NIKON METROLOGY MESSLÖSUNGEN
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Nikon Metrology MESSLÖSUNGEN KMG-LASERSCANNEN Handgeführtes Laserscannen AUTOMATISIERTES LASERSCANNEN Röntgen- und CT Prüfsysteme Videomesssysteme Messmikroskope / Industrielle Mikroskope Messtechnik für groSSvolumige Objekte Stationäre und portable Messsysteme Messsoftware Messtechnische Dienstleistungen
Nikon METROLOGY MESSLÖSUNGEN Seite 5 Digitaler Überprüfungsprozess Punktewolkenverarbeitung mit Focus KMG-basierte LC-Streifenscanner Multi-Streifen Cross Scanner XC HN-6060 Multisensor-Messsystem Handgeführter Scanner ModelMaker K-Scan MMDx für lageunabhängiges Scannen Seite 14 Einblicke ins Innenleben durch Röntgen- und CT-Technik Industrielle CT Systeme der XT H Serie Röntgenprüfsysteme der XT V Serie Seite 18 Industrielle messinstrumente iNEXIV VMA Multi-Sensor-Messsystem NEXIV VMR Videomesssystem Messmikroskope der MM Baureihe Industrielle Messmikroskope der IM Baureihe Digitales Mikroskop ShuttlePix P-400R NeoScope – das leistungsstarke Table Top REM Autokollimatoren Seite 33 Traditionelle Messlösungen Profilprojektoren und optische Komparatoren Digimicro Digitalzähler Brücken-KMGs Halbleiter Prüfsysteme Horizontalarm-KMGs Bildverarbeitungssoftware Portal-KMGs MCA – Manueller KMG-Gelenkmessarm Seite 29 Produktionsintegrierte Messtechnik Multi-Sensor-fähige Messsoftware Camio Messsoftware CMM-Manager Prüfung großvolumiger Objekte mit Laser Radar Qualitätskontrolle, Tracking und Positionierung von Seite 41 Dynamische Messlösungen großen Objekten mit Hilfe von iGPS / iSpace Adaptive Robotersteuerung Inline-Messung mit K-Robot Seite 42 Nikon Metrology kundendienst und Support nikon metrology I vision beyond precision 3
Revolution der maßlichen Qualitätskontrolle Nikon Metrology vereint die innovative berührungslose Metris Messmikroskope und optische Komparatoren im Submikron-Bereich Messtechnologie mit der herausragenden optischen Qualität für selbst die kleinsten Werkstücke. Ausgestattet mit einer Multi- industrielle Messlösungen aus dem Hause Nikon. Diese kombinierte Sensor-Aufnahme, einer Genauigkeit im Submikron-Bereich und Produktpalette liefert schnelle Messergebnisse im Submikron- automatisierten Prüfroutinen, können die Nikon Messinstrumente Bereich und wird daher sowohl von führenden Herstellern in der zahlreiche Werkstücke untersuchen. Von komplexen 3D Freiformflächen Automobil-, Luft- und Raumfahrt- und Elektronikindustrie als auch und IC Packages bis zu Formen und Waferloadern sowie in der Medizintechnik, im Schiffsbau, in der Kosmetik und in der Flachbildschirmen und Schattenmasken für Leitungsgerüste. verarbeitenden Industrie eingesetzt. Ein digitaler Inspektionsprozess reduziert die Zeit- Fertigungsunterstützende Messtechnik für eine “First- spanne bis zur Produkteinführung (Time to Market) Time-Right” Produktion und Entwicklungskosten Große Bauteile sind oft sehr kostenintensiv und werden nur in Fertigungsunternehmen, die mit digitalen Entwicklungsprozessen kleinen Stückzahlen produziert. So ist die fehlerfreie Herstellung arbeiten, verkürzen erfolgreich die Zeit bis zur Markteinführung (First-Time-Right Production) der einzig gültige Ansatz. Nikon der Produkte und senken Entwicklungskosten. Die maßliche Metrology unterstützt die Kunden beim Einsatz von messtechnisch Qualitätskontrolle ist ein entscheidender Faktor in den verschiedenen gesteuerten Fertigungsprozessen. In einer Fertigung mit integrierter Stufen des digitalen Entwicklungsprozesses. Durch die Erstellung von Messtechnik werden alle Online-Geometriedaten genau Messprotokollen sorgt sie dafür, dass Unternehmen einen vollständigen erfasst und wieder in den Prozess eingefügt, um die Präzision Überblick über die produzierte Qualität des Produktes erhalten. und Geschwindigkeit der Fertigungsabläufe kontinuierlich zu steigern. Die Werkstücke werden während ihres Zusammenbaus Die von Nikon Metrology eingeführten Neuerungen in der mithilfe innovativer großvolumiger Messlösungen positioniert Laserscantechnologie und Punktewolkensoftware sind die und kontrolliert. Außerdem können die Messdaten verwendet wichtigsten Voraussetzungen für das digitale Messverfahren. werden, um Industrieroboter einzumessen oder um über ein Verglichen mit Messprüfungen, die direkt am physischen Teil „Closed-Loop-System“ Rückmeldungen zu erhalten, sodass die durchgeführt werden, wird das Werkstück bei der “Digitalen Positioniergenauigkeit des Roboters deutlich erhöht wird. Führende Messung” zuerst digitalisiert. Anschließend wird die Messung auf Unternehmen der Automobilindustrie, der Luft- und Raumfahrt Grundlage der erfassten digitalen Daten durchgeführt. Auf diese setzen auf die messtechnisch unterstützten Fertigungslösungen von Weise nutzt das digitale Messverfahren – von der Messvorbereitung Nikon Metrology, um Produkte höherer Qualität herzustellen, die bis zum abschließenden Bericht – die Vorteile der gewohnten Produktionskosten zu senken und die Durchsatzzeiten zu verbessern. Automatisierungsfunktionen und den Flexibilitätsvorsprung des digitalen Ansatzes. Im Ergebnis werden so Zeit und Geld gespart. Der Nikon Metrology - Positioniert, um dem Kunden eine direkte Zugriff auf eine vollständige digitale Kopie des Prüfobjekts schlüsselfertige Messlösung zu bieten macht es möglich, jederzeit und ortsunabhängig weitere oder ausführlichere Analysen durchzuführen. Neben neuesten berührungslosen Messtechniken bietet Nikon Metrology ein breites Spektrum traditioneller Messlösungen, wie Aufspüren von winzigen Fehlern und versteckten beispielsweise CNC-KMGs und portable Messgeräte. Mit diesem Defekten mit Hilfe von neuester Röntgen- und umfassenden Produkt- und Serviceangebot ist Nikon Metrology in der CT-Technologie Lage, Komplettlösungen anbieten zu können. Dank dieser erfolgreichen Strategie zählt Nikon Metrology zu einem der führenden Anbieter von Tiefere Innenansichten zu gewinnen, ist entscheidend für messtechnischen, schlüsselfertigen Systemlösungen. Darüber hinaus kleine und komplexe Bauteile, wo der Zugriff auf viele wichtige profitieren Kunden von einem einzigartigen Kundendienst, der die Merkmale weder durch taktile noch durch optische Messlösungen Kunden betreut und somit einen wirtschaftlichen Vorteil bietet. möglich ist. Für diese anspruchsvollen Messaufgaben bietet Nikon Metrology ein breit gefächertes Spektrum an röntgen- Die innovative Messtechnik, das umfangreiche Angebot an und computertomographiebasierten Lösungen. So können Komplettlösungen und ein ausgezeichneter Kundendienst machen unterschiedlichste Produkte, wie beispielsweise Leiterplatten, Nikon Metrology zu einem einzigartigen Anbieter am weltweiten Kunststoff- und Gussteile, neuartige Materialien, medizinische Markt für Mikromesstechnik. Produkte und Freizeitelektronik, archäologische Funde und vieles mehr zerstörungsfrei geprüft werden. Präzisionsmessinstrumente aus dem Hause Nikon werden dem höchsten Qualitätsstandard in der Produktion gerecht. Basierend auf der herausragenden qualitativen Optik, prüfen Videomesssysteme, 4
Digitaler Überprüfungsprozess Digitaler Überprüfungsprozess Einblicke mithilfe Röntgen- und CT-Technik D (C igit A al D e D W at e en lt ) Digitale Computergestützte Computergestützte Computergestützte Übertragung Konstruktion Produktion Industrielle Messinstrumente Montage e e e pi pi t pi el le Ko le Ko e Ko W t) ita ita ita l he jek ig ig ig D D D c is b hys sso P Me ( Produktionsintegrierte Messtechnik Die Nikon Metrology Lösungen für das Laserscannen und die Punktewolkenverarbeitung sind die wichtigsten Voraussetzungen für das digitale Messverfahren (DIP = Digital Inspection Process). Digitale Kopien von Prototypen, Bauteilen und Baugruppen bereichern den heutigen Prozess vom Entwurf bis zur Fertigung um Informationen, welche die tatsächlichen Gegebenheiten abbilden. Traditionelle Messlösungen PUNKTEWOLKENVERARBEITUNG KMG-LASERSCANNEN HANDGEFÜHRTES LASERSCANNEN automatisiertes Laserscannen Dynamische Messlösungen 5
Focus Punktewolken - Software Focus 10 – Effizientes Laserscannen für stationäre und handgeführte 3D-Koordinatenmesssysteme Focus 10 setzt als Software für die Punktewolkenaufnahme und -prüfung Standards. Die Software bietet beeindruckende Leistungsmerkmale, eine intuitive Benutzeroberfläche und Standard-Makrofunktionen zur Automatisierung des gesamten Prüfprozesses. Focus 10 bietet Funktionen wie Merkmalsmessung und komplette dreidimensionale Teil-gegen-CAD-Prüfung, ausgehend von Punktewolkendaten oder Netzflächen aus KMG-Scannern, handgeführten Scannern oder Computertomographie (CT). Focus 10 stellt die Messergebnisse in leicht verständlichen interaktiven Grafiken und Berichten dar. Merkmale • Punktewolkenverarbeitung auf höchstem Niveau - Bis zu 100 Millionen Punkte - Leistungsstarke, umfangreiche und automatisierte Algorithmen zur Merkmalserkennung • Komplette Werkzeugleiste für Messungen - Vergleich des kompletten Objekts gegen CAD oder STL - Umfassender Satz von 2D- und 3D-Merkmalen - Form- und Lagetoleranzen (GD&T) - Wandstärke, Spalt & Bündigkeit und Ausrichtung • Vielseitige Berichtsfunktionen und gemeinsame Nutzung von Daten • Alle Messfunktionen voll automatisierbar • Spezielle Messmodule wie Turbine Blade Inspection (TBI – zur Prüfung von Turbinenschaufeln) Vorteile • Hohe Produktivität und Einheitlichkeit in der Datenverarbeitung mit minimalem Einsatz • Verringert die benötigte Zeit von Oberflächen- und Merkmalsmessungen • Steuerung der Datenaufnahme von Laserscannern adaptiert an Messmaschinen, Gelenkmessarmen und optischen Messsystemen • Konzipiert für den industriellen Einsatz durch Bediener und Techniker • Automatisierung des Prüfprozesses ohne Programmierkenntnisse • Leicht verständliche und interaktive Berichterstellung für eine einfachere Entscheidungsfindung Grafisch farblich dargestellte Berichtserstellung, die Geometrieabweichungen deutlich anzeigen 6
Digitaler Überprüfungsprozess Einblicke mithilfe Röntgen- und Form- und Lagetoleranzen (GD&T) Spalt- & Bündigkeitsanalyse Prüfung von Turbinenschaufeln CT-Technik Industrielle Messinstrumente Merkmalsmessungen in Anwendungen ...werden in Focus Inspection Bei der virtuellen Montage werden gemessene Teile und der Automobilindustrie... problemlos gegen CAD verglichen CAD-Modelle zusammengebaut, um mögliche Passungsprobleme festzustellen Focus Scan – Schnelle, einfache und präzise Datenerfassung durch Laserscanner, adaptiert an stationären oder portablen Systemen Focus 10 ist die Treibersoftware aus dem Hause Nikon Metrology für Laserscannerintegrationen auf KMG, Gelenkmessarmen und optischen KMG. Die Software nimmt die Punktewolkendaten auf und verarbeitet diese. Speziell beim Einsatz von Laserscannern auf Koordinatenmessgeräten, Produktionsintegrierte Messtechnik kann der Bediener mit Hilfe von Focus 10 den Scanpfad sowohl online als auch offline definieren. Das Offline KMG Scanningmodul ermöglicht es, dass der Bediener Teileprogramme generieren, modifizieren und auch am 3D-CAD Modell testen kann. Diese Aufgaben können offline durchgeführt werden, so dass das eigentliche KMG dafür nicht mehr benötigt wird. Die Software verfügt über Prüf-, Automatisierungs- und Berichterstellungsfunktionen. Traditionelle Messlösungen Dynamische Messlösungen Scanpfade können einfacher definiert werden und Ein Durchbruch bei der Kontrolle von Scanmakros besteht automatische Scanpfadprogrammierung reduziert in einer neuen Softwarefunktion, die Punktewolken ebenfalls die benötigte Vorbereitungszeit für die simuliert. Die Simulation zeigt das Werkstück, wie es auch eigentliche Messung. mit dem Koordinatenmesssystem überprüft wird. 7
Die Streifenlaserscanner LC60Dx / LC50Cx / LC15Dx Das digitale Laserscannen steigert die Messleistung Digitales Scanning erhöht die Leistungsfähigkeit der dimensionalen Qualitätsprüfung. Der digitale Nikon LC15Dx Laserscanner bringt die 3D-Digitalisierung in den Genauigkeitsbereich der taktilen Messung und bietet gleichzeitig den Vorteil der Erfassung einer Vielzahl von Prüfpunkten. Durch sein kleineres Sichtfeld, höhere Punktedichte und engeres Toleranzfeld ist der Scanner besonders perfekt für die Digitalisierung kleiner oder detaillierter Objekte geeignet. Der LC60Dx ist ein universell einsetzbarer Scanner, der sowohl an stationäre Koordinatenmessgeräte als auch an portablen Geräten adaptiert wird. Der LC50Cx Laserscanner bietet eine ausreichende Produktivität mit seiner 50 mm Streifenbreite und seiner Scan- Rate von 45 Streifen pro Sekunde. Ausgestattet mit der neuesten Technik (CMOS-Technologie) und einer leistungsstarken On-Board- Datenverarbeitung, besitzen heutige digitale LC-Scanner eine dreimal höhere Erfassungsrate. Dies ermöglicht eine drastische Senkung des Prüfzyklus für Freiformflächen oder eine Erhöhung der Anzahl von Merkmalen, die in der gleichen Zeit geprüft werden kann. Um effektiv Oberflächen mit unterschiedlichen Farbverläufen oder hohem Reflexionsgrad zu scannen, bietet der LC-Scanner eine automatische Echtzeit-Anpassung (ESP3) der Sensoreinstellungen für jeden einzelnen Punkt des Laserstreifens. Merkmale • Kompatibel zu Renishaw Dreh-/Schwenkköpfen PH10M(Q) und Anwendungsbereiche Tasterwechselsystemen (ACR) Kontrolle und Flächenrückführung von Mobiltelefongehäusen, • Datenerfassung über Turbinenschaufeln, Werkzeuge, Guss- Teilen, Kokillen-Guss, Mutiwirekabel, welches in Blechteilen, Kunststoffen etc. den meisten KMG namhafter Hersteller integriert ist. • Konzipiert für minimale Technische Daten Aufwärmzeit und maximale LC15Dx LC60Dx LC50Cx Betriebsstabilität und Robustheit LC60Dx LC50Cx Sichtfeld 18x15mm 60x60mm 50x60mm Antastabweichung (MPE ) p 1 2.5µm 9µm 20µm Datenerfassung (circa) in Punkte/Sek) 70.000 77.000 37.500 Nutzen von KMG-basierten Erweiterte Sensorleistung √ √ √ • Vereinfachte Messung und Mesvorbereitung (ESP3) 1 Nikon Metrology Test vergleichbar mit EN/ISO 10360-2 - Teach Scan-Pfad angeben oder Scan-Bereich auf CAD markieren - Import-Funktion, welche Merkmale und Form- und Lagetoleranzen direkt aus dem CAD herausliest - Makro-Funktionalität für die automatische Erfassung und Prüfung • Reduzierung der Messzeit - Reduzierung der Bewegung des Dreh-/Schwenkkopfes - XC65Dx (-LS) Scanner erfasst alle Merkmalsinformation in einer einzigen Bewegung Detaillierte Analyse von Handy-Oberschalen mit dem LC15Dx. 8
Digitaler Überprüfungsprozess Cross Scanner XC65D (-LS) Vollständige 3D Aufnahme von komplexen Merkmalen und Oberflächen Durch die kreuzförmige Integration von drei Lasern erfasst der XC65Dx mit einem einzigen Scan die kompletten 3D-Details von Merkmalen, Kanten, Taschen, Rippen und Freiformflächen. Der Einblicke mithilfe Röntgen- und Cross Scanner digitalisiert komplexe Elemente von drei Seiten und erfasst so die komplette 3D-Geometrie der Merkmale. Auf diese Weise werden Positionen und Abmessungen genau extrahiert. CT-Technik Durch den vollständig digitalen Betrieb des Cross Scanners wird die Anzahl der Scans je Zeiteinheit (Scanfrequenz) gesteigert und die intelligente Anpassung der Laserintensität zum Scannen beliebiger Oberflächen ohne Bedienereingriff gesteuert. Merkmale Industrielle Messinstrumente • 3 kreuzförmig angeordnete Lasterstrahlen für eine vollständige 3D-Ansicht mit nur einem Scan • Deutliche Verringerung der zeitraubenden Tastkopfindexierung, wobei die C-Achse entfällt • Schneller Betrieb des digitalen Scanners, einschließlich ultraschneller CMOS-Kameratechnik • XC65Dx-LS Variante mit großem Scanabstand für die optimale Aufnahme von tiefen Taschen und Langlöchern • Genauigkeit von 9 μm (XC65Dx) Produktionsintegrierte Messtechnik Anwendungsbereiche • Maßliche Prüfung von Blechmerkmalen (Langlöcher, Bohrungen etc.) • Prüfung von Gussteilen und komplexen Freiformflächen • Merkmalsmessung • Spalt- & Bündigkeitsmessung Traditionelle Messlösungen Der XC65Dx scannt Blech- und Kunststoffteile sowie Verbundwerkstoffe. Laserscannern • Einzigartige Funktion zur Messung von Freiformflächen und empfindlichen Oberflächen - Detailbeschreibungen von Freiformflächen in kurzen Zeitabständen - Die optische Messtechnologie macht das Antasten zerbrechlicher und empfindlicher Objekte überflüssig - Aussagekräftige Berichterstellung mit farblich gekennzeichneten CAD- Abweichungen Dynamische Messlösungen - Eingabefunktionen für die Flächenrückführung (RE), die schnelle Erstellung von Prototypen, Finite-Element-Berechnungen und die digitale Archivierung Das große Sichtfeld des Laserscanners reduziert die benötigte Aufnahmezeit, um Gussteile aus der Automobilindustrie zu prüfen. 9
HN-6060 Zerstörungsfreie Prüfung mit dem Multisensor-Messsystem Das 3D-Multisensor-Koordinatenmesssystem, HN-6060, ermöglicht automatische und berührungslose Messungen von komplexen Komponenten. Das System ist mit einem neu entwickelten Hochgeschwindigkeits- und Hochpräzisions-Laserscanner sowie mit einem Shape-From-Fokus (SFF) Sensor ausgestattet. Mit dieser Konfiguration ist das Gerät in der Lage, selbst glänzende Oberflächen oder Oberflächen, die kaum Flächenstruktur aufweisen, präzise zu prüfen. Tastsysteme und optische Sensoren mit einem integrierten TTL Laser AF (Autofokus), der sich schon in der erfolgreich etablierten Nikon CNC Videomesssystem - Baureihe Nexiv VMR bewährt hat, komplettieren das Multisensorsystem. Mit seinem fortschrittlichen Laserscanner, der synchronisierten 5-Achsen-Hardwaresteuerung und seiner hohen Konstruktionsstabilität kombiniert mit einer leistungsstarken Software, setzt das HN-6060 neue Standards für ultra-präzise und schnelle Prüfung von komplexen Formen wie z.B Zahnräder und Turbinenschaufeln. Merkmale Vorteile • Hochpräzise Punktewolken-Aufnahme von 120.000 Punkten / Sekunde • Hochpräzise Ergebnisse mit berührungslosem Messverfahren • Bei der berührungslosen Prüfung beträgt der maximal zulässige • Einfache Inbetriebnahme Fehler 5 µm • Schnelles, automatisches Scannen und Überprüfen • Scannen von dunklen Komponenten oder Formen mit glänzenden • Hohe Stabilität durch die 5-Achsen-Hardware Oberflächen ohne vorheriges Einsprayen • Die Multisensortechnik ermöglicht vielfältige Prüfanwendungen • Synchronisierte 5-Achsen-Steuerung für hochpräzise • Nahtlose Integration mit spezieller Messsoftware. Dimensionskontrolle - Orthogonales 3-Achsen System mit Linearmotoren - 2-Achsen-Rundtisch für leichte Zugänglichkeit und eine Anwendungsbereiche optimierte Scannereinstellung Prüfung von Oberflächenformen (Teil-zu-CAD-Vergleich) und • Das Blickfeld wird stets durch die synchronisierte Reverse Engineering (Flächenrückführung) von: 5-Achsen-Steuerung fixiert. Somit wird die Aufnahme von • Komponenten aus Luft- und Raumfahrt (Turbinenschaufeln) Oberflächenpunkten erleichtert. • Komplexen Bauteilen u. a. aus der Automobilindustrie wie z.B. • Kollisionsschutz und Messsimulationsmodus Zahnräder • Maschinell bearbeitete Werkstücke • Gegossene Teile Software • Komponenten aus der Medizintechnik (künstliche Gelenke) • Die HN 3D-Messsoftware basiert auf der bewährten • etc. Auswertesoftware für die Nikon NEXIV VMR Baureihe • Eine Softwareplattform für alle Messanwendungen inkl. - Messende Taster und Bildverarbeitungsmessungen, Verwandte Produkte - Aufnahme von Punktewolken mittels SFF Sensor (Shape-From- • Focus Inspection für fortschrittliche Teil-zu-CAD-Vergleiche und Fokus) Erstellung von detaillierten Messprotokollen. - Teil-zu-CAD-Prüfung für vergleichende Auswertungen 10
Digitaler Überprüfungsprozess ModelMaker MMDx/MMCx Intuitives Scannen und Analyse mit einem Klick Die handgeführten Laserscanner der Baureihe ModelMaker eignen sich besonders für portable 3D-Messungen und Reverse Engineering-Anwendungen. Die MMDx Kameratechnik ist ein Einblicke mithilfe Röntgen- und weiterer Meilenstein im 3D-Laserscannen. Das Resultat sind hohe Wechselfrequenzen und eine große Streifenbreite von bis zu 200 mm für ein äußerst produktives Scannen. In dieser MMDx Baureihe CT-Technik ist die Funktion der verbesserten Sensorleistung (ESP3) integriert, so dass alle Materialien von Prüfobjekten in einer einzigen Bewegung gescannt werden können. Der digitalen Kamera kommt die echte, nicht interpolierte Auf- lösung von über Tausenden an Punkten pro Streifen für das effi- ziente Scannen von Freiformflächen und Merkmalen mit einer optimalen Auflösung zugute. ModelMaker-Scanner sind, neben dem optischen KMG-System der K-Serie, kompatibel mit dem MCA II Industrielle Messinstrumente Gelenkmessarm sowie Messarmen anderer Herstellermarken. Merkmale • Mehrere Streifenbreiten zwischen 50 und 200 mm verfügbar • Genauigkeit von bis zu 10 μm (1σ) • Aufgrund der verbesserten Sensorleistung können Materialien unterschiedlichster Oberflächen und Reflektionsgrade gescannt werden • Einsatzfertiges Scannen mit Direktanbindung an den PC Produktionsintegrierte Messtechnik • Focus Software für das handgeführte 3D-Laserscannen Anwendungsbereiche - Echtzeitschattierung - Positionsgeber-geführtes Scannermenü • Prüfung des Teils gegen CAD - Erstellung und Verarbeitung von Netzflächen • Prüfung geometrischer Elemente - Teil-gegen-CAD-Vergleich • Spalt- & Bündigkeitsmessung • Reverse Engineering - vom Entwurfsmodell aus Clay bis zu Klasse A-Oberflächen Vorteile • Input für schnelle Prototypenerstellung • Ergonomische Lösung durch die leichtgewichtige Konstruktion der Scannerhalterung mit integrierten Bedienknöpfen Verwandte Produkte • Überragende Scangenauigkeit für die Prüfung von Freiform- flächen und Merkmalen • MCA II Gelenkmessarm • Hoher Scandurchsatz dank schneller digitaler Datenerfassung Traditionelle Messlösungen • Optisches KMG der K-Serie • Robustes Design für den Einsatz in der Werkstattumgebung • Focus Punktewolkenverarbeitungs - Software Dynamische Messlösungen Der MMDx-Scanner ist mit Streifenbreiten von 50/100/200 mm erhältlich und MMCx-Scanner mit Streifenbreiten von 80/160mm 11
K-Scan MMDx Lageunabhängiges Scannen in einem großen Messvolumen Der K-Scan MMDx für lageunabhängiges Scannen ist ein handgeführter Laserscanner für portable Messanwendungen in großen Arbeitsbereichen. Für das mühelose Scannen werden alle mechanischen Schranken durch die kontinuierliche und präzise Tasterortung des optischen KMGs sowie mit Hilfe von 20, im Laserscanner integrierten, Infrarot-LEDs beseitigt. Die präzise Leistung und überragende Ergonomie machen den K-Scan MMDx zu einer sehr bedienerfreundlichen handgeführten Scanlösung. Der K-Scan MMDx ist das optimale Messmittel für die genaue Prüfung des Teils gegen CAD und die produktive Flächenrückführung großvolumiger Bauteile. Dank der dynamischen Referenzierung erhalten Sie konstante Messergebnisse, selbst wenn die Kamera oder das Messobjekt während des Scannens bewegt werden. Merkmale • Messvolumen von 17 m³, erweiterbar durch das Hinzufügen weiterer Kameras • Streifenbreite zwischen 100 und 200 mm (abhängig vom gewählten Scannertyp) • Tasterdesign in Kohlefaser-Leichtbauweise • Dynamische Referenzierung • SpaceProbe-Option für taktile Messungen Vorteile • Ortsungebundenes Messen • Problemlose Handhabung dank Tasterortung und ergonomischem Design • Hoher Scandurchsatz und überragende Genauigkeit Optisches KMG der K-Serie • Installation mehrerer Kameras zur Vergrößerung des Arbeitsvolumens und Erfassung kompletter Fahrzeuge oder LKWs Über ein Triangulationsverfahren messen die linearen CCD-Kameras der K-Serie dynamisch die Position Anwendungsbereiche der Infrarot-LEDs, die in dem ergonomischen • Komplette Prüfung großvolumiger Teile gegen CAD und ihrer handgeführten Laserscanner ModelMaker oder im Merkmale SpaceProbe-System integriert sind. • Spalt- & Bündigkeitsprüfung • Problembehandlung vor Ort • Lösung von Montageproblemen Verwandte Produkte • Optisches KMG der K-Serie • SpaceProbe • Focus Software zur Verarbeitung von Punktewolken 12
Digitaler Überprüfungsprozess Einblicke ins Innenleben durch Röntgen- und CT-Technik Einblicke mithilfe Röntgen- und CT-Technik Mikrofokus Röntgenbild eines CT Modell Vergleich Röntgen-Bildgebung Bohrgehäuses zum CAD Industrielle Messinstrumente Produktionsintegrierte Messtechnik Untersuchen Sie komplexe Elektronik- oder Industriebauteile, indem Sie buchstäblich einen Blick ins Innenleben werfen. Nutzen Sie die CT-Funktion, um innere oder äußere Strukturen in einem durchgängigen Prozess zerstörungsfrei zu untersuchen. INDUSTRIELLES CT-SCANNEN XT H 225 Traditionelle Messlösungen HOCHLEISTUNGSFÄHIGE COMPUTERTOMOGRAPHIE XT H 450 RÖNTGENPRÜFSYSTEM XT V 130 FÜR ELEKTRONIK-BAUTEILE Dynamische Messlösungen RÖNTGENPRÜFSYSTEM XT V 160 FÜR ELEKTRONIK-BAUTEILE 13
Industrielles CT-Scannen XT H 225 Komplette Innen- und Außenprüfung von Industriebauteilen Die detailgetreue Erfassung und Messung von internen Merkmalen oder Baugruppenteilen ist oft ein entscheidender Faktor bei der Qualitätskontrolle, Fehleranalyse und der Materialforschung. Das XT H 225 bietet leistungsstarke Röntgenquellen, ein großes Messvolumen sowie eine hohe Bildauflösung für Röntgen- und CT-Anwendungen. XT H Systeme sind mit 225 kV und optional mit rotierendem Target (Ziel) erhältlich. Sie können für unterschiedlichste Anwendungen, wie beispielsweise zur Prüfung von kleinen Gussteilen, Kunststoffteilen sowie für die Materialforschung, eingesetzt werden. Merkmale • Leistungsstarke 225kV Mikrofokus-Strahlenquelle mit optionalem rotierendem Target Anwendungsbereiche • Echtzeit-Röntgenansicht, schnelle CT-Rekonstruktion • Auswertung und Messung von Präzisionskunststoffteilen und • CT-Messvolumen von bis zu 250 mm Durchmesser und 600 mm kleinen Gussteilen aus Leichtmetall, komplexen Mechanismen, vertikal verborgenen Bauteilen, Soll-Ist-Vergleich gegen CAD etc. • Voll programmierbarer 5-Achsen-Teilemanipulator • Fehlersuche und Fehleranalyse • Benutzerdefinierbare Makros zur Automatisierung der Messabläufe • Hochentwickelte Materialforschung und Analyse • Geringer Platzbedarf & einfaches Handling durch Laufrollen • Digitale Archivierung von Modellen • Problembehandlung bei Montage Vorteile • Flexibilität kombiniert in einem einzigen System: Röntgenstrahlen für die schnelle visuelle Prüfung, CT für die Detailanalyse Verwandte Produkte • Schnelle Datenerfassung und qualitativ hochwertige Bilder • XT H ST (Stretched) und XT H LC (Großgehäuse) • Schneller Betrieb mit interaktiver Joystick-Navigation • 320kV Strahlenquelle (nur LC Großgehäuse) • Hochauflösende digitale Bildgebung und -verarbeitung • Inspect-X Software • Die integrierte Sicherheit erlaubt den Betrieb des Systems ohne • Software Focus Inspection spezielle Schutzvorkehrungen oder Strahlungsplaketten • Nikon Metrology bietet dem Kunden ein breites Spektrum • Enge Integration mit Anwendungen zur Nachbearbeitung gemäß kundenspezifischer CT-Konfigurationen Industriestandard Analyse des Teils gegen CAD Bemaßung Goldadern in Kalkstein Zylindereinpassung in CT von Schaumstoffstrukturen Scan eines Fossils Eine Röntgenquelle mit rotierendem Target liefert eine um bis zu 5x höhere Bohrungen Leistung. Dadurch können die CT Scan-Zeiten verkürzt bzw. bei gleich- bleibender Scan-Zeit höhere Auflösungen erzielt werden. 14
Digitaler Überprüfungsprozess Das XT H 450 für die CT-Prüfung von Turbinenschaufeln und Gussteilen Hochleistungsfähige Mikrofokus-Röntgenquelle mit 450kV Das Nikon Metrology XT H 450 setzt einen neuen Maßstab für die Messung von Turbinenschaufeln und die zerstörungsfreie Prüfung (NDT) von kleinen bis mittelgroßen Gussteilen. Kernstück dieser Einblicke mithilfe Röntgen- und leistungsstarken Anlage ist die 450kV-Mikrofokus-Röntgenquelle, die für eine hohe Auflösung und Genauigkeit sorgt. CT-Technik Der gekrümmte Zeilendetektor optimiert die Erfassung der Röntgenstrahlen, indem er das Auftreten der Streuungen reduziert, die normalerweise die 2D-Radiographien von Turbinenschaufeln und sonstigen Metallteilen stören. Merkmale • Einzigartige 450kV-Mikrofokusquelle Industrielle Messinstrumente • Messvolumen von bis zu 600 mm Durchmesser und 600 mm vertikal • Hocheffizienter Zeilendetektor • Voll programmierbarer 5-Achsen-Plattenmanipulator mit Präzisionskugelumlaufspindeln und Linearführungen • Spezielle Anwendung für die automatische Freigabe-/ Anwendungsbereiche Ausschussprüfung von Turbinenschaufeln • Detailanalyse der inneren Struktur von Turbinenschaufeln • Automatisierte Freigabe-/Ausschussprüfung von Vorteile Turbinenschaufeln • Prüfung hochdichter Teile (z.B. von Metall- und Gussteilen) mit • Flexibilität kombiniert in einem einzigen System: Röntgenstrahlen Produktionsintegrierte Messtechnik Genauigkeitsanforderungen im Mikronbereich für die schnelle visuelle Prüfung, CT für die Detailanaylse • Schnelle Datenerfassung und qualitativ hochwertige Bilder • Hochauflösende digitale Bildgebung und -verarbeitung Verwandte Produkte • Die integrierte Sicherheit erlaubt den Betrieb des Systems ohne spezielle Schutzvorkehrungen oder Strahlungsplaketten • XT H 225 • Nikon Metrology bietet dem Kunden ein breites Spektrum kundenspezifischer CT-Konfigurationen Traditionelle Messlösungen CT-Prüfung von Turbinenschaufeln CT Volumenmodell einer Turbinenschaufel Dynamische Messlösungen Durchstrahlung von Kettensägenmotoren Röntgenbild eines Gussteils CT Volumenmodell eines Motorblocks 15
XT V 130 für Röntgenkontrolle von elektronischen Baugruppen Kompaktes, vielseitiges und bedienerfreundliches System zur Prüfung von elektronischen Komponenten Mit der Einführung von vielen neuen elektronischen Komponententypen, tritt die reine Oberflächenkontrolle immer mehr in den Hintergrund. Da die meisten elektronischen Verbindungen für das menschliche Auge nicht mehr sichtbar sind, gewinnt die Qualitätsprüfung in Echtzeit mittels Röntgenstrahlung mehr und mehr an Bedeutung. Das XT V 130 wird zur 100% Kontrolle von (µm) BGAs, Multilayern und PCB Steckverbindungen eingesetzt. Das Röntgensystem ist äußerst präzise und flexibel und vereinfacht die Defekterkennung von bestückten PCB Boards. Die Software Inspect-X bietet automatisierte Prüfroutinen und (optional) eine automatische Boardidentifikation, die hohe Messdurchsatzraten garantiert. Eine über 320-fache Vergrößerung erlaubt dem Bediener das zu überprüfende Merkmal heranzuzoomen. Anwendungsbereiche Merkmale • Elektronische und elektrische Komponenten • Hauseigene Mikro-Fokus Röntgenquelle mit einem Brennfleck von - Bondverwirbelungen, Ball Bonds, Wire Sweeps, Die Attaches, 3 Mikron Dry Joints, Bridging / Shorts, Voiding, BGA etc. • Echter Rotationswinkel bis zu 60° für eine einfache Prüfung von • Bestückte und unbestückte PCBs internen Merkmalen - Oberflächenprüfung von Montagedefekten, Solder Joints Porösität • Hohe, 16-Bit-Auflösung und fortschrittliche - Detaillierte Prüfung von Vias, Through-Hole Plating und Bildverarbeitungsfunktionen Multilayer Verbindungen • Großes Beladefacht für die Aufnahme von Multiple Boards - Wafer-Level-Chip-Scale Packages (WLCSP) • Optional ist ein Rotationstisch (kontinuierlich, 360°) erhältlich - BGA und CSP Prüfung - Non-Lead Solder Prüfung • Mikro-elektronisch-mechanische Systeme (MEMS, MOEMS) Vorteile • Prüfung u. a. von Kabelbeschaffenheiten und • Röntgeninspektion für die Qualitätsprüfung von elektronischen Kunststoffbeschaffenheiten Komponenten - Makro-basierte Funktionen können auch von Bedienern ohne Programmierkenntnisse ausgeführt werden Verwandte Produkte - Komponenten-spezifische, automatisierte Pass / Fail Analyse, • XT V 160 Offline Darstellung und automatisierte Berichterstellung • Inspect-X - Automatisieren Sie die komplette Messaufgabe mit VBA • Online Bedienung mit intuitiver Joystick-Steuerung Wird die große Seitentür des Systems geöffnet, tritt ein Schutzmechanis- mus in Kraft: die Röntgenstrahlung wird sofort ausgesetzt. • Geringe Wartungskosten durch Open-Tube-Technologie (offene Röntgenröhre) • Das System ist strahlungsgeschützt. Das Tragen von speziellen Strahlungsplaketten ist nicht erforderlich. • Geringe Aufstellfläche und geringes Systemgewicht erleichtern die Installation Rotationswinkel bis zu 60° bietet ausreichende Flexibilität, um Verbindungsprobleme schnell aufzuspüren. 16
Digitaler Überprüfungsprozess Röntgenprüfsystem XT V 160 für Elektronik-Bauteile Schnelle und genaue Prüfung von miniaturisierten Elektronikbauteilen Die elektrischen Verbindungen auf den kompakten und dicht besetzten Leiterplatten (PCBs) von heute werden durch die elektronischen Bauteile selbst verdeckt, so dass die Röntgentechnik Einblicke mithilfe Röntgen- und die einzig realisierbare Messlösung ist. Das XT V 160 ist ein PCB Prüfsystem, welches äußerst bedienerfreundlich ist und ein optimales Preis-/Leistungsverhältnis bietet. CT-Technik Im automatischen Betrieb können Objekte in der höchsten Durchsatzrate geprüft werden. Im manuellen Betrieb können die Bediener mithilfe der intuitiven Software und äußerst präzisen Steuerung der Prüfobjekte kleinste innen liegende Schäden und Mängel sichtbar machen und auswerten. Industrielle Messinstrumente Merkmale • NanoTechTM-Röntgenquelle mit Brennfleckgröße im Submikronbereich • Echter Neigungswinkel von 75° für die optimale Prüfung von BGAs Produktionsintegrierte Messtechnik • Schnelle Datenerfassung und qualitativ hochwertige Bilder • Benutzerdefinierbare Makros zur Automatisierung der Messabläufe • Anpassbare Makros automatisieren den Arbeitsablauf • Remote Validation Station erhältlich Verwandte Produkte Vorteile • XT V 130 • Inspect-X • Flexibilität kombiniert in einem einzigen System - Interaktive Anzeige - Vollautomatische Röntgenprüfung - CT-Option für tiefer gehende Analyse • Maximale Vergrößerung unter jedem Blickwinkel • Schneller Betrieb mit interaktiver Joystick-Navigation Traditionelle Messlösungen • Kostengünstige Wartung durch integrierte offene Röntgenröhre • Sicheres System, das keine speziellen Schutzvorkehrungen oder Strahlungsplaketten erfordert Anwendungsbereiche • Solder Reflow Analyse • BGA Analyse • Solder Void Calculation • Through Hole Vermessung und Untersuchung Dynamische Messlösungen • Die Attach Voiding Vermessung In allen Kombinationen von Drehungen, Neigungen und Vergrößerungen • Ball Bond Analyse bleibt der für Sie interessante Bereich in der Mitte des Sichtfelds fixiert • Stitch Bond Analyse • Micro BGA / Chip on Chop Analyse • Pad Array Analyse • Dry Joint Erkennung und Analyse 17
Industrielle Messinstrumente Der Einsatz von Präzisionsmessinstrumenten garantiert Qualitätssicherung auf höchstem Niveau innerhalb des gesamten Produktionsprozesses. Basierend auf der Erfahrung von Nikon im optischen Bereich setzen CNC Videomesssysteme, Messmikroskope, industrielle Mikroskope und Profilprojektoren neue Standards für die Qualitätsüberprüfung, selbst für kleinste Messobjekte. CNC Videomesssysteme Messmikroskope Profilprojektoren Autokollimatoren Digitale Messtaster Software 18
Digitaler Überprüfungsprozess Digitales Mikroskop ShuttlePix P-400R Ein handgeführtes Mikroskop mit der Mobilität und der Handhabung einer Digitalkamera Das ShuttlePix 400R ist eine revolutionäre Weiterentwicklung der Mikroskopie. Ein handgeführtes Mikroskop versetzt Sie in die Lage, überall Bilder aufzunehmen, selbst an Orten, an denen der Einsatz Einblicke mithilfe Röntgen- und eines Mikroskops bisher unvorstellbar war. Das ShuttlePix ist mit einer Nikon-Optik ausgestattet, die höchste Bildschärfe garantiert und die Bequemlichkeit einer Digitalkamera bietet. Mit dem CT-Technik 20-fachen optischen Zoom, einer bis zu 400-fachen Vergrößerung und der 4-segmentigen LED-Ringbeleuchtung können äußerst detailtreue Bilder unter allen Lichtverhältnissen geliefert werden. Und das ist nicht alles! Sie können das ShuttlePix Mikroskop auch als digitales Tischsystem einsetzen. Das tragbare Mikroskop wurde für verschiedenste industrielle Anwendungen konzipiert, bei denen eine präzise Industrielle Messinstrumente Bildaufzeichnung und -prüfung gefragt ist, ohne das Muster bewegen zu müssen. Zielen und Aufnehmen in- und außerhalb geschlossener Räume - Anwendungen unabhängig von Lichtbedingungen • Industrieteile und Werkstoffe • Pipelines und Konstruktionen • Auto-, Boots- und Flugzeugmotoren sowie Fahrwerke Merkmale • Elektronik Produktionsintegrierte Messtechnik • 20- bis 400-facher Zoombereich über niedrige bis hohe • Pressteile Vergrößerungsstufen (20-facher optischer Zoom) • Restaurierung und Konservierung von Kunstgegenständen • Integrierte 4-segmentige LED-Ringbeleuchtung • Forensische Forschung • Verwendung als Tischsystem mit motorisierter Z-Achse und Mikroskopsteuerung per Touch Panel • Stativ mit motorisierter Z-Achse und integriertem Controller für Verwandte Produkte die Erstellung von tiefenscharfen Bildern (EDF) • Speicherung von Bildern im TIFF und JPEG Format über • Motorisierte Z-Achse USB-Anschluss oder SD-Karte • Verschiedene Objektträger erhältlich (verschiebbare, kippbare etc.) • Vollständiges Zubehörset • Touch Panel Monitor Vorteile Traditionelle Messlösungen • Scharfe Bilder mit einem Klick im Innen- und Außenbereich, gleich unter welchen Lichtverhältnissen • Ergonomisches , handgeführtes Mikroskop in Nikon Optik- Qualität • Mehrzweckgerät für den Einsatz im Außenbereich und Labor • Betrieb des ShuttlePix ohne spezielle Vorkenntnisse oder Erfahrungen in der Mikroskopie • Eine spezielle Anwendungssoftware unterstützt die grafische Analyse und Berichterstellung Dynamische Messlösungen Motorisierte Z-Achse für tiefenscharfe Bilder und Touch Panel Mikroskop Steuerung Metall Wandriss Leiterplatte Gemälde 19
iNEXIV VMA-2520 Multi-Sensor CNC Videomesssystem Das iNEXIV VMA-2520 System zeichnet sich durch sein leichtes Gewicht und seine Multi-Sensor-Funktionalität aus und ermöglicht schnelle, vollautomatisierte und hochgenaue Merkmalsmessungen. Das System wird für zahlreiche industrielle Mess-, Inspektions- und Qualitätsanwendungen eingesetzt. Das iNEXIV wurde konstruiert, um 3D-Objekte messen zu können. Es ist mit einer Tasteraufnahmevorrichtung ausgestattet und nutzt die neueste Bildverarbeitungssoftware. Das System verfügt über ein äußerst genaues optisches 10-fach Zoomsystem und einem optionalen Laser-Autofokus. Die standardmäßige 10-fach Zoomoptik verbindet die industriellen Anforderungen bezüglich hervorragender Auflösung bei hoher Vergrößerung sowie einem großen Sichtfeld bei kleiner Vergrößerung. Verzeichnungsarme Optik und leistungsstarke weiße LED Beleuchtung erhöhen den Kontrast und sorgen für einen zuverlässigen Messdurchlauf. Dieser Aufbau garantiert reproduzierbare Messergebnisse, auch für farbige Messobjekte. Anwendungsbereiche • Mechanische Werkstücke (wie z.B. Komponenten aus Metall und Spritzgussteile) • Elektronische Baugruppen • Spritzgussformen • Medizinprodukte Die Multi-Sensor-Funktionalität ermöglicht die Messung von komplizierten Verwandte Produkte 3D-Messobjekten. • NEXIV VMR Videomesssystem • VMA AutoMeasure Software Merkmale • Platzsparendes System mit geringem Gewicht (72 kg) • XY Verfahrweg 250 x 200 mm und 200 mm Z Verfahrweg • Fortschrittliche VMA AutoMeasure Software • Schneller und hochgenauer Laser Autofokus (Option) • Multi-Sensor-Funktionalität: Bildverarbeitung, Laser und taktiles Messsystem Vorteile • Erzielung einer hohen Genauigkeit durch weiße LED Beleuchtung und dem Einsatz von aluminiumlegierten Materialien in der Konstruktion iNEXIV VMA-2520 des Systems • Schnelle und präzise Messtischsteuerung ermöglicht die Erhöhung des Messdurchsatzes • Neue Zoomoptik vereinfacht 3D-Messungen • Fortschrittliche Bildverarbeitungsalgorithmen und intelligente Suchfunktionen Video Autofokus Aluminium Gussteil 20
Digitaler Überprüfungsprozess NEXIV VMR Serie Hervorragende Optik in Kombination mit hochpräziser, automatisierter Bildverarbeitung Nikon bietet eine umfangreiche Serie von NEXIV Videomesssystemen. Jedes System zeichnet sich durch Nikons weltbekannte optische Qualität und robustes Design für hochpräzise Messaufgaben aus. Einblicke mithilfe Röntgen- und Das automatisierte NEXIV Videomesssystem deckt kleine bis große Messbereiche ab und bietet eine Vielzahl an optischen Konfigurationen. CT-Technik Industrielle Messinstrumente Das äußere Ringlicht vergrößert den Anwendungsbereich. Merkmale • Verschiedene Modellvarianten bieten Genauigkeiten im Submikronbereich • Die Submikrongenauigkeit wird durch die robuste Systemkonstruktion in Verbindung mit dem Produktionsintegrierte Messtechnik Hochvergrößerungsmodul VMR-Z120X, welches einen achtstufigen Zoom mit max. 120-facher Vergrößerung bietet, erzielt. • Fortschrittliche VMR AutoMeasure Software • Schneller und hochgenauer Laser Autofokus FPC (flexible Leiterplatte) • Optionale 3D-Oberflächenanalysesoftware, Zahnradmessmodul, Echtzeit SPC Software und Drehachse Anwendungsbereiche Vorteile • Mechanische Werkstücke (wie z.B. bearbeitete, gegossene, gestanzte, geätzte und gespritzte Komponenten) • Große Auswahl an Messtischgrößen (bis zu 1.200 x 720 mm) • Elektronikbauteile (wie z.B. MEMS, Prüfkarten, SMD, PCB, • Intelligente Suchfunktion für hohe Produktivität Steckverbinder) • Exzellente Kantenerkennung durch fortschrittliche • Halbleiter Packaging und fortschrittliche Packaging Technologien Kantenmesswerkzeuge und Nikon eigener (wie z.B. Wafer-Level CSP, Flipchip) Kantendetektionsalgorithmen (zum Patent angemeldet) Traditionelle Messlösungen • LCD- und Flachbildschirm – Komponenten • Schnelle und präzise Messtischsteuerung ermöglicht die • Hochgenaue Stanz- und Presswerkzeuge Erhöhung des Messdurchsatzes • Medizinprodukte Verwandte Produkte NEXIV VMR Systeme sind in verschiedenen Messtischgrößen erhältlich: • Nexiv vmr-1515 (150x150mm) • Nexiv vmr-3020 (300x200mm) • Nexiv vmr-6555 (650x550mm) Dynamische Messlösungen • Nexiv vmr-10080 (1000x800mm) • Nexiv vmr-12072 (1200x720mm) Große NEXIV VMR Systeme bieten Messtische mit Verfahrwegen bis zu 1.200 x 720 mm. Sie werden eingesetzt für das Messen von Leiterplattenstrukturen und großflächigen Komponenten wie Flachbildschirmen. 21
Messmikroskope der Modellreihen MM-800/400/200 Messmikroskope verbinden digitale Bilderfassung und industrielle Messtechnologie Nikon’s Messmikroskope sind leistungsstarke, benutzerfreundliche Systeme und bieten einen hohen Grad an Flexibilität zur Aufrüstung und Erweiterung. Die MM-400/800 Serie liefert komplette digitale Kontrolle für ein Maximum an Messgenauigkeit in einem stetig in den Anforderungen wachsenden industriellen Umfeld. Messmikroskope sind hervorragend zur Inspektion und Messung von kleinen 2D- und 3D-Messobjekten geeignet. Das MM-200 ist ein kompaktes und leichtgewichtiges Messmikroskop und wird zu einem optimalen Preis-/ Leistungsverhältnis angeboten. Prüflinge aus den verschiedensten Industriebereichen, ob aus Metall oder Kunststoff sowie Elektronikbauteile werden mit Präzision und Genauigkeit gemessen. Das Messmikroskop wird dabei hauptsächlich in der Automobil- und Elektronikindustrie eingesetzt. MM-800 Messmikroskope PGA (Pin Grid Array) Bildergebnis eines optimal CCD Zahnrad ausgeleuchteten Sichtfelds Anwendungsbereiche Merkmale • Lab-on-a-Chip • Integration von digitalen Kameras sowie der Messsoftware • MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) E-Max aus dem Hause Nikon möglich • Kunststofffertigung (z. B. beim Spritzgussverfahren) • Leistungsstarke, weiße LED Beleuchtung als Standard für ein • Medizinische Komponenten optimal ausgeleuchtetes Sichtfeld • Mikroelektronik und Optoelektronik • Integrierte Schnittstelle vereinfacht die automatisierte • Micro Tooling Beleuchtung, XY- und Z-Verfahrweg werden durch die Software • Oberflächenanalyse E-Max, die auf einem externen PC betrieben wird, gesteuert • Bruch- und Fehleranalyse • Optionaler TTL Laser-Autofokus • Messtische sind bis zu einer Größe von 300 x 200 mm für Verwandte Produkte größere Prüflinge erhältlich • NEXIV und iNEXIV Videomesssystem • Industrielle Mikroskope Vorteile • Herausragende geometrische Datenverarbeitung und –sicherung • Benutzerfreundlichkeit wird durch verschiedene motorisierte Kontrollfunktionen und dem ergonomischen Design gewährleistet • Ein verstärkter Korpus kann größere Messtische aufnehmen • Erweitertes Sichtfeld durch den Einsatz von verschiedenen optionalen Beleuchtungs- und Lichtquellenoptionen • Optional ist ein vollständig motorisiertes Hochleistungs- Messmikroskop mit digitalen Bildverarbeitungsfunktionen erhältlich MM-200 MM-400 22
Digitaler Überprüfungsprozess Industrielle Mikroskope der Baureihe Eclipse Industrielle Mikroskope – Optische und technologische Innovation der Spitzenklasse Nikon Metrology verfügt über eine umfangreiche Produktpalette an industriellen Mikroskopen für vielfältige Anwendungsbereiche. Die Palette reicht von Modellen in Grundausstattung bis zu äußerst hoch entwickelten Systemen für High-End-Prüfungen. Die Baureihe Eclipse bietet optische und digitale Einblicke mithilfe Röntgen- und Mikroskope und zeichnet sich durch die vielseitigen Einsatzmöglichkeiten, seine Leistungsfähigkeit und Produktivität aus. Die Eclipse Modellreihe ist in der Lage, annähernd jede Prüfaufgabe zu lösen. Merkmale CT-Technik • Alle gängigen Kontrastverfahren erhältlich (Auflicht: Hellfeld, Dunkelfeld, Polarisation, Nomarski DIC, Fluoreszenz; Durchlicht: Hellfeld, Dunkelfeld, Polarisation, Phasenkontrast, DIC, quantitative und qualitative Polarisation) • Aufrechte oder inverse Mikroskopstative • Außererordentliche Ergonomie für komfortable Betrachtung durch den Einsatz von geneigten Mikroskop-Tuben, leicht zugängliche Bedienelemente, elektrostatischer Schutz, Vibrationsisolierung etc. • Die renommierte CFI60 Optik aus dem Hause Nikon sorgt für optimale Auflösung und Kontrast Industrielle Messinstrumente und bietet durch große Arbeitsabstände Bedienerfreundlichkeit auf höchstem Niveau. Eclipse LV150 Eclipse L300 Mikroskopserie für die Prüfung von großvolumigen LCDs und Wafern Konfiguriert für 300mm Wafer- und Maskeninspektion, erfüllt die Eclipse L300 Serie die Anforderungen für die Endkontrolle von Flachbildschirmen. Die L300 Baureihe ist mit der hauseigenen Nikon CIF60 Optik ausgestattet und bietet höchste Auflösung und Kontrast sowie bestmögliche Transmission. Eclipse L200 Mikroskopserie für die Prüfung von 200mm Wafern und Masken In Verbindung mit dem überlegenen optischen System, CIF60 LU/L, aus dem Hause Nikon und dem neuesten Beleuchtungssystem, bieten die Mikroskope dieser Baureihe hellere Bilder mit einem größeren Kontrast. Die L200 Serie ist besonders für die Inspektion von Wafern, Produktionsintegrierte Messtechnik Photomasken und Substraten geeignet. Eclipse LV150 Serie - Mikroskope für industrielle Prüfanwendungen Die Eclipse LV150 Mikroskopserie wird u. a. zur Prüfung von Halbleitern, Packaging, Flach- bildschirmen, elektronischen Substraten und medizinischen Geräten eingesetzt. Eclipse L300 Eclipse LV100D Die Eclipse LV100 Serie bietet unübertroffene Optik und Ergonomie Die Mikroskope der Baureihe Eclipse sind dafür bekannt, dass sie ein äußerst scharfes Bild mit einem hohen Kontrast bieten. Das LV100 liefert hellere Bilder und zeichnet sich durch seinen geringen Platzbedarf und niedrigen Stromverbrauch aus. Durch den Einsatz einer 50W Lampe ist die Gefahr der Wärmeentwicklung wesentlich geringer. Dabei ist die Hellig- keit dieser Lampe äquivalent zu einer herkömmlichen 100W Lampe. Eclipse MA200 Ein inverses, metallurgisches Mikroskop, welches für digitale Bildgebung und ergonomische Ef- Traditionelle Messlösungen fizienz optimiert wurde. Seine einzigartige Boxenkonstruktion ermöglicht es, dass alle wichtigen Elemente leicht zugänglich sind: Der Prüfling auf dem Messtisch, der Objektivrevolver, die Filter und Schieber. Das System benötigt etwa 1/3 weniger Aufstellfläche als ein herkömmliches Modell. Eclipse MA200 AZ100 Multizoom Stereomikroskope der Baureihe SMZ Die Zoom Stereomikroskope aus dem Hause Nikon bieten eine große Auswahl an verschie- densten Zoombereichen. Die in Modulbauweise konzipierten Mikroskope zeichnen sich durch eine hohe Bedienerfreundlichkeit und einer hochleistungsfähigen Optik aus. Verwandte Produkte • LV UDM / AZ 100 Einstiegsmodell für grundlegende optische Inspektion Dynamische Messlösungen • Modulbauweise, erweiterbar mit zahlreichem Zubehör wie z.B. verschiedene Kontrastverfahren, Linsen, Messtischen, Wafer Loadern, ganz auf die Bedürfnisse der Messaufgabe zugeschnitten LV-UDM SMZ 800/1000 • Spezielle Mikroskopvarianten für spezifische Inspektionsaufgaben sind erhältlich (Polarisation und metallurgische Nutzung) • Optional sind motorisierte Objektivwechselrevolver und digitale Bildbearbeitung verfügbar 23
Das NeoScope – das leistungsstarke Table Top REM Die Einfachheit optischer Mikroskopie und die Leistung eines Rasterelektronenmikroskops (REM) in einem System Das NeoScope zeichnet sich durch die hohe Vergrößerung und Schärfentiefe eines REMs aus, ist aber dabei in der Bedienung so einfach wie eine Digitalkamera! Das NeoScope liefert Bilder von Proben und Werkstücken, die mit einem optischen Mikroskop nicht möglich sind. Damit sind Sie in der Lage, schnell Untersuchungen durchzuführen, die Sie früher gar nicht machen konnten oder die Sie viel Zeit gekostet haben. Das NeoScope ist durch viele hilfreiche Automatisierungsfunktionen (Fokus, Kontrast, Bildoptimierung u.v.m.) äußerst einfach in der Anwendung. Eine spezielle Probenvorbereitung wird meist nicht benötigt. NeoScope REM Haben Sie häufig die gleichen Objekte zu betrachten, genügt ein Knopfdruck und das REM stellt automatisch die nötigen Parameter ein. Das NeoScope arbeitet sowohl im Hoch- als auch im Niedrigvakuum. Für die verschiedensten Anforderungen können Sie zwischen drei Beschleunigungsspannungen wählen. Weiterhin zeichnet sich das System durch seine riesige Probenkammer aus. Damit sind Sie in der Lage Proben mit 70 mm Durchmesser und 50 mm Höhe anzuschauen. Wahlweise können Sie auch spezielle Spalt- / Kieselalgen Schaumstoff Zusatzmodule einbringen oder mehrere kleine Proben auf einmal untersuchen. Der Vergrößerungsbereich beträgt 10x – 40.000x. Sowohl für technische als auch für biologische Präparate wird das NeoScope eingesetzt. Ein Rückstreu- und ein Sekundärelektronen Detektor erlauben größtmögliche Flexibilität. Das System kann im Hoch- als auch im Niedrigvakuum betrieben werden und verfügt über drei Beschleunigungsspannungen (5, 10 und 15 kV). Durch die automatischen Einstellungen ist die Bedienung so einfach wie bei einer digitalen Sucherkamera (Point and Shoot). Der erfahrene Anwender kann aber auch manuell eingreifen. 6B/6D Autokollimatoren Autokollimatoren in Hellfeld- und Dunkelfeld Ausführung zur Überprüfung von Ausrichtungen und Messwinkeln Die Autokollimatoren aus dem Hause Nikon Metrology messen und überprüfen die Parallelität von Endflächen, die Rechtwinkligkeit, Ebenheit oder Geradlinigkeit von Bewegungen. (Richtungsprüfungen) Die Hellfeld-Ausführung bedient sich der hauseigenen Nikon Optik, um Oberflächendetails zu beleuchten. Anwendungsbereiche • Gradheitsmessung der Bewegung von Werkzeugmaschinentischen • Winkel- und Schrittmessung von beweglichen Maschinenkomponenten • Ausrichtungs-Prüfung von Komponenten mit reflektierenden Autokollimator 6D/6B Oberflächen (Pick-Up Linsen von CD Playern etc. ) • Prüfung der Ebenheit von Oberflächen 24
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