Portfolio - Ausgabe 012020 - Short Catalog - PLATIT
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Inhaltsverzeichnis PLATIT Short Catalog Über uns 4 Portfolio Beschichtungsanlagen 7 Anlage 111 11 Anlage 411 15 Anlage 711 21 Anlage 1011 25 Anlage 1511 29 Karusselle 34 Halterungen 36 Beladungskapazitäten 38 Schichtkompass 40 Schichteigenschaften 46 Kathodenkonfigurationen 47 Verkaufspartner und -agenten 50 Ausgabe 01 2020 3
Über uns Welcome PLATIT ist ein führender Hersteller von High-Tech PVD- und PECVD-Beschichtungsanlagen für Werkzeuge und Bauteile. Als Teil der BCI Blösch Gruppe befindet sich das Unternehmen im Familienbesitz. PLATIT hat seinen Hauptsitz in Selzach (Schweiz) und unterhält eigene Service-, Support- und Sales-Niederlassungen in Europa, Nordamerika und Asien. Sie werden von einem breiten Netzwerk an Distributoren und Partnern ergänzt. Weltweit hat PLATIT über 550 Beschichtungssysteme installiert und pflegt eine enge Partnerschaft mit seinen Kunden. Wegen der Vielzahl von Werkzeug-Geometrien und -Anwendungen müssen Hersteller von Hartstoff-Beschich- tungsanlagen unterschiedlichste technische Lösungen anbieten, um die Anforderungen der Kunden bestmöglich zu erfüllen. PLATIT bietet eine breite Palette von High-Tech Serien- und Sonderanlagen an, welche sich durch einen modularen Aufbau, hohe Flexibilität und maximale Benutzerfreundlichkeit auszeichnen. Langjährige Erfah- rung auf dem Gebiet der kathodischen ARC-, SPUTTER- und HiPIMS-Technologie erlaubt PLATIT den gezielten Einsatz dieser Technologien für unterschiedliche Anwendungen sowie deren Integration als hybride Prozesse. Die Open-Source-Philosophie von PLATIT ermöglicht Kunden die Anpassung der Beschichtungen an ihre spezifischen Anforderungen und individuellen Bedürfnisse, womit sich PLATIT-Kunden in dedizierten Anwendungsfeldern mit höchster Schichtperformance vom Marktstandard differenzieren können. Neben Beschichtungsanlagen hat PLATIT Turnkey-Systeme für Beschichtungsprozesse im Produktportfolio. Diese umfassen Komplettlösungen für vor- und nachgelagerte Prozessschritte der Hartstoffbeschichtung wie Entschichtung, Schneidkantenpräparation, Reinigung, Nachbehandlung und Qualitätskontrolle. Damit eignen sich PLATIT-Systeme ideal zur nahtlosen Integration in den Werkzeugherstellungs- und Nachschleifprozess. Headquarters Selzach Switzerland 4
Über uns Kernkompetenzen Open Source Customer Partner ship Integration Flexibility Die Kernkompetenzen von PLATIT liegen in Integration, Flexibilität, Open-Source und starker Kundenbindung. Integration ermöglicht Inhouse-Beschichtung. Dank unseres umfassenden Verständnisses für die Fertigung, Präparation sowie das Nachschleifen von Werkzeugen entwickeln wir für unsere Kunden optimierte Lösungs pakete, die wir nahtlos in deren bestehenden Fertigungsprozess integrieren. Flexibel ausgerichtet sind unser Geschäftsmodell und unsere Produkte. Die PVD-Serienanlagen sind modular aufgebaut. Sie können mit unterschiedlichen Technologien verschiedenste Beschichtungen abscheiden und ermög- lichen eine maximale Schichtvielfalt sowie -komplexität. Die Anlagen eignen sich daher zur Entwicklung kunden spezifischer Schichten und ermöglichen unseren Kunden, sich von ihren Mitbewerbern auf dem Markt abzuheben und sich ein eigenes Markenimage zu schaffen. Des Weiteren verfügen wir, dank unserem dualen Geschäfts modell mit einem integrierten Sonderanlagenbau, über die erforderliche Flexibilität zum Bau massgeschneiderter PVD-Anlagen zur Bewältigung jeder individuellen Herausforderung. Open-Source-Technologien inspirieren zu Innovationen. Mit Erwerb von PLATIT-Technologie können Kunden an unserem Know-how partizipieren. Unsere Anlagen sind für Entwickler offen, Parameter und Rezepte sind beein- flussbar und können nach Wunsch eigenständig weiterentwickelt werden. Zudem legen wir grossen Wert auf Interaktion, Diskussion und Wissenstransfer mit Technologienutzern, da wir davon überzeugt sind, dass beide Seiten von dieser Transparenz und Offenheit profitieren. Wir setzen auf starke Kundenbindungen, um Kunden jederzeit zufriedenzustellen. Mit eigenen weltweiten Service-, Support- und Sales-Niederlassungen sowie unseren Partnern für vor- und nachgelagerte Prozesse stehen wir unseren Kunden zur Seite. Unsere Kunden profitieren ausserdem von den Vorzügen unseres Netzwerks, das Angebot und Nachfrage für Werkzeughersteller, Nachschleifer und Beschichtungszentren zusammenführt. Als Premium-Anbieter helfen wir unseren Kunden bei der Kundenakquisition. Mit unserem Know-how leisten wir Unter- stützung bei der Bemusterung bis hin zur Adaption von Schichten und halten uns bei Innovationen nicht zurück. PLATIT führt keine Lohnbeschichtungen durch und lässt somit keine Konkurrenzsituation mit Kunden entstehen. 6
Beschichtungsanlagen Serien- und Sonderanlagen PLATIT ist Anbieter von High-Tech PVD- und PECVD-Beschichtungsanlagen. Je nach Bedarf statten wir diese mit folgenden Technologien aus: • ARC in DC- oder gepulstem Modus • SPUTTER in DC-, gepulstem- oder im HiPIMS-Modus • Hybrid-Technologie mit simultanen ARC- und SPUTTER-Prozessen Der Fokus von PLATIT liegt auf dem Werkzeug- und Bauteil-Bereich, jedoch fertigen wir massgeschneidert auch Sonderanlagen für besondere Wünsche. Pi111 Pi411 Max. Beschichtungsvolumen [mm] ø 353 x H 498 ø 540 x H 500 Max. Beladung [kg] 160 200 Beladung und Zykluszeiten 288 Stück, 504 Stück, bei Schaftwerkzeugen (2 μm): 4,5 h 4,5 h ø 10 x 70 [mm] ARC-Technologie 2 x LARC® PLUS-Kathoden 3 x LARC®-Kathoden, erweiterbar mit 1 x CERC®-Kathode SPUTTER-Technologie - Erweiterbar mit 1 x zentraler SCIL®-Kathode Hybrid-LACS®-Technologie - Ja, erweiterbar mit simultanen ARC- und SPUTTER-Prozessen DLC - DLC1 und DLC3, erweiterbar für DLC2- Beschichtungen OXI - Erweiterbar für oxidische Schichten 8
PVD-Serienanlagen Die PVD-Serienanlagen von PLATIT eignen sich ideal zum Beschichten von Werkzeugen und Bauteilen in marktüblichen Grössen. Sie ermöglichen kurze Beschichtungszeiten mit hochqualitativen Schichten und sind flexibel mit unter- schiedlichen Schichtstrukturen programmierbar. Die Anlagen können PVD- und PECVD-Abscheidungsverfahren für diverse Nitrid-, oxidische sowie DLC-Beschich- tungen ausführen. PL711 PL1011 Pi1511 ø 600 x H 800 ø 715 x H 805 ø 715 x H 805 250 400 400 540 Stück, 1008 Stück, 1080 Stück, 7 h, 7h 7h mit CrN - 4 x Planare Kathoden 3 x LARC® XL-Kathoden, 2 x Planare Kathoden 2 x Planare Kathoden - - - - - DLC2- und DLC3-Beschichtungen - - - - - 9
Smart Speed Anlage PLATIT Coating Intelligence 11
111 Smart Speed Anlage ARC-Technologie – 2 rotierende Kathoden A LARC® PLUS-Kathode B LARC® PLUS-Kathode C Karussell Die Pi111 PLUS G3 ist die dritte Generation einer kleinen PVD-Beschich tungsanlage von PLATIT. Sie überzeugt mit schnellen Zykluszeiten, einfacher Bedienung und hoher Benutzerfreundlichkeit zu einem attrak- tiven Preis – ohne Kompromisse bei der Schichtperformance. Mit zwei rotierenden Kathoden mit ARC-Technologie ermöglicht die Anlage das Abscheiden ausgewählter PLATIT Signature Coatings in reproduzierbarer hochwertiger Qualität. Sie ist die beste Wahl für Kunden, die den Einstieg in die Beschichtungswelt suchen oder ihren Maschinenpark um eine schnelle, kleinvolumige PVD-Anlage ergänzen möchten. 12
Übersicht Eingesetzte Technologie: 2 x LARC® PLUS-Kathoden (LAteral Rotating PLUS Cathode) zur ARC- Beschichtung Vorteile von LARC® PLUS- im Vergleich zu LARC®-Kathoden: • Verbesserte Target-Ausbeute (bis zu 30 %) • Verbessertes Magnetfeldsystem und dadurch erhöhte Abscheiderate • Schneller Kathodenwechsel 13
111 Spezifikation Eingesetzte Ätzverfahren: • LGD® (Lateral Glow Discharge) • Plasma-Ätzen mit Argon, Glimmentladung • Metall-Ionenbeschuss (Ti, Cr) Beladung und Zykluszeiten: • Max. Beschichtungsvolumen: ø 353 x H 498 [mm] • Max. Beschichtungshöhe mit definierter Schichtdicke: 414 mm • Max. Beladung: 160 kg 4–5 Chargen/Tag bei*: Schaftwerkzeuge (2 μm): ø 10 x 70 [mm] 288 Stück 4,5 h Wendeschneidplatten (3 μm): ø/ 20/14 x 6 [mm] 1680 Stück 5,5 h Abwälzfräser (4 μm): ø 80 x 180 [mm] 8 Stück 7h Abwälzfräser (4 μm): ø 75 x 180 [mm] 20 Stück 7h * Durchschnittliche Zykluszeiten für einen typischen Beschichtungsmix in einer laufenden Produktion. Modulare Karussellsysteme: • Karussell mit 2 Kickern oder 3-faches Gearbox-System Software: • Einfache Bedienung und Wartung • PLATIT SmartSoftware (PC- und PLC-System) • Moderner menügeführter Touchscreen • Prozessvisualisierung in Echtzeit mit Datenaufzeichnung und -verwaltung • Manuelle und automatische Prozesskontrolle • Ferndiagnose und -wartung Maschinendimensionen: • Footprint: B 2000 x T 1550 x H 2250 [mm] 14
Ultra Flexible Anlage PLATIT Coating Intelligence 15
411 Ultra Flexible Anlage Das Konzept der rotierenden Zentralkathode Die vielfältigen Konfigurationsoptionen und die mit Rund kathoden erzielte Flexibilität sind ein Garant für die Entwicklung kundenspezifischer Beschichtungen auf höchstem Leistungs- niveau. Diese Anlage ist daher die ideale Wahl für Kunden, die keine technologischen Kompromisse eingehen möchten und Wert auf ein Maximum an Flexibilität sowie Performance legen. A LARC®-Kathode B LARC®-Kathode C LARC®-Kathode D CERC®/ SCIL®-Kathode E Karussell Die Pi411 PLUS ist mit ihrem modularen Aufbau und dem Mix an verfügbaren Technologien die flexibelste Beschichtungsanlage der Welt. Die Basis-Konfiguration als ARC-Anlage mit drei rotierenden Kathoden in der Tür lässt sich vor Ort modular mit einer ARC- oder SPUTTER-Zentral- kathode sowie mit PECVD-, und OXI-Prozessen aufrüsten. Einzigartig für die Anlage ist auch die Verfügbarkeit der LACS®-Hybridtechnologie, die das gleichzeitige Beschichten mittels ARC- und SPUTTER-Technologien ermöglicht. 16
Konfigurationen Eingesetzte Technologien: ECO: Basis-Konfiguration mit 3 x LARC®-Kathoden (LAteral Rotating Cathode) in der Tür zur ARC- Beschichtung DLC2 (PECVD): Für a-C:H:X- bzw. a-C:H:Si-Beschichtungen TURBO: ECO + CERC®-Kathode (Central Rotating Cathode) mit ARC-Technologie für erhöhte Produktivität sowie komplexeste Schichten OXI: Für oxidische Schichten in Korund-Struktur SCIL® (SPUTTERED Coating Induced by Lateral Glow Discharge): Hochleistungs-SPUTTERING aus der zentralen Kathode Hybrid-LACS®: simultane ARC- & SPUTTER-Prozesse mit LARC®-Kathoden in der Tür und zentraler SCIL®- Kathode 17
411 Kathodenkonfigurationen ECO TURBO SCIL® HYBRID 18
Von ECO zu HYBRID 19
411 Spezifikation Eingesetzte Ätzverfahren: • LGD® (Lateral Glow Discharge) • Plasma-Ätzen mit Argon, Glimmentladung • Metall-Ionenbeschuss (Ti, Cr) Beladung und Zykluszeiten: • Max. Beschichtungsvolumen: ø 540 x H 500 [mm] • Max. Beschichtungshöhe mit definierter Schichtdicke: 414 mm • Max. Beladung: 200 kg Bis zu 5 Chargen/Tag bei*: Schaftwerkzeuge (2 μm): ø 10 x 70 [mm] 504 Stück 4,5 h Wendeschneidplatten (3 μm): ø/ 20/14 x 6 [mm] 2940 Stück 5,5 h Abwälzfräser (4 μm): ø 80 x 180 [mm] 28 Stück 7h * Durchschnittliche Zykluszeiten für einen typischen Beschichtungsmix in einer laufenden Produktion. Modulare Karussellsysteme: • 1 bis 14 Achsen Software: • Einfache Bedienung und Wartung • PLATIT SmartSoftware (PC- und PLC-System) • Moderner menügeführter Touchscreen • Prozessvisualisierung in Echtzeit mit Datenaufzeichnung und -verwaltung • Manuelle und automatische Prozesskontrolle • Ferndiagnose und -wartung Maschinendimensionen: • Footprint: B 2950 x T 1900 x H 2400 [mm] 20
HiPIMS 3D Anlage PLATIT Coating Intelligence 21
711 HiPIMS 3D Anlage Übersicht A Planar SPUTTER-Kathode B Planar SPUTTER-Kathode C Karussell Die PL711 ist eine kompakte SPUTTER-Beschichtungsanlage auf Basis der HiPIMS-Technologie (High Power Impulse Magnetron SPUTTERING). Sie verfügt über zwei Planare HiPIMS-Kathoden und erlaubt die Abschei- dung von ausgewählten Nitrid- und Kohlenstoffschichten (WC/C, DLC2, DLC3) mittels hochproduktiver Prozesse. Eine gute Plasmaausnutzung wird dank eines zusätzlichen Boosters, des PLATIT-3D-Moduls, erzielt. 22
Erhöhter Plasmafokus Eingesetzte Technologien: • 2 x Planare SPUTTER-Kathoden mit HiPIMS-Technologie • Das PA3D-Modul mit zentraler Anode fokussiert ein dichtes, dreidimensio nales Plasma mit hoher Ionisation in das Karussell und erzeugt damit eine homogene Beschichtung und hohe Beschichtungsrate. Beschichtungen aus der PL711 liefern exzellent glatte Oberflächen bei gleichzeitig hoher Dichte, Härte und hervorragender Haftung. 23
711 Spezifikation Eingesetzte Ätzverfahren: • LGD® (Lateral Glow Discharge) • Plasma-Ätzen mit Argon, Glimmentladung • Metall-Ionenbeschuss (Ti, Cr) Abscheidungsarten: SPUTTER Nitrid-Beschichtungen • Reaktive und nicht-reaktive Prozesse • Targets: Ti, Zr, Cr • Prozesstemperaturen 400°C oder < 200°C in Niedrigtemperatur-Ausführung SPUTTER Cr und a-C:H:Si SPUTTER Cr und ta-C + a-C • DLC2 (PECVD) • DLC3 • Targets: Cr • Targets: C, Cr • Prozesstemperaturen < 200°C • Prozesstemperaturen < 200°C Beladung und Zykluszeiten: • Max. Beschichtungsvolumen: ø 600 x H 800 [mm] • Max. Beschichtungshöhe mit definierter Schichtdicke: 550 mm • Max. Beladung: 250 kg 2 Chargen/Tag bei*: Schaftwerkzeuge (2 μm): ø 10 x 70 [mm] CrN 540 Stück 7h Stempel und Matrizen (3 µm): 150 x 150 x 150 [mm] CrN 16 Stück 7,5 h Bewegliche Formteile (3 µm): 25 x 150 x 10 [mm] DLC2 96 Stück 6h * Durchschnittliche Zykluszeiten für einen typischen Beschichtungsmix in einer laufenden Produktion. Modulare Karussellsysteme: • 1 oder 3 oder 6 Achsen Software: • Einfache Bedienung und Wartung • PLATIT SmartSoftware (PC- und PLC-System) • Moderner menügeführter Touchscreen • Prozessvisualisierung in Echtzeit mit Datenaufzeichnung und -verwaltung • Manuelle und automatische Prozesskontrolle • Ferndiagnose und -wartung Maschinendimensionen: • Footprint: B 3550 x T 2800 x H 2350 [mm] 24
High Volume Anlage PLATIT Coating Intelligence 25
1011 High Volume Anlage Maximale Produktivität PL1011 ist die perfekte Lösung für Kunden, die Prozesssicherheit und ein hohes Qualitäts niveau ihrer Beschichtungen mit niedrigen A Planar Kathode Stückkosten pro Werkzeug verbinden möchten. B Planar Kathode C Planar Kathode D Planar Kathode E Karussell Die PL1011 ist das Kernstück jedes grossvolumigen Beschichtungs zentrums. Sie verfügt über vier Planare Kathoden mit ARC-Technologie und erlaubt produktive Abscheidung aller PLATIT-Standardschichten in reproduzierbar hoher Qualität. Die Anlage verbindet maximale Produk- tionsverfügbarkeit mit einem benutzerfreundlichen Anwendungs- und Wartungskonzept. 26
Übersicht Eingesetzte Technologie: • 4 x Planare Kathoden mit ARC- Technologie 27
1011 Spezifikation Eingesetzte Ätzverfahren: • LGD® (Lateral Glow Discharge) • Plasma-Ätzen mit Argon, Glimmentladung • Metall-Ionenbeschuss (Ti, Cr) Beladung und Zykluszeiten: • Max. Beschichtungsvolumen: ø 715 x H 805 [mm] • Max. Beschichtungshöhe mit definierter Schichtdicke: 711 mm • Max. Beladung: 400 kg 3 Chargen/Tag bei*: Schaftwerkzeuge (2 μm): ø 10 x 70 [mm] 1008 Stück 7h Wendeschneidplatten (3 μm): ø/ 20/14 x 6 [mm] 5760 Stück 7,5 h Abwälzfräser (4 μm): ø 80 x 180 [mm] 48 Stück 7,5 h * Durchschnittliche Zykluszeiten für einen typischen Beschichtungsmix in einer laufenden Produktion. Modulare Karussellsysteme: • 1 bis 12 Achsen Software: • Einfache Bedienung und Wartung • PLATIT SmartSoftware (PC- und PLC-System) • Moderner menügeführter Touchscreen • Prozessvisualisierung in Echtzeit mit Datenaufzeichnung und -verwaltung • Manuelle und automatische Prozesskontrolle • Ferndiagnose und -wartung Maschinendimensionen: • Footprint: B 4000 x T 2250 x H 2350 [mm] 28
Big Combo Anlage PLATIT Coating Intelligence 29
1511 Big Combo Anlage Planare und rotierende Kathoden A LARC® XL-Kathode B LARC® XL-Kathode C LARC® XL-Kathode D Planar Kathode E Planar Kathode F Karussell Die Pi1511 ist eine grossvolumige PVD-Beschichtungsanlage. Sie kombiniert drei rotierende PLATIT LARC® XL-Kathoden in der Tür mit zwei Planaren ARC-Kathoden im hinteren Bereich der Kammer. Die Vereinigung von Rundkathoden mit leistungsstarken Planaren Kathoden erlaubt das Abscheiden von PLATIT Signature Coatings in der gewohnten Flexibilität. Die LARC® XL-Kathoden haben eine sehr lange Laufzeit und garantieren somit hohe Produktivität mit tiefen Kosten pro Werkzeug. 30
Übersicht Eingesetzte Technologien: • 3 x LARC® XL-Kathoden (LAteral Rotating XL Cathode) in der Tür und 2 x Planaren Kathoden im hinteren Bereich zur ARC-Beschichtung • MAC-3C (Magnetic ARC C onfinement – Coil Current Compensation) für automatisierte Magnetfeldanpassung • Schnelle Kathodenwechsel • Abscheidung von PLATIT Signature Coatings 31
1511 Spezifikation Eingesetzte Ätzverfahren: • LGD® (Lateral Glow Discharge) • Plasma-Ätzen mit Argon, Glimmentladung • Metall-Ionenbeschuss (Ti, Cr) Beladung und Zykluszeiten: • Max. Beschichtungsvolumen: ø 715 x H 805 [mm] • Max. Beschichtungshöhe mit definierter Schichtdicke: 711 mm • Max. Beladung: 400 kg 3 Chargen/Tag bei*: Schaftwerkzeuge (2 μm): ø 10 x 70 [mm] 1080 Stück 7h Wendeschneidplatten (3 μm): ø/ 20/14 x 6 [mm] 8250 Stück 7,5 h Abwälzfräser (4 μm): ø 80 x 180 [mm] 48 Stück 7,5 h * Durchschnittliche Zykluszeiten für einen typischen Beschichtungsmix in einer laufenden Produktion. Modulare Karussellsysteme: • 1 bis 12 Achsen Software: • Einfache Bedienung und Wartung • PLATIT SmartSoftware (PC- und PLC-System) • Moderner menügeführter Touchscreen • Statistik und Hilfefunktion über Bedienoberfläche • Prozessvisualisierung in Echtzeit mit Datenaufzeichnung und -verwaltung • Manuelle und automatische Prozesskontrolle • Ferndiagnose und -wartung Maschinendimensionen: • Footprint: B 4900 x T 2200 x H 2450 [mm] 32
11-Series PLATIT Coating Intelligence Karusselle + Zubehör Beladung Schichten 33
Karusselle Übersicht 111 411 1-fach-Rotation für 1-fach-Rotation 4 asymmetrische Achsen Kickersystem D ≤ 500 mm für Sägeblätter, D3 ≤ 183 mm, D ≤ 355 mm D ≤ 460 mm für Stempel D1 ≤ 250 mm und Matrizen 4 Achsen für kontinuier- 3 Achsen für Sägeblätter 4 / 8 Achsen liche 3-fach-Rotation für mit Überlappung D4 ≤ 215 mm / Gearboxen D ≤ 285 mm D8 ≤ 115 mm D ≤ 143 mm 10 Achsen für kontinuier 3 / 6 Achsen 5 / 10 Achsen liche Doppel-Rotation D3 ≤ 220 mm / D5 ≤ 175 mm / D ≤ 77 mm D6 ≤ 150 mm D10 ≤ 94 mm 34
711 1011 / 1511 7 Achsen für Gearboxen 1-fach-Rotation 1-fach-Rotation 4 Achsen für Kickersystem D ≤ 143 mm D ≤ 600 mm D ≤ 700 mm D ≤ 270 mm 6 / 12 Achsen 3 Achsen für Kickersystem 2 Achsen für Sägeblätter 4 / 8 / 12 Achsen für D6 ≤ 145 mm / D ≤ 160 mm mit Überlappung Kickersystem D12 ≤ 100 mm D ≤ 450 mm D ≤ 170 mm 14 Achsen 6 Achsen für Kickersystem 3 Achsen für Sägeblätter 10 Achsen für Gearboxen D ≤ 85 mm D ≤ 143 mm D ≤ 420 mm D ≤ 143 mm mit Überlappung, D ≤ 250 mm ohne Überlappung 35
Halterungen Übersicht Modelle und Funktionsprinzip Schaftwerkzeughalterung • Hülsen und Revolver zur Aufnahme von Schaftwerkzeugen Disk mit Zahnrädern • Für Hülsen • Werkzeuge rotieren schrittweise, seitlich angetrieben von Kickern Gearbox für 3-fach-Rotation • Für Hülsen • Werkzeuge rotieren kontinuierlich, zentral angetrieben • Gearbox vereinfacht die Beladung der Chargen wesentlich, da keine Einstellung von Kickern erforderlich ist Quad-Gearbox für 4-fach-Rotation • Zur optimalen Ausnutzung des verfügbaren Ladevolumens • Geeignet für Schaftwerkzeuge ≤ 8 mm und sortenreine Beladungen • Werkzeuge rotieren schrittweise, seitlich angetrieben von Kickern Tiefziehringe-Halterung • Zur Aufnahme von Tiefziehringen • Werkzeuge rotieren kontinuierlich 36
Halterung für Abwälzfräser • Zur Aufnahme von Abwälzfräsern mit und ohne Schaft • Wälzfräser rotieren kontinuierlich Wendeschneidplattenhalterung • Zur Aufnahme von WSP auf Spiessen • WSP rotieren schrittweise, seitlich angetrieben von Kickern • Beladene Halterung für alle Prozessschritte des Turnkey-Systems einsetzbar Matrizen-Halterung • Zur Aufnahme von Stempeln und Matrizen, vertikal oder horizontal • Vertikale Halterung mit Nuten ermöglicht eine flexible Befestigung von Werkzeugen mit Schrauben Sägeblatt-Halterung • Zur Aufnahme und Trennung von Sägeblättern • Sägeblätter rotieren kontinuierlich Zubehör • Teststückhalter zur Aufnahme von Teststücken • Dummy als Platzhalter auf leeren Gearbox-Positionen • Dummykäfig als Platzhalter auf leeren Satelliten-Positionen 37
Beladungskapazitäten Übersicht Anlage Werkzeug-Typ Werkzeug Ø Werkzeug Satel- Disks/ Halterungen/ Werkzeuge/ Werkzeuge/ Werkzeuge/ Länge liten Satellit Disk Halterung Disk Charge Schaftwerkzeug 6 mm 50 mm 4 4 5 9 45 720 6 mm 50 mm 4 5 8 4 32 640 6 mm 50 mm 4 5 18 1 18 360 8 mm 60 mm 4 4 18 1 18 288 10 mm 70 mm 4 4 18 1 18 288 Pi111 20 mm 100 mm 4 3 12 1 12 144 Wendeschneidplatte 20 mm 6 mm 4 1 15 28 420 1680 Abwälzfräser 80 mm 120 mm 4 3 1 1 1 12 Abwälzfräser 80 mm 180 mm 4 2 1 1 1 8 Abwälzfräser 75 mm 180 mm 10 2 1 1 1 20 Anlage Werkzeug-Typ Werkzeug Ø Werkzeug Satel- Gearboxen/ Halterungen/ Werkzeuge/ Werkzeuge/ Werkzeuge/ Länge liten Satellit Gearbox Halterung Gearbox Charge Schaftwerkzeug 6 mm 50 mm 7 4 5 9 45 1260 6 mm 50 mm 7 5 8 4 32 1120 6 mm 50 mm 7 5 18 1 18 630 8 mm 60 mm 7 4 18 1 18 504 Pi411 10 mm 70 mm 7 4 18 1 18 504 20 mm 100 mm 7 3 12 1 12 252 Wendeschneidplatte 20 mm 6 mm 7 1 15 28 420 2940 Abwälzfräser 80 mm 120 mm 14 3 1 1 1 42 80 mm 180 mm 14 2 1 1 1 28 Anlage Werkzeug-Typ Werkzeug Ø Werkzeug Satel- Gearboxen/ Halterungen/ Werkzeuge/ Werkzeuge/ Werkzeuge/ Länge liten Satellit Gearbox Halterung Gearbox Charge Schaftwerkzeug 6 mm 50 mm 6 6 8 4 32 1152 6 mm 50 mm 6 6 18 1 18 648 8 mm 60 mm 6 6 18 1 18 648 10 mm 70 mm 6 5 18 1 18 540 PL711 20 mm 100 mm 6 4 12 1 12 288 Wendeschneidplatte 20 mm 6 mm 6 1 15 22 330 1980 Stempel und Matrizen 150 mm 150 mm 4 4 1 1 1 16 Bewegliche Formteile 25 x 10 mm 150 mm 4 6 4 1 1 96 mit DLC2 38
Anlage Werkzeug-Typ Werkzeug Ø Werkzeug Satel- Disks/ Halterungen/ Werkzeuge/ Werkzeuge/ Werkzeuge/ Länge liten Satellit Disk Halterung Disk Charge Schaftwerkzeug 6 mm 50 mm 4 8 23 4 92 2944 6 mm 50 mm 4 8 42 1 18 1344 8 mm 60 mm 4 7 42 1 42 1176 10 mm 70 mm 4 6 42 1 42 1008 PL1011 20 mm 100 mm 4 4 36 1 36 576 Wendeschneidplatte 20 mm 6 mm 4 2 36 20 720 5760 Abwälzfräser 80 mm 120 mm 12 6 1 1 1 72 80 mm 180 mm 12 4 1 1 1 48 Anlage Werkzeug-Typ Werkzeug Ø Werkzeug Satel- Gearboxen/ Halterungen/ Werkzeuge/ Werkzeuge/ Werkzeuge/ Länge liten Satellit Gearbox Halterung Gearbox Charge Schaftwerkzeug 6 mm 50 mm 10 7 5 9 45 3150 6 mm 50 mm 10 8 8 4 32 2560 6 mm 50 mm 10 8 18 1 18 1440 8 mm 60 mm 10 7 18 1 18 1260 Pi1511 10 mm 70 mm 10 6 18 1 18 1080 20 mm 100 mm 10 5 12 1 12 600 Wendeschneidplatte 20 mm 6 mm 10 1 15 55 825 8250 Abwälzfräser 80 mm 120 mm 12 6 1 1 1 72 80 mm 180 mm 12 4 1 1 1 48 Legende Werkzeug in Einzelhülse, Werkzeug im Revolver, Werkzeug in Einzelhülse, Antrieb durch Gearbox Antrieb durch Gearbox Antrieb durch Quad-Gearbox Werkzeug in Einzelhülse, Werkzeug im Revolver, Antrieb durch Kicker Antrieb durch Kicker Wendeschneidplatte mit Loch, Fräser auf Satelliten aufgespindelt auf Spiess 39
Schichtkompass Zerspanung Drehen Fräsen Verzahnen WERKSTÜCKMATERIAL Wende- Wende- Schaftwerk- Mikro- Abwälz- Wälz- Wälz- Zahnform- schneid- schneid- zeuge werk- fräser stossen, schälen fräser, platten platten zeuge Schneid- Stab- räder messer Trocken A nACo ALL4 ALL4 AlCrN ALL4 ALL4 ALL4 TiXCo4 Unlegierte Stähle B AlTiN BorAC BorAC –– BorAC BorAC AlCrN AlTiCrN 1 < 1000 N/mm 2 Nass A nACo AlTiCrN AlTiCrN AlCrN AlTiCrN AlTiCrN AlTiCrN TiXCo4 B AlTiN ALL4 ALL4 –– ALL4 ALL4 ALL4 AlTiCrN Trocken A nACo ALL4 ALL4 AlCrN ALL4 ALL4 ALL4 TiXCo4 Unlegierte Stähle B AlTiN BorAC BorAC –– BorAC BorAC AlCrN AlTiCrN 2 > 1000 N/mm2 Nass A nACo AlTiCrN AlTiCrN AlCrN AlTiCrN AlTiCrN AlTiCrN TiXCo4 B AlTiN ALL4 ALL4 –– ALL4 ALL4 ALL4 AlTiCrN Trocken A TiXCo4 TiXCo4 TiXCo4 TiXCo4 –– –– TiXCo4 –– Gehärtete Stähle B nACo nACo nACo nACo –– –– ALL4 –– 3 < 58 HRC Nass A TiXCo4 TiXCo4 TiXCo4 TiXCo4 –– –– TiXCo4 –– B nACo nACo nACo nACo –– –– ALL4 –– Trocken A TiXCo3 TiXCo3 TiXCo3 TiXCo3 –– –– TiXCo4 –– Gehärtete Stähle B BorAX BorAX BorAX nACo –– –– BorAX –– 4 > 58 HRC Nass A TiXCo3 TiXCo3 TiXCo3 TiXCo3 –– –– TiXCo4 –– B BorAX BorAX BorAX nACo –– –– BorAX –– Trocken A TiXCo3 TiXCo3 TiXCo3 TiXCo3 –– –– –– –– B AlTiN AlTiN AlTiN AlTiN –– –– –– –– 5 Edelstahl Nass A TiXCo3 TiXCo3 TiXCo3 TiXCo3 –– –– –– –– B AlTiN AlTiN AlTiN AlTiN –– –– –– –– Trocken A TiXCo3 TiXCo3 TiXCo3 TiXCo3 –– –– –– –– Edelstahl B AlTiN BorAX BorAX nACo –– –– –– –– 6 > 45 HRC Nass A TiXCo3 TiXCo3 TiXCo3 TiXCo3 –– –– –– –– B TiAlCN TiAlCN TiAlCN nACo –– –– –– –– Trocken A nACoX nACoX TiXCo4 TiXCo4 –– –– –– –– Superlegierungen B AlTiN ALL4 ALL4 –– –– –– –– –– 7 Ni-basiert Nass A nACoX nACoX TiXCo4 TiXCo4 –– –– –– –– B AlTiN ALL4 ALL4 –– –– –– –– –– Trocken A nACo TiXCo3 TiXCo3 TiXCo3 –– –– –– –– Superlegierungen B TiXCo3 nACo nACo –– –– –– –– –– 8 Ti-basiert Nass A nACo TiXCo3 TiXCo3 TiXCo3 –– –– –– –– B TiXCo3 nACo nACo –– –– –– –– –– A primäre Empfehlung B sekundäre Empfehlung 40
Sägen Bohren Tieflochbohren Reiben Räumen Gewinden Sägeblätter Bandsägen Bohren Mikrowerk- Bohrer, Formen zeuge Fräser, Schneider AlTiCrN nACo AlTiN AlTiN AlTiN nACo TiN TiN TiCN AlTiN TiAlCN TiXCo3 TiXCo3 TiXCo3 TiXCo3 TiCN TiCN CrTiN AlTiCrN nACo AlTiN AlTiN AlTiN nACo TiN TiN TiCN 1 AlTiN TiAlCN TiXCo3 TiXCo3 TiXCo3 TiXCo3 TiCN TiCN CrTiN AlTiCrN nACo AlTiN AlTiN AlTiN nACo AlTiN TiN TiCN AlTiN TiAlCN TiXCo3 TiXCo3 TiXCo3 TiXCo3 TiCN TiCN CrTiN AlTiCrN nACo AlTiN AlTiN AlTiN nACo AlTiN TiN TiCN 2 AlTiN TiAlCN TiXCo3 TiXCo3 TiXCo3 TiXCo3 TiCN TiCN CrTiN nACo nACo TiXCo3 TiXCo3 –– nACo –– –– –– AlTiN AlTiN nACo nACo –– TiXCo3 –– –– –– nACo nACo TiXCo3 TiXCo3 –– nACo –– –– –– 3 AlTiN AlTiN nACo nACo –– TiXCo3 –– –– –– –– –– TiXCo3 TiXCo3 –– –– –– –– –– –– –– –– –– –– –– –– –– –– –– –– –– –– –– –– –– –– –– 4 –– –– –– –– –– –– –– –– –– AlTiN nACo AlTiN AlTiN AlTiN nACo –– TiN TiCN TiAlCN TiAlCN TiXCo3 TiXCo3 TiXCo3 TiXCo3 –– TiCN CrTiN AlTiN nACo AlTiN AlTiN AlTiN nACo –– TiN TiCN 5 TiAlCN TiAlCN TiXCo3 TiXCo3 TiXCo3 TiXCo3 –– TiCN CrTiN –– –– AlTiN AlTiN AlTiN nACo –– TiN –– –– –– TiXCo3 TiXCo3 TiXCo3 TiXCo3 –– TiCN –– –– –– AlTiN AlTiN AlTiN nACo –– TiN –– 6 –– –– TiXCo3 TiXCo3 TiXCo3 TiXCo3 –– TiCN –– AlTiCrN AlTiCrN TiXCo4 –– –– –– –– TiCN –– AlTiN AlTiN nACoX –– –– –– –– TiAlCN –– AlTiCrN AlTiCrN TiXCo4 –– –– –– –– TiCN –– 7 AlTiN AlTiN nACoX –– –– –– –– TiAlCN –– AlTiCrN AlTiCrN TiXCo3 –– –– –– –– TiCN –– AlTiN AlTiN AlTiN –– –– –– –– TiAlCN –– 8 AlTiCrN AlTiCrN TiXCo3 –– –– –– –– TiCN –– AlTiN AlTiN AlTiN –– –– –– –– TiAlCN –– 41
Schichtkompass Fortsetzung Zerspanung Drehen Fräsen Verzahnen WERKSTÜCKMATERIAL Wende- Wende- Schaftwerk- Mikro- Abwälz- Wälz- Wälz- Zahnform- schneid- schneid- zeuge werk- fräser stossen, schälen fräser, platten platten zeuge Schneid- Stab- räder messer Trocken A nACo nACo nACo TiXCo3 –– –– –– –– B AlTiN AlTiN AlTiN –– –– –– –– –– 9 Gusseisen Nass A nACo nACo nACo TiXCo3 –– –– –– –– B AlTiN AlTiN AlTiN –– –– –– –– –– Trocken A nACRo nACRo nACRo nACRo –– –– –– –– Aluminium Si B TiB2 TiB2 TiB2 TiB2 –– –– –– –– 10 > 12% Nass A nACRo nACRo nACRo nACRo –– –– –– –– B TiB2 TiB2 TiB2 TiB2 –– –– –– –– Trocken A TiB2 TiB2 TiB2 TiB2 –– –– –– –– Aluminium Si B ZrN ZrN ZrN ZrN –– –– –– –– 11 < 12% Nass A TiB2 TiB2 TiB2 TiB2 –– –– –– –– B ZrN ZrN ZrN ZrN –– –– –– –– Trocken A CrN CrN CrN CrN –– –– –– –– B CROMVIc2 CROMVIc2 CROMVIc2 CROMVIc2 –– –– –– –– 12 Kupfer Nass A CrN CrN CrN CrN –– –– –– –– B CROMVIc2 CROMVIc2 CROMVIc2 CROMVIc2 –– –– –– –– Trocken A CrN CrN CrN CrN –– –– –– –– B CROMVIc2 CROMVIc2 CROMVIc2 CROMVIc2 –– –– –– –– 13 Bronze, Messing Nass A CrN CrN CrN CrN –– –– –– –– B CROMVIc2 CROMVIc2 CROMVIc2 CROMVIc2 –– –– –– –– 14 Kunststoffe Trocken A –– B –– –– –– –– –– –– –– –– –– –– –– –– –– –– –– Trocken A CROMVIc3 CROMVIc3 CROMVIc3 CROMVIc3 –– –– –– –– B TiXCo4 TiXCo4 TiXCo4 TiXCo4 –– –– –– –– 15 Graphit Nass A TiXCo4 TiXCo4 TiXCo4 TiXCo4 –– –– –– –– B CROMVIc3 CROMVIc3 CROMVIc3 CROMVIc3 –– –– –– –– Trocken A –– –– CROMVIc3 CROMVIc3 –– –– –– –– B –– –– TiXCo4 TiXCo4 –– –– –– –– 16 Verbundwerk- stoffe CFK Nass A –– –– CROMVIc3 CROMVIc3 –– –– –– –– B –– –– TiXCo4 TiXCo4 –– –– –– –– Trocken A –– CROMTiVIc2 CROMTiVIc2 –– –– –– –– –– B –– CrN CrN –– –– –– –– –– 17 Holz Nass A –– CROMTiVIc2 CROMTiVIc2 –– –– –– –– –– B –– CrN CrN –– –– –– –– –– A primäre Empfehlung B sekundäre Empfehlung 42
Sägen Bohren Tieflochbohren Reiben Räumen Gewinden Sägeblätter Bandsägen Bohren Mikrowerk- Bohrer, Formen zeuge Fräser, Schneider –– –– TiXCo3 –– –– TiXCo3 –– TiCN –– –– –– nACo –– –– nACo –– TiAlCN –– –– –– TiXCo3 –– TiN TiXCo3 –– TiCN –– 9 –– –– nACo –– TiCN nACo –– TiAlCN –– nACRo nACRo nACRo nACRo –– –– –– TiCN –– ALL4 ALL4 TiB2 TiB2 –– –– –– TiAlCN –– nACRo nACRo nACRo nACRo –– –– –– TiCN –– 10 ALL4 ALL4 TiB2 TiB2 –– –– –– TiAlCN –– CROMVIc3 ZrN TiB2 TiB2 –– –– –– TiCN TiN ZrN –– ZrN ZrN –– –– –– TiB2 ZrN CROMVIc3 ZrN TiB2 TiB2 –– –– –– TiCN TiN 11 ZrN –– ZrN ZrN –– –– –– TiB2 ZrN CrN CrN TiAlCN –– –– TiXCo3 –– TiCN TiN –– –– CrN –– –– nACo –– TiAlCN ZrN CrN CrN TiAlCN –– –– TiXCo3 –– TiCN TiN 12 –– –– CrN –– –– nACo –– TiAlCN ZrN CrN CrN TiAlCN –– –– TiXCo3 –– TiCN TiN –– –– CrN –– –– nACo –– TiAlCN ZrN CrN CrN TiAlCN –– –– TiXCo3 –– TiCN TiN 13 –– –– CrN –– –– nACo –– TiAlCN ZrN –– –– TiXCo3 –– –– –– –– –– –– –– –– CROMVIc2 –– –– –– –– –– –– 14 –– –– CROMVIc3 CROMVIc3 –– –– –– –– –– –– –– BorAX BorAX –– –– –– –– –– –– –– BorAX BorAX –– –– –– –– –– 15 –– –– CROMVIc3 CROMVIc3 –– –– –– –– –– CROMVIc3 –– CROMVIc3 CROMVIc3 –– –– –– –– –– –– –– TiXCo3 TiXCo3 –– –– –– –– –– CROMVIc3 –– TiXCo3 TiXCo3 –– –– –– –– –– 16 –– –– CROMVIc3 CROMVIc3 –– –– –– –– –– CROMTiVIc2 –– CROMTiVIc2 –– –– –– –– –– –– CrN –– TiXCo3 –– –– –– –– –– –– 17 CROMTiVIc2 –– –– –– –– –– –– –– –– CrN –– –– –– –– –– –– –– –– 43
Schichtkompass Spanlose Formgebung, Umformen Feinschneiden Stanzen Spritzgiessen Prägen Tiefziehen Extrudieren WERKZEUGMATERIAL Kunst- Aluminium Kunstoff stoff oder Aluminium A AlCrN AlCrN –– –– –– CrN ALL4 ALL4 HSS B –– ALL4 –– –– –– –– AlCrN AlCrN A AlCrN AlCrN –– –– –– –– –– –– HM B –– ALL4 –– –– –– –– –– –– Unlegierte Stähle A –– –– CrN AlTiCrN –– –– –– –– < 1000 N/mm2 B –– –– TiN nACRo –– –– –– –– Unlegierte Stähle A –– –– CrN AlTiCrN –– –– –– –– > 1000 N/mm2 B –– –– TiN nACRo –– –– –– –– Gehärtete Stähle A AlCrN AlCrN CrN AlTiCrN CROMVIc2 CrN ALL4 ALL4 < 58 HRC B –– ALL4 TiN nACRo –– –– AlCrN AlCrN Gehärtete Stähle A AlCrN AlCrN CrN AlTiCrN CROMVIc2 CrN ALL4 ALL4 > 58 HRC B –– ALL4 TiN nACRo –– –– AlCrN AlCrN Aluminium Si A –– –– CrN –– –– CrN –– –– > 12% B –– –– TiN –– –– TiN –– –– Aluminium Si A –– –– –– –– –– CrN –– –– < 12% B –– –– –– –– –– TiN –– –– A –– –– –– –– –– CrN –– –– Kupfer B –– –– –– –– –– TiN –– –– Bronze, Messing A –– –– –– –– –– CrN –– –– A primäre Empfehlung B sekundäre Empfehlung 44
Bauteile Maschinenteile1 Medizinische Komponenten Tribologie Dekorative Anwendungen WERKSTÜCKMATERIAL Implantate Chirurgische Antibak- und zahn- terielle ärztliche medizinische Instrumente Komponenten Unlegierte Stähle A –– –– –– –– CROMVIc2 –– < 1000 N/mm2 Unlegierte Stähle A –– –– –– –– CROMVIc2 –– > 1000 N/mm2 Gehärtete Stähle A CrTiN –– –– –– CROMVIc2 –– < 58 HRC Gehärtete Stähle A CrTiN –– –– –– CROMVIc2 –– > 58 HRC A –– –– CROMVIc2 ZrN CROMVIc2 Custom Edelstahl B –– –– –– Cr2N –– –– Edelstahl > 45 HRC A –– –– –– –– CROMVIc2 Custom Superlegierungen A –– –– –– –– CROMVIc2 –– Ni-basiert Superlegierungen A –– Ti2N –– –– CROMVIc2 –– Ti-basiert B –– ZrN –– –– –– –– Gusseisen A CrN –– –– –– –– –– Aluminium Si < 12% A CrN –– –– –– –– –– A –– –– –– ZrN –– Custom Kupfer B –– –– –– Cr2N –– –– A –– –– –– ZrN –– Custom Bronze, Messing B –– –– –– Cr2N –– –– A –– –– –– ZrN –– Cr2N Kunststoffe B –– –– –– Cr2N –– Custom A primäre Empfehlung B sekundäre Empfehlung 1 in abrasiver und korossiver Umgebung wie Wasserpumpen, Werkzeughalterungen 45
Schichteigenschaften Übersicht Farbe Nanohärte [GPa] Schichtdicke [µm] Reibungskoeffizient Max. Anwendungs- von Fisher [μ] von PoD temperatur [°C] Nanoindentor 1 TiN Gold 24 – 26 1 – 10 1 600 2 TiCN Grau 36 – 38 1–3 0,3 450 3 TiAlN Violett-grau 36 – 38 1–5 0,6 700 4 TiAlCN Rot-violett 34 – 36 1–5 0,8 450 5 AlTiN Blau-grau 36 – 38 1–5 0,6 900 6 CrN Silber 21 – 23 1 – 10 0,9 700 7 CrTiN Satinsilber 28 – 30 1 – 10 0,9 700 8 ZrN Weissgold 21 – 23 1–5 0,9 550 9 AlCrN Grau 36 – 38 1–5 0,9 900 10 AlTiCrN Grau 36 – 38 1–5 0,9 900 11 ALL4 Grau 36 – 38 1–5 0,9 900 12 nACo Blau-violett 39 – 41 1–4 0,6 1100 13 nACRo Grau 39 – 41 1–4 0,9 1100 14 TiXCo3 Kupfer 42 – 44 1–4 0,8 1100 15 TiXCo4 Grau 42 – 44 1–4 0,8 1100 16 BorAC Grau 38 – 40 1–5 0,9 900 17 BorAX Kupfer 42 – 44 1–4 0,8 1100 18 TiB2 Satinsilber 32 – 38 1–5 0,4 600 19 WC/C Dunkelgrau 16 – 20 1–3 0,1 – 0,2 300 20 cVIc Anthrazit 22 – 36 1–3 0,1 – 0,2 450 21 nACVIc Anthrazit 22 – 38 1–3 0,1 – 0,2 450 22 TiVIc2 Anthrazit 22 – 26 1–3 0,1 – 0,2 450 23 CROMVIc2 Anthrazit 22 – 26 1–3 0,1 – 0,2 450 24 CROMTIVIc2 Anthrazit 22 – 26 1–3 0,1 – 0,2 450 25 CROMVIc3 Anthrazit 30 – 35 0,5 – 1,5 0,1 – 0,2 450 26 nACoX Dunkelgrau 30 – 32 4 – 10 0,9 1200 Die hier angegebenen physikalischen Richtwerte können bei den verschiedenen Schichtstrukturen (Mono-, Gradient-, Multi- und Nanoschichten) variieren. 46
11-Series PLATIT Coating Intelligence Kathodenkonfigurationen 47
Kathodenkonfigurationen Standard Konfigurationen und Ausbaustufen 111 411 Standard Konfiguration 2 x LARC® PLUS 3 x LARC®, erweiterbar 1 TiN (-, Ti) (Ti, -, -) (LGD, -, -, Ti SCIL) 2 TiCN (Ti, -, -) 3 TiAlN (Al, Ti) (Al, AlTi33, Ti) (Ti, Al, -) (Ti, Al, -, AlTi33) 4 TiAlCN (Ti, Al, -) (Ti, Al, Ti, AlTi33) 5 AlTiN (Al, Ti) (Al, AlTi33, Ti) (Ti, Al, -) (Ti, Al, -, AlTi33) 6 CrN (-, Cr) (Cr, -, -) 7 CrTiN (Cr, Ti) (Ti, -, Cr) 8 ZrN (Zr, Ti) (Ti, -, Zr) 9 AlCrN (Al, Cr) (Al, AlCr30, Cr) (-, Al, Cr) (-, Al, Cr, AlCr30) (-, -, Cr, AlCr30 SCIL) 10 AlTiCrN (AlCr30, Ti) (Ti, Al, Cr) 11 ALL4 (Al, CrTi15) (CrTi15, Al, Cr) (Ti, Al, Cr, AlCr30) 12 nACo (AlSi12, Ti) (Ti, AlSi18, -) (Ti, AlSi18, -, AlTi33) 13 nACRo (AlSi12, Cr) (-, AlSi18, Cr) (-, AlSi18, Cr, AlTi33) 14 TiXCo3 (Al, TiSi20) (Ti, Al, TiSi20) 15 TiXCo4 (Ti, Al, TiSi20, AlCr30) 16 BorAC (Al, AlCrB20-10, Cr) (Ti, Al, Cr, TiB2 SCIL) 17 BorAX (TiSi20, Al, Cr, TiB2 SCIL) 18 TiB2 (LGD, -, -, TiB2 SCIL) 19 WC/C (-, -, Cr, W SCIL) 20 cVIc: TiCN + CBC (Ti, -, -) 21 nACVIc: nACRo + CBC (-, AlSi18, Cr) 22 TiVIc2: TIN + DLC2 (LGD, -, -, Ti SCIL) 23 CROMVIc2: CrN + DLC2 (-, -, Cr) 24 CROMTIVIc2: CrTiN + DLC2 (Ti, -, Cr) 25 CROMVIc3: Cr + DLC3 (LGD, -, Cr, C SCIL) 26 nACoX (Ti, AlSi18, AlCr45) Legende Standard Konfiguration Verfügbar mit TURBO - Konfiguration Verfügbar mit LACS® - Konfiguration Verfügbar mit DLC2 (PECVD) - Konfiguration Verfügbar mit SCIL® - Konfiguration Verfügbar mit OXI - Konfiguration 48
711 1011 1511 2 x Planar HiPIMS & PECVD Modus 4 x Planar ARC 3 x LARC® XL & 2 x Planar ARC (Cr, Ti) (Ti, -, Ti, -) (Ti, Al, TiSi20, Ti, AlTi33) 1 (Ti, -, Ti, -) 2 (Ti, TiAl50, Ti, TiAl50) 3 (Ti, TiAl50, Ti, TiAl50) 4 (Ti, AlTi33, Ti, AlTi33) (Ti, Al, -, Ti, AlTi33) 5 (Cr, Cr) (-, Cr, -, Cr) 6 (Ti, Cr, Ti, Cr) 7 (Cr, Zr) (Ti, Zr, Ti, Zr) 8 (Cr, AlCr35, -, AlCr35) (Ti, Al, Cr, AlCr36, AlCr36) 9 (Cr, AlTi33, AlTi33, AlCr36) 10 (Cr, AlTi33, Cr, AlTi33) 11 (Ti, AlTi33, AlTiSi30-10, AlTi33) (Ti, Al, TiSi20, AlTi33, AlTi33) 12 (Cr, AlCrSi30-10, Cr, AlCr36) (-, AlSi18, Cr, AlCr36, AlCr36) 13 (Ti, AlTi33, TiSi20, AlTi33) (Ti, Al, TiSi20, AlTi33, AlTi33) 14 15 (Ti, Al, Cr, AlCrB20-10, AlCrB20-10) 16 17 18 (Cr, WC) 19 (Ti, -, Ti, -) 20 21 22 (Cr, Cr) 23 24 (Cr, C) 25 26 49
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