BESCHICHTUNGSSYSTEME FÜR DIE PRÄZISIONSOPTIK - VON F&E BIS MASSENPRODUKTION
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BESCHICHTUNGSSYSTEME FÜR DIE PRÄZISIONSOPTIK
BESCHICHTUNGSSYSTEME FÜR DIE PRÄZISIONSOPTIK
VON F&E BIS MASSENPRODUKTION
TECHNISCHE DETAILS - BEISPIELE*
Unsere Geschichte & Erfahrung Schichtsysteme Subject to change without notice due to technical improvement.
60 Jahre Erfahrung mit Elektronenstrahlverfahren und 45 Jahre
Kompetenz in der Magnetrontechnologie, sowohl für die industrielle
Eine wesentliche Voraussetzung für die Funktionsweise sind hoch- FUNKTIONEN DER SCHICHTSYSTEME
genaue Beschichtungen, die optische Interferenzeigenschaften 10
Reflexion in %
Produktion als auch für Forschung und Entwicklung, machen ausnutzen und so den Präzisionsoptiken ihre gewünschten Funktionen ĵ Anti-Reflex
VON ARDENNE zu einem der führenden Anbieter von Anlagen verleihen. Die VON ARDENNE-Gruppe verfügt aufgrund ihrer Erfahrung 8
und Technologien in der PVD-Dünnschichttechnik und der ĵ Anti-Scratch unbeschichtet
in der Entwicklung und Fertigung von Vakuumbeschichtungsanlagen
Vakuumprozesstechnik. Dank dieser Expertise haben wir bereits ĵ Bandpassfilter mit sehr geringem Winkelshift und breitem 6
über ein profundes Verständnis der physikalischen Prozesse von
mehr als 500 Vakuum-Beschichtungssysteme an Kunden in der
Vakuumbeschichtungen und ein breites Know-how für deren Einsatz in Stoppband
ganzen Welt geliefert. Wir sind in der Lage, Ihre Anforderungen 4
an Produkteigenschaften in effiziente und wettbewerbsfähige unterschiedlichsten Anwendungen. ĵ Entkopplung von Spektren/ spatiale Reflektoren/ Dichroide
doppelseitig entspiegelt
Beschichtungslösungen zu überführen. Sie basieren auf verschiedenen 2
ĵ Filter für LIDAR-Anwendungen
Konfigurationen unserer modularen Batch-, Cluster-, Inline- oder Dieses Wissen fließt ein in die Entwicklung zahlreicher
Drumcoater-Systemplattformen. Anlagenplattformen, die sich je nach Anwendungsgebiet in den ĵ Filter für Gesichtserkennung 0
430 480 530 580 630 680
eingesetzten Technologien sowie in Produktivität und Flexibilität ĵ Hochreflexionsspiegel
Wellenlänge in nm
Die Präzisionsoptik erfährt in den letzten Jahren eine stark wachsende unterscheiden. Damit decken VON ARDENNE-Lösungen das komplette 18-Schicht-Entspiegelung
ĵ Kaltlichtspiegel
Nachfrage. Als treibende Kräfte werden Megatrends wie autonomes Spektrum an Anforderungen ab, die sich von der Forschung und
ĵ Kantenfilter mit sehr steiler Kante
Fahren, Internet of Things, Virtual Reality oder auch neue Lösungen für Entwicklung über die Pilot- bis hin zur Massenproduktion stellen.
die Kommunikations-, Medizin- oder Messtechnik das Marktwachstum ĵ Polarisationsfilter
zusätzlich steigern. ĵ Präzise Bandbassfilter im UV-VIS-IR-Bereich
ĵ Rugatefilter
ĵ Spezielle Spiegel (z.B. EUV, Röntgen)
ANWENDUNGEN ĵ Strahlteiler
ĵ Anti-Fingerprint (Easy to Clean)
SENSOREN ĵ Kerbfilter
Optische Sensoren werden in wachsender Zahl produziert. Sie unterscheiden sich zum Teil stark je nach ihrem
Einsatzgebiet. Momentan boomt zum Beispiel die Anwendung der LIDAR Sensorik für autonomes Fahren. MATERIALIEN REM-Aufnahme eines Bandpass-Filters auf der Basis Al2O3/SiO2
(81 Schichten)
Je nach Produktanforderung kommen einfache SiO2/Si3N4 Systeme
DISPLAYS bis hin zu hoch komplexen Materialkombinationen verschiedenster
Die optischen Eigenschaften von Displays können gezielt beeinflusst werden. Diese Eigenschaften können
Metalle und Oxynitride in Viellagenschichtsystemen zum Einsatz.
je nach Anwendungen gegensätzlich sein, wie die gezielt erzeugte Reflexion in Head-Up-Displays oder Anti-
Reflexionsbeschichtungen in der Instrumentenanzeige.
Typische Schichtmaterialien/ Beschichtungsprozesse
AUTOMOTIVE INFOTAINMENT ĵ Hochbrechend:
Si3N4, Nb2O5, TiO2, ZrO2, HfO2, Ta2O5, Cr2O5, amorphes Si
Das Infotainment in heutigen Autos geht weit über das klassische Autoradio hinaus und wird zunehmend zum
ĵ Niedrigbrechend:
tragenden Design-Merkmal für die jeweiligen Marken mit ständig neuen Funktionen.
SiO2, Al2O3
ĵ Mischschichten mit variablem Brechungsindex:
KAMERASYSTEME SiOxNy, TiOxNy, AlOxNy, HfZrxOy
REM-Aufnahme eines Rugate-Filters auf der Basis SiO2/HfO2 mit
Die Zahl der produzierten Kamerasysteme ist extrem gestiegen. Auch wenn sie z.B. in Smartphones kaum noch zu ĵ Metallische Schichten: sinusförmiger Brechzahlmodulation und über die Probe variierendem
sehen sind, steckt in Ihnen eine Menge feinster optischer Dünnschichttechnik. Cr, Al, Si, Ag, Au Brechzahlhub (apodisiertes Design)
ĵ Transparente leitende Schichten:
MIKROSKOPE/ FERNGLÄSER ITO, AZO
Obwohl man sie fast schon ein “altes” Produkt nennen kann, sind die Beschichtungen in Mikroskop- und
Fernglasoptiken sowie Ferngläsern entscheidend für ihre Leistungsstärke, insbesondere, wenn es um spezielle DIE QUALITÄT UNSERER SCHICHTSYSTEME
Technologiekombinationen geht, zum Beispiel in der Lumineszenz-Mikroskopie.
Unsere Schichtsysteme stehen in ihrer Gesamtheit für ein
104
Ta2O5 Schichtdicke in %
hochpräzises Produkt. So werden höchste Anforderungen an
TELESKOPE
+/- 0,5%
die Eigenschaften jeder einzeln abgeschiedenen Schicht gestellt,
wie z.B. Uniformität, Farbechtheit, Defektarmut, Rauigkeit und 102
Je weiter Objekte entfernt sind, desto höher die Anforderungen an die Optik und die eingesetzte
Dünnschichttechnik. Insbesondere gilt dies für Groß- und Weltraumteleskope. Reproduzierbarkeit.
100
Alle eingesetzten Prozesskomponenten müssen den hohen
LASEROPTIK VON ARDENNE-Qualitätsstandards genügen. So wird gewährleistet,
98
dass die Prozessstabilität auch über lange Kampagnenzeiten hinweg
Laseranwendungen sind mittlerweile nicht mehr aus der Industrie wegzudenken – zum Beispiel in
erhalten bleibt. Außerdem wird Kontamination verhindert und es
Bearbeitungsmaschinen. Eine Voraussetzung für ihren Einsatz ist eine langlebige, möglichst zerstörungsfreie Optik. 96
erfolgt eine Driftkompensation sich über die Lebenszeit ändernder
Werte.
FORSCHUNG & ENTWICKLUNG Schon in der Konstruktionsphase werden die finalen optischen
2 4 6 8
Radius in cm
Die wachsende Zahl von Anwendungen erfordert umfangreiche Forschung und Entwicklung auch für die Anlagen- Funktionen abgestimmt und mit dem Prozessfenster optimiert. In der Beispiel für die Stabilität eines Beschichtungsprozesses mit Ta2O5
technik und Schichttechnologien, die neue Anforderungen erfüllen müssen. Beispiele dafür sind laterale und Qualitätskontrolle werden die charakteristischen Werte mit In-situ-
vertikale Gradientschicht-Technologien und die Beschichtung von Freiformoberflächen mit örtlich genau definierter Messungen überprüft. Das erlaubt eine integrierte Feinkorrektur der
Schichtdickenverteilung. Durch diesen Bedarf ist ein dynamisch wachsender Wissenschaftszweig entstanden. Beschichtung mit dem Ziel des optimalen Produktes. *In Zusammenarbeit mit
Schlüsselkomponenten Anlagenportfolio für optische Anwendungen
Der Erfolg unserer Systeme basiert auf einem hochflexiblen und breiten Installation modernster Sputter-Komponenten, können wir ein komplettes VON ARDENNE bietet mehrere Anlagenplattformen für die Sputterbe- Die Inline-Systeme HISS, VISS und GC120VCR sind Produktionsan-
Konfigurationsumfang, unserem technologischen Fachwissen und Portfolio an Magnetrons für Wechselstrom- und Gleichstromprozesse, schichtung optischer Substrate an. Die Plattformen haben gemeinsam, lagen für die Massenfertigung mit einer begrenzten Schichtanzahl. Sie
unseren gesammelten Erfahrungen sowie selbst entwickelten und in planarer oder rotierender Ausführung und sogar mit integrierten dass sie modular aufgebaut sind und in ihrer Funktionalität sowie der unterscheiden sich in der Substratausrichtung und der Produktivität. Es
gefertigten Schlüsselkomponenten. Abhängig von der erforderlichen Turbopumpen bieten. Produktivität an den konkreten Einsatz angepasst werden. Sie werden gibt sie in unterschiedlichen Konfigurationen von Single End bis Inline mit
Anlagenkonfiguration kann ein VON ARDENNE-System eine oder mehrere entsprechend der Bestellung des Kunden konfiguriert. Spezielle Lösungen integriertem Carrier Return System und automatischer Carrier-Be- und
der aufgeführten Komponenten enthalten. Die Systeme können nach ihrer neben den verfügbaren Standardmodulen sind ebenfalls möglich. Entstückung. Das bietet deutliche Vorteile im Hinblick auf die Betriebskos-
Installation auch mit diesen Komponenten auf- und nachgerüstet werden. ten (Cost of Ownership).
Die Plattformen unterscheiden sich durch ihre konkreten Eigenschaften,
Hauptsächlich kommt eine Technologie in VON ARDENNE Beschichtungs- da sie unterschiedliche Applikationen bedienen. Der große Vorteil der unterschiedlichen Plattformen und der Ausbau-
anlagen zum Einsatz: das Magnetron-Sputtern. Wir entwickeln die stufen der jeweiligen Systeme ist die Skalierbarkeit. Damit sind sie für
notwendigen Komponenten selbst, zum Beispiel die Magnetron- Für höchste Ansprüche steht die OPTA X zur Verfügung. Sie bietet die Einsatzgebiete geeignet, die von der Entwicklung über die Kleinserienpro-
Sputterquellen, und haben 45 Jahre Erfahrung mit dieser Technologie. Möglichkeit, unterschiedlichste Technologien einzusetzen und erzeugt duktion bis hin zur Massenproduktion reichen. Der Einsatz von bewähr-
hervorragende Schichteigenschaften und Schichtstapelstabilität, insbe- ten VON ARDENNE-Schlüsselkomponenten erleichtert die Skalierung
VON ARDENNE-Magnetrons sind für eine Vielzahl von Anwendungen sondere für Wechselschichtsysteme in hoher Anzahl. inklusive der Übertragung von Prozessen.
verfügbar. Dank der langjährigen Erfahrung aus der Entwicklung und
Die TOMA X ist ein Trommelcoater, der als ein Arbeitspferd ebenfalls für
Multiwechselschichtsysteme höherer Anzahl seinen Einsatz findet.
1974 – Erste Ringspaltentladung im Forschungsinstitut von Ardenne
Anlage OPTA X HISS VISS GC120VCR
VON ARDENNE Magnetron-Sputterquellen
Präzision +++ ++ ++ ++
Substratausrichtung horizontal horizontal vertikal -7° vertikal -7°
Max. Substratgröße 280 mm x 320 mm 600 mm x 1100 mm 600 mm x 2400 mm 1200 mm x 1550 mm
Produktivität ++ +++ +++ Massenproduktion
Rundmagnetron Rechteckiges Magnetron Rohrmagnetron
VON ARDENNE Vorbehandlungskomponenten
OPTA X GC120VCR
Inverser Sputterätzer Glimmeinrichtung LION Ionenquelle
VON ARDENNE Simulationssoftware und Prozesssteuerung
Simulation VA PROCOS 2 Prozesssteuerungssystem WICON Steuersoftware HISS VISS
OPTA X DREHTELLER-BESCHICHTUNGSANLAGE
für anspruchvollste Schichtsysteme Konfigurationsbeispiele
OPTA X für Katalogoptik
Schichtstabel (H/L) TaOx
ĵ Ta2O5/SiO2 (CARS*/Meta Mode)
Process-up Konfiguration
Monitoring
ĵ 2 Targetmaterialien
ĵ 2 Doppelrohrkathoden
ĵ 1 Ionenquelle
Si
Process-down Konfiguration
ĵ Auf Anfrage Ion
Quelle
O2
Merkmale
ĵ In-situ einstellbare Magnetbars (rotierende Targets)
Die OPTA X ist unser System für die anspruchsvollsten Schichtsysteme,
insbesondere für Multilagenwechselschichtoptiken mit hoher Anzahl.
Die Beschichtung erfolgt horizontal und es stehen verschiedene
Prozesse für eine optimale Beschichtung zur Verfügung: Meta Mode,
CARS* oder reaktives und nicht reaktives Sputtern.
Auf fünf Ports können Magnetrons und/ oder Plasmaquellen integriert
werden. In-situ-Messtechnik zur Verfolgung und Korrektur des
Beschichtungsfortschritts steht ebenfalls zur Verfügung.
OPTA X für Laseroptik
NbOx
Die Anlage besitzt ein automatisches Handlingsystem. Es ist
modular aufgebaut und ermöglicht eine sichere Bestückung der Schichtstapel (H/L)
OPTA X mit unterschiedlichen Substraten, die in anpassbaren Carriern ĵ Nb2O5/SiO2 (CARS*/Meta Mode)
durch die Anlage geschleust werden.
ĵ HfO2/SiO2 (RF/Meta Mode) Monitoring HfO2
Je nach Prozess- und Produktivitätsanforderungen können verschiedene
Modultypen, z.B. mehrere Magazinschleusen oder Vor- und
Nachbehandlungskammern, kombiniert werden.
Process-up Konfiguration
TECHNISCHE DATEN TRANSPORT
ĵ 3 Targetmaterialien
Si
ĵ 2 Doppelrohrkathoden
Können sich jederzeit ohne Vorankündigung durch techn. Verbesserungen ändern Transportart Roboter, Carrier
ĵ 1 Doppelplanarkathode
SYSTEMSTEUERUNG & SOFTWARE
SUBSTRAT ĵ 1 Ionenquelle
Hardware Industrie-PC / SPS Modul Ionenquelle
Material Glas, Polymere, Metall Benutzeroberfläche Windows 10 / VON ARDENNE-
Größe (L × B) 280 mm × 320 mm O2
Steuerungssoftware / Siemens SPS
Durchmesser bis zu 200/300 mm MES-Link SECS / GEM Process-down Konfiguration
Dicke 70 mm
ĵ Auf Anfrage
ABMESSUNGEN ANLAGE
ABSCHEIDUNGSSYSTEM
Gesamtgröße (L × B × H) mind. 5 m x 5 m x 3 m
Abscheidungsart DC, pulsed DC, AC, CARS*,
Gesamtgewicht abhängig von Konfiguration
Meta Mode, reaktives Sputtern, RF Merkmale
Magnetron-Typ Planar, Rotatable OPTIONAL
Plasmaquelle induktiv gekoppelt Optische In-situ-Messung, VA PROCOS Prozesssteuerung, Plasma- ĵ Substrat-Subrotation auf dem Carrier möglich
Substrat, Temperaturbereich RT / 300 °C behandlung Substrat, Substratheizung, Kombinationen mit anderen ĵ In-situ einstellbare Magnetbars (rotierende Targets)
Substrat, Potential variabel Prozesskammern, weitere Magazinschleusen, weitere Funktionen auf ĵ Austauschbare Verteilungsblende
Anzahl unabhängiger Prozessgase 4 (z.B. Ar, Ar/O2, N2, O2, H2) Anfrage
*Fraunhofer IST *Fraunhofer IST
HISS Horizontale Beschichtungsanlage VISS Vertikale Beschichtungsanlage
Flexibel skalierbares Inline-System für mittlere Produktivität inline-system mit hoher lexibilität
Die HISS ist eine modulare Beschichtungsanlage mit einem Carrier- Das System bietet eine hohe Prozessflexibilität, da die
basierten Substrattransport. Sie ist die beste Wahl, wenn Sie nach einer Prozesskammer sowohl mit Magnetrons mit planaren als auch mit Das vertikale Inline-Sputter System VISS ist eine angemessene
sehr flexiblen Produktionsanlage mit kleinem oder mittlerem Durchsatz rotierenden Targets bestückt werden kann. Komponenten zur Ionen- modulare Anlage für vertikale Abscheidungsprozesse, wenn man von
suchen, die mit bewährter Technologie ausgestattet ist. Vorbehandlung sowie zum Heizen und Kühlen sind auf Anfrage der Laboranwendung zur Produktion übergehen will. Die Anlage ist
Dank ihres modularen Aufbaus kann die HISS nach Ihren Bedürfnissen verfügbar. Alle angrenzenden Kammern, wie Be- und Entladekammer, entweder als Inline-Version mit einem Ende oder als Durchlaufversion
konfiguriert werden. Wir bieten verschiedene Konfigurationen an, Puffer- und Transportkammer können in ähnlicher Weise aufgerüstet für kontinuierliche Prozesse erhältlich. Sie ist gut dafür geeignet, auf
wie zum Beispiel die Version mit nur einem Ende für einen kleineren werden. Substratgrößen von bis zu 600 mm x 2400 mm zu skalieren.
Produktionsumfang.
Die flexible und dynamische Konstruktion der Anlage mit Die Substrate werden mit einem Carrier-System transportiert, das vertikal
standardisierten Unterkomponenten ermöglicht eine kundenspezifische um sieben Grad geneigt ist. Die Anlage kann be- und entladen werden,
Konfiguration. Die Anlage kann also an neue Prozesse oder ohne dass die Vorderseite der Substrate dabei berührt wird.
Anforderungen angepasst werden. Daher können unsere Kunden mit
dieser Anlage auf Änderungen der Anforderungen an Produkt und
Prozess reagieren.
TECHNISCHE DATEN
Können sich jederzeit ohne Vorankündigung durch techn. Verbesserungen ändern TECHNISCHE DATEN
TRANSPORT Können sich jederzeit ohne Vorankündigung durch techn. Verbesserungen ändern TRANSPORT
SUBSTRAT Transportart Carrier-basiert, optional: Carrier-Return-System, Stocker Transportart Carrier-basiert, optional: Carrier-Return-System, Stocker
Material Glas, Polymere, Metalle Bestückung optional: automatische Be- und Enststückung (Roboter) SUBSTRAT Bestückung optional: automatische Be- und Enststückung (Roboter)
Beschichtungsbreite 400 mm oder 600 mm Material Glas, Polymere, Metalle
SYSTEMSTEUERUNG & SOFTWARE SYSTEMSTEUERUNG & SOFTWARE
Länge bis zu 1100 mm Größe (L × B) max. 600 mm × 2400 mm
Hardware Industrie-PC/ SPS Modul Hardware Industrie-PC/ SPS Modul
ABSCHEIDUNGSSYSTEM Benutzeroberfläche Windows 10 mit WICON Steuerungssoftware ABSCHEIDUNGSSYSTEM Benutzeroberfläche Windows 10 mit WICON Steuerungssoftware
Abscheideart DC, pulsed DC, AC, RF MES-Link SECS/ GEM Abscheideart DC, pulsed DC, AC, RF MES-Link SECS/ GEM
Magnetron-Typ Planar, Rotatable Magnetron-Typ Planar, Rotatable
ABMESSUNGEN UND GEWICHT ABMESSUNGEN UND GEWICHT
Plasmaquelle Glimme, Inverser Sputter Ätzer (ISE) oder Ionenquelle Plasmaquelle Glimme, Inverser Sputter Ätzer (ISE) oder Ionenquelle
abhängig von Version (400/600) und Konfiguration abhängig von Version (400/600) und Konfiguration
Sputtermodus up, down Sputtermodusvertikal
Substrat, Temperaturbereich RT/ 300 °C OPTIONAL Substrat, Temperaturbereich RT OPTIONAL
Substrat, Potential variabel Plasmavorbehandlung, Prozesstechnik, VA PROCOS, optische In-situ- Substrat, Potential variabel Plasmavorbehandlung, Prozesstechnik, VA PROCOS, optische In-situ-
Anzahl unabhängiger Prozessgase 4 (z.B. Ar, Ar/O2, N2, O2, H2) Messung, Easy-To-Clean Modul (ETC), weitere auf Anfrage Anzahl unabhängiger Prozessgase 4 (z.B. Ar, Ar/O2, N2, O2, H2) Messung, Easy-To-Clean Modul (ETC), weitere auf Anfrage
GC120VCR VERTIKALE BESCHICHTUNGSANLAGE
Industrieerprobte Produktionsanlage mit kleiner Standfläche UNSERE STÄRKEN
HAUSEIGENES TECHNOLOGY &
APPLICATION CENTER
ĵ Musterbeschichtungen für Anwendungen unserer Kunden
ĵ Entwicklung kundenspezifischer Schichtstapel
ĵ Produkt- und Prozessüberprüfung sowie -optimierung
ĵ Tests von neuen Technologien und Komponenten
ENGE PARTNERSCHAFT
VON ARDENNE unterhält ein enges Netzwerk mit Partnern für eine intensive
F & E-Arbeit und die Identifikation von Zukunftstechnologien. Es umfasst:
ĵ Fraunhofer Institute wie IPMS, FEP und ISE
ĵ Institute der Helmholtz-Gemeinschaft (Jülich, Berlin)
ĵ Universitäten (Dresden, Kiel, Sheffield)
ĵ Unternehmen wie die FAP GmbH, scia systems GmbH
PROFESSIONELLE UNTERSTÜTZUNG DURCH
SIMULATION
Wir bieten professionelle Simulationstechnologie, um beste Prozessqualität
Die VON ARDENNE GC120VCR ist eine Carrier-basierte Inline-Anlage in Bezug auf Plasma, Heizung und Kühlung zu gewährleisten. Darüber hinaus
mit einem Return-System zur Abscheidung von dünnen Metall- und helfen unsere Simulationswerkzeuge, Schichteigenschaften zu entwickeln, zu
Oxidschichtsystemen auf Flachglassubstraten oder anderen Materialien. demonstrieren und zu verbessern sowie die Prozesse und die Leistungsfähigkeit
Die Substrate werden vertikal durch die Anlage geführt. unserer Systeme zu definieren oder zu optimieren.
Da VON ARDENNE bereits viele Großflächenbeschichtungsanlagen
entwickelt und installiert hat, konnten wir unser umfangreiches Wissen
und unsere Erfahrungen mit PVD-Technologien in diese Plattform WELTWEITE PROJEKTERFAHRUNG
einfließen lassen. Die Zuverlässigkeit der Anlage hat sich in der PV- VON ARDENNE-Anlagen sind in über 50 Ländern im Einsatz. Wir haben eine
Industrie bewährt und bestätigt. installierte Basis von hunderten von Beschichtungssystemen, angefangen von
kleinen Einkammersystemen bis hin zu Anlagen für großflächige Beschichtungs-
Da die GC120VCR vertikal konstruiert Carrier-basiert ist, beansprucht aufgaben für unterschiedlichste Anwendungen und Märkte.
die Anlage nur wenig Hallenfläche und benötigt weniger Wartungs-
intervalle.
Die wartungsfreundliche Konstruktion der Anlage erlaubt einen
leichten Zugang zur Magnetronumgebung für Target-Wechsel oder UMFANGREICHES SERVICEPORTFOLIO
Wartungen.
ĵ VON ARDENNE-Servicezentren auf der ganzen Welt
ĵ Vor-Ort-Service
ĵ Fernzugriff durch unsere Technologieabteilung
TECHNISCHE DATEN ĵ Angebot regelmäßiger technischer und technologischer Schulungen
Können sich jederzeit ohne Vorankündigung durch techn. Verbesserungen ändern TRANSPORT ĵ Ersatz- und Verschleißteillager in Kundennähe
Transportart Inline, Carrier-basiert
SUBSTRAT ĵ Erhöhung der Langlebigkeit von Verschleißteilen
Ausrichtung des Substrates vertikal - 7°, LEL, SEL
Material Glas, Polymere, Metalle
Transportgeschwindigkeit ≤ 3,5 m/min
Größe (L x B), max. 1 550 mm x 1 200 mm (andere auf Anfrage)
Dicke 1,8 mm (1,4 mm) bis 4 mm (andere auf Anfrage)
Taktzeit 30 s UPGRADES & RETROFITS
SYSTEMSTEUERUNG & SOFTWARE Wenn Ihr Geschäft wächst, wächst Ihr VON ARDENNE-System dank seines
ABSCHEIDUNGSSYSTEM
Hardware PLC, Siemens S7 modularen Aufbaus und der von uns angebotenen Upgrades mit. Wenn Sie sich
Abscheideart DC, pulsed DC, AC
Benutzeroberfläche VON ARDENNE-Benutzeröberfläche entscheiden, Ihre Anwendungen zu ändern, unterstützen wir Sie mit den notwen-
Magnetron-Typ Planar, Single oder Dual Rotatable
MES-Link entsprechend Spezifikation digen Technologie-Upgrades. Darüber hinaus rüsten wir Ihre Anlagen mit neuen
Sputtermodusvertikal
Komponenten nach, unabhängig davon, ob sie aus dem Hause VON ARDENNE
Substrat, Temperaturbereich RT/ 200 °C /400 °C ABMESSUNGEN UND GEWICHT
oder von Drittanbietern sind.
Substrat, Potential variabel Gesamtgröße (L x B x H) individuell × 13 m × 3,5 m
Anzahl unabhängiger Prozessgase bis zu 4 (Ar, O2, N2, X) Gesamtgewicht abhängig von Konfiguration
GERMANY
DRESDEN
USA
JAPAN
OHIO
PERRYSBURG CHINA TOKYO
SHANGHAI
VIETNAM
HO CHI MINH CITY
MALAYSIA
KULIM
AKTUELLE PRODUKT
THEMEN INDEX KOMPONENTEN
WER WIR SIND & WAS WIR TUN
VON ARDENNE entwickelt und fertigt Anlagen für die industrielle Vakuum- Wir bieten unseren Kunden technologisch ausgereifte Vakuumbeschichtungs-
beschichtung von Materialien wie Glas, Wafer, Metallband oder Kunststofffolie. Je anlagen, umfassendes Know-how und weltweiten Service. Die Schlüssel-
nach Anwendung sind diese Schichten einen Nanometer bis wenige Mikrometer komponenten werden bei VON ARDENNE selbst entwickelt und gefertigt.
dünn und verleihen den Materialien neue funktionale Eigenschaften.
Anlagen und Komponenten aus dem Hause VON ARDENNE leisten einen wichtigen
Aus diesen Materialien stellen unsere Kunden hochwertige Produkte her, wie Beitrag zum Schutz der Umwelt. Sie sind entscheidend bei der Herstellung
Architekturglas, Displays für Smartphones und Touchscreens, Solarmodule oder von Produkten, die helfen, weniger Energie zu verbrauchen oder Energie aus
Wärmeschutzfolien für Autoverglasung. erneuerbaren Ressourcen zu erzeugen.
VERTRIEBS SERVICE
KONTAKE KONTAKTE
WELTWEITER VERTRIEB UND SERVICE
VON ARDENNE GmbH (headquarters) I Am Hahnweg 8 I 01328 DRESDEN I GERMANY
Sales: +49 (0) 351 2637 189 I sales@vonardenne.biz
Service: +49 (0) 351 2637 9400 I support@vonardenne.biz
VON ARDENNE Vacuum Equipment (Shanghai) Co., Ltd. I +86 21 6173 0210 I +86 21 6173 0200 I sales-vave@vonardenne.biz; support-vave@vonardenne.biz
VON ARDENNE Malaysia Sdn. Bhd. I +60 4408 0080 I +60 4403 7363 I sales-vama@vonardenne.biz; support-vama@vonardenne.biz
VON ARDENNE Japan Co., Ltd. I Tokyo office I +81 3 6435 1700 I +81 3 6435 1699 I sales-vajp@vonardenne.biz; support-vajp@vonardenne.biz
VON ARDENNE North America, Inc. I Ohio office I +1 419 386 2789 I +1 419 873 6661 I sales-vana@vonardenne.biz; support-vana@vonardenne.biz
VON ARDENNE Vietnam Co., Ltd. I +60 124 23 7353 I sales-vavn@vonardenne.biz; support-vavn@vonardenne.biz
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