhain.com                  02094 Kiev, Ukraine
        Mississauga, OntarioL5T2N2, Canada                                                             www.heidenhain.ua
        www.heidenhain.com                           MY   ISOSERVE SDN. BHD.
                                                          43200 Balakong, Selangor                US   HEIDENHAIN CORPORATION
CH      HEIDENHAIN (SCHWEIZ) AG                           E-mail: sales@isoserve.com.my                Schaumburg, IL 60173-5337, USA
        8603 Schwerzenbach, Switzerland                                                                www.heidenhain.us
        www.heidenhain.ch                            NL   HEIDENHAIN NEDERLAND B.V.
                                                          6716 BM Ede, Netherlands                VN   AMS Co. Ltd
CN      DR. JOHANNES HEIDENHAIN                           www.heidenhain.nl                            HCM City, Vietnam
        (CHINA) Co., Ltd.                                                                              E-mail: davidgoh@amsvn.com
        Beijing 101312, China                        NO   HEIDENHAIN Scandinavia AB
        www.heidenhain.com.cn                             7300 Orkanger, Norway                   ZA   MAFEMA SALES SERVICES C.C.
                                                          www.heidenhain.no                            Kyalami 1684, South Africa
CZ      HEIDENHAIN s.r.o.                                                                              www.heidenhain.co.za
        102 00 Praha 10, Czech Republic
        www.heidenhain.cz

1349070 · 00 · A · 01 · 07/2021 · PDF
Sie können auch lesen