Einladung und Programm - 23./24. Oktober 2018 Chemnitz Technische Universität Chemnitz - TU Chemnitz

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- Einladung und Programm -

     23./24. Oktober 2018 Chemnitz

            Technische Universität Chemnitz
  Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik

      Angewandte Mikroelektronik Chemnitz e.V.

Förderverein für Gerätetechnik und Mikrosystemtechnik
                    Chemnitz e.V.
Vorwort
Mikrosystemtechnik – der Name ist Programm: Extrem minia-
turisierte Funktions- und Formelemente in Kombination mit ver-
schiedenen Wirkprinzipien, neuen Materialien, Technologien,
Signalverarbeitungs- und Ansteuertechniken haben mit neuar-
tigen Sensoren, Aktoren und intelligenten Systemen den Markt
erobert. Die rasante Entwicklung hält seit vielen Jahren an. Ne-
ben Mikromechanik und Mikroelektronik sind Mikrofluidik und
Mikrooptik wichtige Segmente.
Die Reihe der Chemnitzer Fachtagungen startete 1992, im Jahr
2018 findet sie zum 14. Male statt. Das Interesse am Wissens-
austausch mit Fachkollegen ist unverändert groß. Deshalb soll
diese Tagung den Spezialisten von Mikromechanik und Mikro-
elektronik wieder eine Gelegenheit bieten, sowohl den wissen-
schaftlichen Meinungsaustausch als auch Kontakte pflegen zu
können. Die Organisation der Tagung ermöglicht es, sich über
Entwicklungen und Forschungsergebnisse beider Gebiete der
Mikrosystemtechnik zu informieren. Das Zentrum für Mikrotech-
nologien der TU Chemnitz (ZfM) sowie Fraunhofer ENAS sind
als Kompetenzzentren in die Tagung involviert.
Das Programm umfasst neben den eingeladenen Vorträgen
zahlreiche Fachvorträge, eine Postersession und eine Firmen-
präsentation. Um die ausstellenden Firmen in engen Kontakt mit
dem fachkundigen Publikum zu bringen, haben die Firmen im
Rahmen einer Extrasession wieder die Gelegenheit, im Audito-
rium auf sich und ihre Produkte hinzuweisen sowie Eindrücke
von neuen Mikro-Produkten und ihrer Leistungsfähigkeit zu ver-
mitteln. Darüber hinaus begleitet die Ausstellung der Firmen die
Tagung während der gesamten Dauer.
Die Veranstaltung am Abend des 23. Oktober findet im Säch-
sischen Eisenbahnmuseum Chemnitz statt, dem größten noch
funktionstüchtigen Dampflok-Bahnbetriebswerk Europas. Es
zeigt anhand seiner Ausstellungsstücke und zahlreicher illus-
trierter Dokumente anschaulich die Entwicklung des Bahn-
verkehrs im 20. Jahrhundert. Der Fokus liegt dabei auf der
Königlich-Sächsischen Staatseisenbahn und der Deutschen
Reichsbahn in der Region Chemnitz.
Der anschließende Empfang bietet reichlich Gelegenheit zum
Fachsimpeln.
Wir laden Sie herzlich ein, am 23. und 24. Oktober 2018 nach
Chemnitz zu kommen.
       Prof. Dr. J. Mehner        Prof. Dr. G. Herrmann
                    Organisationskomitee

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Organisation
Programmkomitee:
C. Dittrich		           AMAC GmbH, Chemnitz
A. Foitzik		            TH Wildau
G. Gerlach		            TU Dresden
U. Heinkel		            TU Chemnitz
K. Hiller		             TU Chemnitz
M. Hoffmann		           Ruhr-Universität Bochum
L. Kroll		              TU Chemnitz
F. Lärmer		             Robert Bosch GmbH, Stuttgart
J. Mehner		             TU Chemnitz
B. Michel		             Fraunhofer ENAS, Chemnitz
T. Otto		               TU Chemnitz und
		                      Fraunhofer ENAS, Chemnitz
D. Reuter		             TU Chemnitz
A. Richter		            TU Dresden
P. Schneider		          Fraunhofer IIS EAS, Dresden
U. Schwarz		            X-FAB GmbH, Erfurt

Organisationskomitee:
Prof. J. Mehner, Dr. M. Dienel
Tel.: +49 (0)371 531 24430; Fax: +49 (0)371 531 24439

Prof. G. Herrmann
Tel.: +49 (0)371 531 24310; Fax: +49 (0)371 531 24319

Frau Dr. M. Vogel, Firmenpräsentation
Tel.: +49 (0)371 45001 203, Fax: 49 (0)371 45001 303

Adresse:
Technische Universität Chemnitz
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
z.Hd. Dr. M. Dienel
09107 Chemnitz

e-mail: marco.dienel@etit.tu-chemnitz.de
http://www.tu-chemnitz.de/etit/mst

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Träger
Technische Universität Chemnitz,
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Verein „Angewandte Mikroelektronik Chemnitz e. V.“
(AMEC)
Förderverein für Gerätetechnik und Mikrosystemtechnik
Chemnitz e. V.

Themenkreise und Veranstaltungen
Dienstag, 23. Oktober 2018
•   Eröffnungssession 1. Tag
•   Session 1: Sensoren und Anwendungen (1)
•   Session 2: Werkstoffe, Material, Grundlagen
•   Firmenpräsentation
•   Session 3: Fabrikation, Technologie, Prozesstechnik
•   Session 4: Entwurf, Simulation, Optimierung
•   Session 5: Aktuatoren
•   Abendveranstaltung im
    Sächsischen Eisenbahnmuseum Chemnitz
Mittwoch, 24. Oktober 2018
•   Begrüßung 2. Tag
•   Workshop ENAS
•   Session 6: Medizintechnik und Analytik
•   Session 7: Sensoren und Anwendungen (2)

Tagungsort
Dorint Kongress Hotel Chemnitz,
Brückenstr. 19, D-09111 Chemnitz
www.dorint.com/chemnitz

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Dienstag, 23. Oktober 2018
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    Zeit                                                     Eröffnungssession 1. Tag
    9.00             Begrüßung der Teilnehmer durch den Dekan der Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
                                                          Prof. Dr. Jan Mehner
    9.05                                          Eröffnung durch den Rektor der TU Chemnitz
                                                            Prof. Dr. Gerd Strohmeier
    9.20                                                  ASIC Entwicklung für MEMS
                                        – Eingeladener Vortrag – Dr. Dirk Droste, Bosch Sensortec, Dresden
    Zeit    Beitrag                                       Session 1: Sensoren und Anwendung (1)
    9.50      S1-1      Entwicklung von Schwingungssensoren auf MEMS-Basis für Condition Monitoring Systeme im Maschi-
                        nen- und Anlagenbau. Kürschner, R.; Streit, P.; Meinecke, C.; Forke, R.; Reuter, D.; Kreutziger, P.; Dittrich, C.;
                        AMAC GmbH, Chemnitz; Technische Universität Chemnitz, Chemnitz; Fraunhofer ENAS, Chemnitz
    10.10     S1-2      GMR/TMR Magnetfeldsensoren für industrielle Anwendungen. Matthes, P.; Fraunhofer ENAS, Chemnitz
    10.30     S1-3      Low power nvSRAM based transponder architecture with re-configurable non-volatile memory for Micro-
                        systems. Günther, S.; Grätz, H.; Anvo-Systems Dresden GmbH, Dresden; Fraunhofer IPMS, Dresden
    10.50     S1-4      Infrarot-Mikrospektrometer auf der Basis eines mikromechanischen Fabry-Pérot-Filters für tragbare,
                        Ex-geschützte Gas-Warngeräte. Mutschall, D.; Ebermann, M.; Neumann, N.; Krage, R.; Gorek, M.; InfraTec
                        GmbH, Dresden; GfG, Gesellschaft für Gerätebau mbH, Dortmund
     11.10 – 11.30                                       Kaffee und Beginn der Posterpräsentation
                                Die im Foyer aufgestellten Poster können währen der gesamten Tagungszeit besichtigt werden.
Dienstag, 23. Oktober 2018
    Zeit     Beitrag                                  Session 2: Werkstoffe, Material, Grundlagen
    11.30     S2-1     Von der Gestaltung von Kraftwirkungen im Mikro- und Nanobereich bis zur „Aufhebung“ der Schwerkraft.
                       Michel, B.; Michel, M.; Fraunhofer Institut ENAS, Chemnitz und Berlin; IBM Deutschland Research, Boeblingen;
                       Coinn GmbH, Chemnitz
    11.50     S2-2     Accelerated Vibrational Fatigue Testing of Thin Metal Films at Different Temperatures. Osipova, V.; Wun-
                       derle, B.; Technische Universität Chemnitz, Chemnitz
    12.10     S2-3     MEMS based tensile load device for in situ TEM measurements on failure behaviour of carbon nanotubes
                       embedded in metals. Jöhrmann, N.; Hartmann, S.; Bonitz, J.; MacArthur, K.; Hermann, S.; Schulz, S. E.; Wun-
                       derle, B.; Technische Universität Chemnitz, Chemnitz; Ernst Ruska-Centrum, Forschungszentrum Jülich GmbH,
                       Jülich; Fraunhofer ENAS, Chemnitz
     12.30 – 12.45                                                Firmenpräsentation
                       Die ausstellenden Firmen und ihre Produkte werden kurz vorgestellt und es wird auf ihre Stände hingewiesen.
                       Vogel, Martina; Fraunhofer ENAS, Chemnitz
     12.45 – 13.40                                                       Mittag
     13.40 – 14.10                                          Lithographie heute und morgen
                                      – Eingeladener Vortrag – Dr. Dirk Tenholte, Carl Zeiss SMT GmbH, Oberkochen
    Zeit     Beitrag                             Session 3: Fabrikation, Technologie, Prozesstechnik
    14.10     S3-1     Flow Through Micro-Reactor via Injection Moulding. Schütze, F.; Santo, L.; Foitzik, A. H.; Technische Hoch-
                       schule Wildau, Wildau; Universita degli Studi di Roma, Tor Vergata
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Dienstag, 23. Oktober 2018
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    Zeit     Beitrag                   Session 3: Fabrikation, Technologie, Prozesstechnik (Fortsetzung von S. 5)
    14.30     S3-2     Mikro- und Nanotechnologien zur Herstellung steuerbarer optischer Komponenten. Hiller, K.; Helke, C.;
                       Seifert, M.; Seiler, J.; Kurth, S.; Meinig, M.; Wecker, J.; Technische Universität Chemnitz, Chemnitz; Fraunhofer
                       ENAS, Chemnitz
    14.50     S3-3     Advanced Ion Beam Trimming Technologies for Newly Developing MEMS-Applications. Dunger, T.; Schul-
                       ze, C.; Nestler, M.; Zeuner, M.; scia Systems GmbH, Chemnitz
     15.10 – 15.30                                                          Kaffee
    Zeit     Beitrag                                   Session 4: Entwurf, Simulation, Optimierung
    15.30     S4-1     Bemerkungen zu Bewertungs- und Optimierungskriterien. Woschni, E.-G.; privat
    15.50     S4-2     Mechanische Modellierung von CNT-Polymer-Kompositen mittels FEM. Schiebold, M.; Mehner, J. E.; Tech-
                       nische Universtität Chemnitz, Chemnitz
    16.10     S4-3     Konzeptentwurf mikromechanischer Systeme mit Hilfe automatisierter, ordnungsreduzierter Modellgene-
                       rierung. Kriebel, D.; Schmidt, H.; Freitag, M.; Mehner, J. E.; Technische Universtität Chemnitz, Chemnitz
Dienstag, 23. Oktober 2018
    Zeit    Beitrag                                               Session 5: Aktuatoren
    16.30    S5-1     Motorisierung eines Drahtbondpulltesters. Gau, G.; Sturzebecher, S.; Giske, M.; Stoltenberg, H.; Foitzik, A.
                      H.; Technische Hochschule Wildau, Wildau; Prignitz Mikrosystemtechnik GmbH, Wittenberge
    16.50    S5-2     Designkonzepte von Piezo-Antrieben für Mikroextruder. Großelindemann, N.; Engels, A.; Schlegel, V.; Ja-
                      cobs, H.; Zinn, S.; Foitzik, A. H.; Technische Hochschule Wildau,Wildau
    17.10    S5-3     Thermomechanische Charakterisierung von PEEK-Folien für elektrothermische Aktoren. Nakic, C.; Lel-
                      linger, D.; Feige, H.-J.; Vogel, J.; Schlaak, H. F.; Technische Universität Darmstadt, Darmstadt; Fraunhofer LBF,
                      Darmstadt; Westsächsische Hochschule Zwickau, Zwickau
     ab                                 Veranstaltung im Sächsischen Eisenbahnmuseum Chemnitz
    18.00
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MIttwoch, 24. Oktober 2018
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    Zeit                                                               2. Tag
    9.00                                                   Begrüßung der Teilnehmer
                                                            Prof. Dr. Göran Herrmann
                                                       Chemnitzer Seminar des Fraunhofer ENAS
    Zeit    Beitrag
                          „Nano Material Integration for Electronics and Sensor Technology – Ready for Industrial Applications?!“
    9.05              Integrierte Kohlenstoffnanoröhren und deren Anwendungen. Hermann, Sascha; Zentrum für Mikrotechnolo-
                      gien, Technische Universität Chemnitz
     9.35 – 12.05     Die Integration von Nanomaterialien in Mikrosysteme hat in den letzten Jahren eine eigenständige Dynamik
                      innerhalb des Forschungsgebietes der mikro- und nanoelektromechanischen Systeme entwickelt. In diesem in-
                      ternational besetzten Symposium werden Teilnehmer aus Industrie und angewandter Forschung das spannende
                      Themenfeld für hochaktuelle elektronische und sensorische Anwendungen aus Forschungs- und Anwendersicht
                      in Kurzvorträgen darstellen.
                      Das Programm umfasst Beiträge von Micro-Hybrid Electronic GmbH, IHP-Microelectronics, Life-Science-Incuba-
                      tor, NAWA Technologies, Infratek, Fraunhofer ENAS Chemnitz und weiteren Firmen.
                      Adressierte Themen:
                      •   Wafer-level Technologien für Kohlenstoffnanoröhren und Anwendungen in Elektronik und Sensorik
                      •   Nanostrukturen für MEMS-IR-Strahlungsquellen und -Sensoren
                      •   Energiespeicher auf Basis von Kohlenstoffnanoröhren
                      •   Fortschritte bei der Integration von Graphen in Elektronik
                      •   Skalierung von Herstellungsprozessen für spezielle einwandige Kohlenstoffnanoröhren und deren Anwendungen
Mittwoch, 24. Oktober 2018
    Zeit     Beitrag                        Chemnitzer Seminar des Fraunhofer ENAS (Fortsetzung von S. 8)
       zwischen                                                       Kaffee
    9.35 und 12.05         Posterpräsentation zum Thema Nanokompetenz am ENAS/ZfM (Nanotechnologieplattform, Packaging,
                                                      Magnetsensorik, Quantendots, Simulation)
     12.05 – 13.05                                                         Mittag
    Zeit     Beitrag                                     Session 6: Medizintechnik und Analytik
    13.05     S6-1     CareLab – Adaptives Pflegelabor Göppingen. Kaz, T.; Hiller, J.; Colin, R.; Töpfer, H.; Würslin, R.; Institut für
                       Angewandte Forschung (IAF) Göppingen, Göppingen
    13.25     S6-2     3D-Sprühvorrichtung – Apparatur zur 3D-Besprühung und Testung antimikrobieller Aktivität von Mate-
                       rialoberflächen. Kaz, T.; Hiller, J.; Colin, R.; Töpfer, H.; Institut für Angewandte Forschung (IAF) Göppingen,
                       Göppingen
    13.45     S6-3     Optimierung der Fertigungsstrategien für einen mikrofluidischen Bioreaktor. Jokisch, P.; Böhme, A.; Zinn,
                       S.; Jacobs, H.; Foitzik, A. H.; Technische Hochschule Wildau, Wildau
    14.05     S6-4     Entwicklung eines miniaturisierten Mischers für Blutproben. Ehrhardt, T.; Zinn, S.; Foitzik, A. H.; Technische
                       Hochschule Wildau, Wildau
     14.25 – 14.45                                                         Kaffee
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Mittwoch, 24. Oktober 2018
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     Zeit    Beitrag                                     Session 7: Sensoren und Anwendung (2)
     14.45    S7-1     PIGDISC: Entwicklung einer Sensordisc für Schweine. Wolf, P.; Müller-Blumhagen, S.; Technische Univer-
                       stität Chemnitz, Chemnitz
     14.20    S7-2     Technologie zur Herstellung von nanostrukturierten Netzwerken für biomolekularbetriebene Computer.
                       Meinecke, C.; Korten, T.; Heldt, G.; Reuter, D.; Diez, S.; Schulz, S. E.; Technische Universität Chemnitz, Chem-
                       nitz; Fraunhofer ENAS, Chemnitz; Technische Universität Dresden, Dresden
     14.40    S7-3     Metamaterial based Sensor Approach for Passive Structural Health Monitoring of Lightweight Structures.
                       Großmann, T. D.; Decker, R.; Hartwig, M.; Heinrich, M.; Kurth, S.; Otto, T.; Kroll, L.; Baumann, R. R.; Technische
                       Universität Chemnitz, Chemnitz; Fraunhofer IWU, Chemnitz; Fraunhofer ENAS, Chemnitz
     16.30                                                   Ende der Veranstaltung
Beitrag                                                        Posterbeiträge
       P1      Entwicklung eines Prozesses für das Entfernen von SiO2-Monolagen mittels Fluorkohlenstoff. Dittmar, N.; Küchler,
               M.; Meinecke, C.; Reuter, D.; Otto, T.; Technische Universität Chemnitz, Chemnitz; Fraunhofer Institut ENAS, Chemnitz
       P2      UMG – Universal Medical Gateway. Kaz, T.; Hiller, J.; Colin, R.; Töpfer, H.; Würslin, R.; Institut für Angewandte Forschung
               (IAF) Göppingen, Göppingen
       P3      Licht Navigation. Kaz, T.; Hiller, J.; Colin, R.; Töpfer, H.; Würslin, R.; Institut für Angewandte Forschung (IAF) Göppingen,
               Göppingen
       P4      Analytische und numerische Simulationsmethoden zur mechanischen Charakterisierung polymerbasierter Mikro-
               cantilevern. Schönfeld, M.; Heimburger, R.; Saupe, J.; Schubert, S.; Grimm, J.; Westsächsische Hochschule Zwickau,
               Zwickau
       P5      Herstellung polymerbasierter Mikrocantilever für Hochgeschwindigkeitsanwendungen. Heimburger, R.; Schubert, S.;
               Schönfeld, M.; Grimm, J.; Westsächsische Hochschule Zwickau, Zwickau
       P6      Thermal characteristics of flat heaters made of aluminum with nanoporous anodic aluminum oxide. Lushpa, N.
               V.; Macherko, D. A.; Chernyakova, K. V.; Vrublevsky, I. A.; Belarusian state university of informatics and radioelectronics,
               Minsk, Belarus
       P7      Temperaturregelung zur Anwendung in 3D-Druckern. Stenglein, A.; Engels, A.; Schlegel, V.; Foitzik, A. H.; Technische
               Hochschule Wildau,Wildau
       P8      3D Druck Werkzeug-Inlays für Mikrospritzgießen. Jacobs, H.; Zinn, S.; Foitzik, A. H.;               Technische Hochschule
               Wildau,Wildau
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     Beitrag                                                       Posterbeiträge
       P9      3D Printing Rapid Tooling für Mikrobauteile. Strauch, J.; Gau, G.; Welzel, F.; Böhme, A.; Foitzik, A. H.; Technische Hoch-
               schule Wildau,Wildau
      P10      Diodenprüfung mittels Arduino μ-Controller. Welzel, F.; Foitzik, A. H.; Technische Hochschule Wildau,Wildau
      P11      Waferlevel bonding with oxide based integrated reactive multilayer systems. Vogel, K.; Hertel, S.; Roscher, F.; Zim-
               mermann, S.; Wiemer, M.; Fraunhofer ENAS, Chemnitz; Technische Universität Chemnitz, Chemnitz
      P12      4-Kanal-Empfänger-Sendermodul mit Betriebsfrequenz 36 GHz in Hybriddesign. Schulgov, V.; Gusinski, A.; Belarusi-
               an state university of informatics and radioelectronics, Minsk, Belarus
Allgemeine Hinweise
Tagungsbüro
Das Tagungsbüro befindet sich bis zum 22. Oktober beim Orga-
nisationskomitee, am 23./24. Oktober am Tagungsort.
Öffnungszeiten während der Tagung:
Dienstag      23. Oktober 2018    8.00 bis 17.30 Uhr
Mittwoch      24. Oktober 2018    8.00 bis 17.00 Uhr
Telefon-Nr. während der Tagung: +49 (0)371 / 531 33256
Anmeldung
Bitte senden Sie Ihre verbindliche Teilnahmeerklärung entweder
per Email oder als Fax mit dem im Programmheft enthaltenen
Formular bis zum 24.9.2018 an das Tagungsbüro.
Teilnahmegebühr (in EUR)
                                            Anmel-    Anmel-
                                             dung      dung
                                            bis zum    nach
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                                                       24.9.

 normal                                     380,-    410,-
                                            285,-*   315,-*
 ermäßigt (Angehörige von Universitäten,    320,-    350,-
 Hoch- und Fachschulen)                     240,-*   270,-*
 Studenten, Wehr- und Ersatzdienstleis-     200,-   230,-
 tende                                      150,-* 180,-*
 Referenten, Posteraussteller (je Beitrag   270,-    300,-
 nur 1 Person)                              200,-*   230,-*
 angemeldete Firmenaussteller                 gesondert
                                              vereinbart

* … Gebühr für eintägige Teilnahme

Die Tagungsgebühr umfasst neben der Pausenversorgung auch
Mittagessen, die Teilnahme an der Abendveranstaltung und die
Tagungsbeiträge (USB-Stick).
Sie ist auf das Konto des Fördervereins für Gerätetechnik und
Mikrosystemtechnik Chemnitz e. V. bei der Volksbank Chemnitz
einzuzahlen:

IBAN: DE72 8709 6214 0300 0088 52, BIC: GENODEF1CH1
Verwendungszweck: „MST 2018, Rechnungsnummer, Name,
Einrichtung“

Den Einzahlungsbeleg legen Sie bitte bei der Anmeldung im Ta-
gungsbüro vor. In Ausnahmefällen kann die Teilnahmegebühr
im Tagungsbüro in bar zuzüglich einer Bearbeitungsgebühr von
EUR 5,- entrichtet werden.

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Übernachtung
Für die Übernachtung in der Zeit vom 22.10.18 zum 24.10.18
wird im Dorint Kongress Hotel Chemnitz bis zum 10.9.18 zu
Sonderkonditionen ein Kontingent von 25 Zimmern vorgehalten.
Reservierungswünsche nach dem 10.9. sind möglich, können
aber nur entsprechend der Auslastung berücksichtigt werden.
Sollten Sie eher anreisen/später abreisen wollen als am 22.
bzw. 24.10., nehmen Sie bitte Rücksprache mit dem Hotel.
Zimmerpreise (Kontigent):
Komfort-Einzelzimmer:     EUR      71,-
Standard-Einzelzimmer: EUR         61,-

Die angegebenen Preise verstehen sich pro Zimmer und Nacht,
inkl. Frühstück und Mehrwertsteuer sowie je nach Kategorie
weiteren Leistungen/Angeboten, die Sie bei Interesse bitte beim
Hotel erfragen.
Reservierung unter dem Stichwort „MST2018“ und Bezahlung
nehmen Sie bitte selbst direkt im Hotel vor:
Dorint Kongresshotel Chemnitz, Brückenstr. 19,
D-09111 Chemnitz
Tel.: +49 (0)371 683 0
FAX: +49 (0)371 683 505
e-mail: info.chemnitz@dorint.com
http://www.dorint.com/chemnitz

Verkehrsverbindungen
Anreise mit PKW:
Das Hotel bietet die Möglichkeit (je nach Verfügbarkeit), den
Parkplatz vor dem Haus gegen eine Gebühr zu nutzen, darüber
hinaus stehen auch die Tiefgarage in der Galerie Roter Turm
sowie das Parkhaus Galerie Roter Turm zur Verfügung. Die Re-
zeption ist Ihnen gern bei Fragen behilflich.
Anreise mit Bahn:
Zielbahnhof: Chemnitz Hbf, weiter mit der Straßenbahn, Linie 3
oder 4 bis zur Haltestelle Roter Turm.
Weitere Informationen zu Hotels, Verkehrsverbindungen sowie
zu Chemnitz im allgemeinen und zur Universität/zur Fakultät für
Elektrotechnik und Informationstechnik im besonderen erhalten
Sie auch von der Homepage der TU Chemnitz im WWW über
die URL www.tu-chemnitz.de

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Ich nehme an der 14. Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik – Mikromechanik & Mikroelektronik – vom 23. bis 24. Oktober 2018
     im Dorint Kongresshotel Chemnitz teil. Teilnahme an der Abendveranstaltung im Sächsischen Eisenbahnmuseum Chemnitz: Ja / Nein
     Name: _____________________________________________________________________________________________________

     Vorname: ______________________________              Titel: ____________________________________________________________

     Institution/Firma: _____________________________________________________________________________________________

     Straße: _____________________________________________________________________________________________________

     Postleitzahl, Ort: _____________________________________________________________________________________________

     Tel.: __________________________________             Fax: __________________________________

     E-Mail: _____________________________________________________________________________________________________

     Datum: __________________________________ Unterschrift: _______________________________________________________

     Diese Angaben werden in die Teilnehmerliste übernommen, die allen Teilnehmern ausgehändigt wird.
     Bitte für jeden Teilnehmer eine Anmeldekarte ausfüllen, bei weiteren Teilnehmern bitte Kopien verwenden.
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Sie können auch lesen