NOVION Bedienungsanleitung - Vakuumsensor - Wir liefern Zukunft - VACOM
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NOVION®
DE
Bedienungsanleitung
Vakuumsensor
Version 2019:1.1, Stand: 29.06.2021
Wir liefern Zukunft.
2 NOVION® Bedienungsanleitung 08 /2021
Inhaltsverzeichnis
1. Sicherheit..........................................................................................................................5
1.1 Allgemeine Sicherheitshinweise.............................................................................5
1.2 Verwendete Sicherheitssymbole............................................................................5
1.3 Gewährleistung / Garantie......................................................................................6
1.4 CE Konformitätserklärung......................................................................................7
2. Gerätebeschreibung.........................................................................................................8
2.1 Produktbeschreibung............................................................................................8
2.2 Bestimmungsgemäße Verwendung.......................................................................8
2.3 Technische Daten..................................................................................................9
3. Inbetriebnahme............................................................................................................... 12
3.1 Auspacken / Lieferumfang.................................................................................... 12
3.2 Vakuumanschluss................................................................................................ 13
3.3 Elektrischer Anschluss......................................................................................... 15
3.3.1 NOVION® Betriebsgerät (Rückseite)..................................................................... 15
3.3.2 Quickstart............................................................................................................ 15
3.3.3 LED Statuscodes................................................................................................. 18
3.3.4 Herstellung der Stromversorgung........................................................................ 18
3.3.5 Herstellung der Datenverbindung (Kabel)............................................................. 19
3.3.6 Herstellung der Datenverbindung (Bluetooth).......................................................20
3.4 Software Installation.............................................................................................21
3.5 Quickstart (Software NOVION® Viewer)................................................................22
4. Betrieb.............................................................................................................................25
4.1 Betriebsmodi.......................................................................................................25
4.2 Messmodi...........................................................................................................25
4.3 Bedienung NOVION® Viewer................................................................................26
4.4 Bedienung NOVION® Protokoll.............................................................................26
5. Troubleshooting..............................................................................................................27
5.1 Fehlermeldungen.................................................................................................27
6. Serice / Wartung..............................................................................................................28
6.1 Betriebshinweise..................................................................................................28
6.2 Kalibrierung Massenspektrum.............................................................................29
7. Demontage......................................................................................................................33
7.1 Deinstallation.......................................................................................................33
7.2 Einsenden an VACOM.........................................................................................34
NOVION® Bedienungsanleitung 08 /2021 3
Sicherheit
1. Sicherheit
1.1 Allgemeine Sicherheitshinweise
Bitte lesen Sie vor der Verwendung des Gerätes sorgfältig den Inhalt dieses Dokuments.
Beachten Sie bei der Verwendung des Gerätes die in diesem Dokument aufgeführten Sicherheitshinweise.
Beachten Sie bei der Verwendung des Gerätes die für Ihre Vakuumanwendung geltenden Vorschriften
und Schutzmaßnahmen. Sämtliche in dieser Anleitung aufgeführten Tätigkeiten dürfen nur durch
entsprechend ausgebildetes und geschultes Fachpersonal durchgeführt werden.
Berücksichtigen Sie vor der Verwendung des Gerätes mögliche Wechselwirkungen mit den eingesetzten
Prozessmedien infolge der Eigenerwärmung des Gerätes. (insbes. Explosion)
Berücksichtigen Sie vor der Verwendung des Gerätes eine mögliche Kontamination des Gerätes durch
die eingesetzten Prozessmedien.
1.2 Verwendete Sicherheitssymbole
Nachfolgend erläuterte Sicherheits- und Hinweissymbole werden in dieser Bedienungsanleitung verwendet:
Warnung!
Gefahr von Personenschäden
Achtung!
Gefahr von Schäden an Gerät oder Anlage
Hinweis!
Allgemeiner Hinweis auf weitere Angaben bzw. Bezugsabschnitte und nützliche Informationen
4 NOVION® Bedienungsanleitung 08 /2021
1.3 Gewährleistung / Garantie
Für die einwandfreie Funktion des Geräts übernimmt VACOM eine Gewährleistung von einem Jahr.
Während dieser Zeit werden Material- und Herstellungsfehler kostenlos beseitigt.
Beschädigungen durch unsachgemäßen Gebrauch fallen nicht unter die Gewährleistung (dazu zählt
auch starke Kontamination oder übermäßige Beanspruchung des Sensors). (Beachte: Abschnitt
bestimmungsgemäße Verwendung)
VACOM übernimmt keine Garantie, falls durch den Anwender oder Drittpersonen am Gerät Änderungen
vorgenommen werden, welche über die in diesem Dokument aufgeführten Arbeiten hinausgehen.
Die Rücksendung erfolgt zu Lasten des Kunden in der Originalverpackung.
VACOM behält sich die Entscheidung über Ersatz oder Nachbesserung nach Prüfung in unserem Haus
vor.
NOVION® Bedienungsanleitung 08 /2021 5
1.4 CE Konformitätserklärung 6 NOVION® Bedienungsanleitung 08 /2021
Gerätebeschreibung
2. Gerätebeschreibung
2.1 Produktbeschreibung
Das NOVION® ermöglicht eine Weitbereichsdruckmessung von 1 × 10-11 mbar bis 1000 mbar (Atmosphärendruck)
sowie die Detektion von Helium und Restgasanalysefunktion von Massezahl 1 bis 300. Durch die Nutzung einer
neuartigen Ionenfalle werden zahlreiche Funktionen in einem kompakten Sensor zusammengeführt.
Im Totaldruckbereich 1000 mbar (Atmosphärendruck) bis 5 × 10-3 mbar kommt ein Wärmeleitungssensor (Pirani)
zur Bestimmung des Parameters Totaldruck zum Einsatz.
Im Totaldruckbereich 5 × 10-3 ... 1 × 10-11 mbar kommt ein Heißkathodenionisationssensor zur Bestimmung der
Parameter Totaldruck und Partialdruck Helium sowie zur Restgasanalyse zum Einsatz. Bei diesem Sensor werden
Elektronen mittels beheizter Filamente emittiert. Mithilfe der so erzeugten Elektronen werden Gasteilchen im
Messvolumen stoßionisiert und in einer Ionenfalle gesammelt. Die gesammelten Ionen werden dann zu einem
Faraday Cup beschleunigt und mittels Flugzeit (time-of-flight) - Analyse ausgewertet. Aus den ermittelten Daten
werden die Parameter Totalduck und Partialdruck im Messvolumen ermittelt. Die Umschaltung zwischen den
Messprinzipien erfolgt vollautomatisch.
Die Versorgungsspannungen für Wärmeleitungssensor und Heißkathodensensor werden von dem am Gerät
befindlichen Betriebsgerät bereitgestellt. Das Betriebsgerät erzeugt weiterhin die benötigten Ausgangssignale
und Schnittstellen für eine Darstellung der gemessenen Parameter auf einer externen Anzeige bzw. auf einem
externen Rechner.
NOVION® zeichnet sich durch einen großen Funktionsumfang und eine intuitiv bedienbare Software aus.
Traditionelle Vakuumsensoren zur Totaldruckmessung und Restgasanalyse werden durch das kompakte und
kostengünstige NOVION® abgelöst.
2.2 Bestimmungsgemäße Verwendung
Das Gerät dient ausschließlich zur Druckmessung von nicht entzündbaren Gasen und Gasgemischen in einer
Vakuumanlage im Druckbereich von 1 × 10-11 … 1000 mbar. Es darf nur an dafür vorgesehene Komponenten
angeschlossen werden.
NOVION® Bedienungsanleitung 08 /2021 7
2.3 Technische Daten
Allgemeine Informationen
• Elektronenstoßionisation
• Elektrostatische Ionenfalle
Prinzipien der Messung
• Flugzeit (time-of-flight) - Spektroskopie
• Wärmeleitung (Pirani)
Vakuumanschluss KF 25 / CF40
Filamente 2 x Iridium, Yttriumoxid-beschichtet
Edelstahl, Gold, Yttriumoxid auf Iridium, Glas, Kupfer, Aluminiumoxid,
Materialen im Vakuum
Platin
Beliebig für Druck < 10 mbar
Einbaulage
Lageabhängige Druckanzeige für Druck > 10 mbar
Betriebstemperatur 10°C … 45°C
Luftfeuchte ≤85% (nicht kondensierend)
80°C am Flansch (mit Betriebsgerät)
max. Ausheiztemperatur
200°C (ohne Betriebsgerät)
Sensorkopf: ca. 1 kg
Gewicht
Betriebsgerät: ca. 0,76 kg
Abmessungen 260 x 73 x 66 mm (mit Betriebsgerät)
(H x B x T) 100 x 73 x 66 mm (ohne Betriebsgerät)
Totaldruckmessung
1 × 10-9… 1 × 105 Pa
Messbereich 1 × 10-11… 1000 mbar
7.5 × 10-12… 750 Torr
± 25 % vom Messwert (für p = 1 × 10-3…1 × 10+1 mbar)
Genauigkeit
± 15 % vom Messwert (für p = 1 × 10-7…1 × 10-5 mbar)
Reproduzierbarkeit ± 10 % vom Messwert (für p = 1 × 10-8…1 × 10-2 mbar)
Wiederholrate Einstellbar bis 250 ms
Gasartabhängige Druckanzeige ja
Helium Leckdetektion
< 0.05% Totaldruck (für p = 1 × 10-6 … 1 × 10-3 mbar)
Minimaler detektierbarer Partial-
< 0.5% Totaldruck (für p = 1 × 10-7 … 1 × 10-6 mbar)
druck von Helium
< 1% Totaldruck (für p = 1 × 10-8 … 1 × 10-7 mbar)
[% Totaldruck]
< 10% Totaldruck (für p = 1 × 10-10 … 1 × 10-8 mbar)
5 x 10-9 … 5x10-6 mbar.l / s (für p = 1 x 10-6 … 1 x 10-3 mbar)
Minimale detektierbare Helium-
5 x 10-9 mbar.l / s (für p = 1 x 10-7 … 1 x 10-6 mbar)
Leckrate .
1 x 10 mbar l / s
-9
(für p = 1 x 10-8 … 1 x 10-7mbar)
für SHe = 10 / s .
1 x 10 mbar l / s
-10
(für p = 1 x 10-10 … 1 x 10-8 mbar)
8 NOVION® Bedienungsanleitung 08 /2021
Partialdruckmessung
Restgasanalysefunktion ja
Massenbereich 1 … 300 amu
< 1 (für 1 … 5 amu)
< 10 (für 10 … 50 amu)
Massen-Auflösung r < 20 (für 50 … 100 amu)
< 50 (für 100 … 300 amu)
Minimal detektierbarer Partial-
0.1% Totaldruck*
druck leichter Gase
(*Abhängig von Totaldruck und Massenzahl)
bis 40 amu
Minimal detektierbarer Partial- 0.1% Totaldruck*
druck der Summe schwerer
Gase 45 … 300 amu (*Abhängig von Totaldruck und Massenzahl)
Betriebsgerät
RJ45-Buchse:
- digital In / Out: RS232/RS485 (VACOM Protokoll)
Schnittstellen - analog Out: 0…10 V, max. 20mA
Bluetooth 2.0 (VACOM Protokoll)
Spannungsversorgung 24 VDC ± 10%, 30 W
Display nicht vorhanden
Schutzklasse IP 50
Schaltpunkte nicht vorhanden
Upgrade via Firmware ja
Verbindung zum Sensorkopf Stecker mit Feststellmutter
Software
NOVION® Viewer
Kompatible Software
(kostenloser Download von vacom.de/downloads/software)
Anzeige von Zeitverläufen verschiedener Gase und Gaszusammensetzungen
Untersuchung aller aufgenommenen Spektren
Analyse-Möglichkeiten
Vergleich aufgenommener Spektren
Div. Exportmöglichkeiten
Helium-Leckdetektion Einfache Helium-Leckdetektion mit akustischem Signal
Autospeicherfunktion
Speichern/Laden
Speichern/Laden/Pausieren/Fortsetzen von Aufzeichnungen
2 GHz Prozessor
2 GB RAM
Systemanforderungen 2 GB Speicherplatz auf der Festplatte
OS: Windows 7/10
.Net Framework: Version 4.7.2
NOVION® Bedienungsanleitung 08 /2021 9
Inbetriebnahme
3 Inbetriebnahme
3.1 Auspacken / Lieferumfang
Lieferumfang:
1 Sensorkopf
2 Betriebsgerät
3 Netzteil 24VDC
4 PC-Anschlusskabel RJ45 mit Adapter auf Sub-D9
5 Adapter Sub-D9 auf USB
6 Adapter CF40 / KF25
Überprüfen Sie vor dem Öffnen die Verpackung auf äußere, sichtbare Schäden. Packen Sie alle Komponenten
aus.
Bewahren Sie das Verpackungsmaterial auf, denn Voraussetzung für Garantieansprüche ist die Rücksendung
des Geräts in der Originalverpackung des Herstellers.
Überprüfen Sie die Lieferung auf Vollständigkeit.
Überprüfen Sie die Komponenten auf visuelle Schäden.
Bei Feststellung von Schäden schicken Sie eine Schadensmeldung an den Spediteur und informieren Sie den
Hersteller.
10 NOVION® Bedienungsanleitung 08 /20213.2 Vakuumanschluss
Zur Installation des NOVION® an einer Vakuumanlage sind folgende Arbeitsschritte auszuführen:
Warnung!
Überdruck in der Vakuumanlage kann zu Verletzung durch umherfliegende Teile führen.
Die Vakuumanlage nur bei Atmosphärendruck 1 bar öffnen.
Achtung!
Achten Sie auf Sauberkeit beim Umgang mit Vakuumkomponenten.
Schmutz und Beschädigung können die Funktion des Vakuumflanschanschlusses und des
Sensorelements beeinträchtigen.
1. Sensorkopf-Schutzkappe öffnen.
2. (bei CF40 Flanschverbindung) Dichtring aufsetzen.
3. Mechanische Verbindung zur Vakuumanlage
herstellen und sichern. Bei CF-Flanschverbindung
Schrauben im Uhrzeigersinn anziehen.
NOVION® Bedienungsanleitung 08 /2021 114. Betriebsgerät aufstecken. Dabei auf korrekte
Ausrichtung der Pins zur Buchse achten.
5. Schraubverbindung festziehen
Warnung!
Schalten Sie das Betriebsgerät erst ein, wenn es mit dem Sensorkopf verbunden ist, da
sonst ggf. gefährliche Spannungen zugänglich sind.
Achtung!
Schalten Sie das Betriebsgerät erst ein, wenn es mit dem Sensorkopf verbunden ist, da
sonst ggf. das Betriebsgerät beschädigt wird.
3.3 Elektrischer Anschluss
3.3.1 NOVION® Betriebsgerät (Rückseite)
Nummer Funktion
1 Buchse Stromversorgung
2 Buchse Input / Output
3 Power-LED grün
4 Status-LED rot
5 Bluetooth-Status-LED
12 NOVION® Bedienungsanleitung 08 /20213.3.2 Quickstart
Warnung!
Schalten Sie das Betriebsgerät erst ein, wenn es mit dem Sensorkopf verbunden ist, da
sonst ggf. gefährliche Spannungen zugänglich sind.
Achtung!
Das mitgelieferte RJ45-Anschlusskabel darf PC-seitig nicht mit einer Ethernet-Buchse
verbunden werden. Falscher Anschluss und nicht zulässige Spannungen können das NOVION®-
Betriebsgerät beschädigen.
1. Verbinden Sie die Input-/ Output-Buchse (2) mit
einem Ende des mitgelieferten RJ45 Kabels.
2. Verbinden Sie das andere Ende des RJ45-Kabels
mit dem mitgelieferten RJ45-/ SUB-D9-Adapter.
RJ45 Kabel nicht mit Ethernet
Buchse am PC verbinden!
3. Verbinden Sie den SUB-D9-Anschluss mit Ihrem
PC (alternativ RS232- zu USB-Adapter – siehe
Zubehör).
4. Verbinden Sie das mitgelieferte Tischnetzteil mit
einem Kaltgerätekabel.
5. Verbinden Sie das Kaltgerätekabel mit dem
Stromnetz.
6. Das Gerät startet.
NOVION® Bedienungsanleitung 08 /2021 13Einschaltprozedur
Sobald das Gerät mit Strom versorgt wird, beginnt der Startvorgang. Dabei vollzieht das Gerät einen Selbsttest
und prüft unter anderem, ob ein Sensorkopf angeschlossen ist. Das Gerät durchläuft dabei unterschiedliche
Betriebszustände, welche auf den LEDs (Power und Status) abgebildet werden. Ebenso werden die Zustände
in der NOVION®-VIEWER Software (falls verbunden) dargestellt. Der Ablauf einer normalen Startsequenz ist wie
folgt:
Zustand Zeit [s] LED LED Sta- LED Blue- NOVION-VIE- Bedeutung
Power tus tooth WER
Power On 3…5 Aus 1 x Blink An NO-COMM Controller-Initialisierung
/ Reset
Standby 1…3 Blinkt Aus - Prüfung Spannungs-
/ Power versorgung Module
Check
Standby
Starting 10 … 30 Leuchtet Blinkt - Module werden
Up initialisiert / Selbsttest
Start
Ready - Leuchtet Aus - Gerät ist betriebsbereit
Bereit
Während des Startvorgangs klicken die Filament-Schaltrelais mehrfach. Dabei werden Vorhandensein sowie
Zustand der Filamente ermittelt.
3.3.3 LED Statuscodes
Die Status-LEDs (3 / 4 / 5) bilden den aktuellen Betriebszustand des Geräts ab. Folgende Betriebszustände
können über die LEDs visualisiert werden:
Zustand LED Power LED Status LED Bluetooth Bedeutung
Standby Blinkt Aus - Gerät befindet sich im Standby.
Starting Up An Blinkt - Gerät startet.
Ready An Aus - Gerät ist bereit zur Messung.
Minor Error Aus Blinkt - Gerät hat einen Fehler. Die Funktion ist
eingeschränkt / unvollständig.
Major Error Aus An - Gerät hat schwerwiegenden Fehler. Funktion
nicht gegeben. Alle Module abgeschaltet.
Firmware Blinkt Blinkt - Ein Firmware Update wird durchgeführt.
Update
Bluetooth Di- - - Blinkt Gerät ist nicht mit Bluetooth verbunden.
sconnected
Bluetooth - - An Gerät ist per Bluetooth verbunden.
Connected
Bluetooth - - Aus Bluetoothmodul ist deaktiviert.
Deactivated
14 NOVION® Bedienungsanleitung 08 /20213.3.4 Herstellung der Stromversorgung
Zur Inbetriebnahme muss die Stromversorgung sichergestellt werden. Zu diesem Zweck muss zuerst das
mitgelieferte Steckernetzteil mit der Stromanschluss-Buchse (1) verbunden werden und anschließend wird mit
Hilfe eines Kaltgerätekabels das Steckernetzteil mit dem Stromnetz verbunden. Alternativ ist es möglich, bereits
vorhandene 24 Volt Gleichspannungsquellen zu verwenden, um die Stromversorgung zu gewährleisten. Dafür
wird ein Adapter benötigt. Die Spannungsversorgungsbuchse (1) verfügt über die folgende Beschaltung:
Kontakt Parameter
(+) - 23 Volt bis 25 VDC
- 30 Watt
(-) - GND
- Muss geerdet werden
Bei der Verwendung eigener Stromquellen ist stets darauf zu achten, dass die Mindestanforderungen für die
Betriebsspannung und Leistung der Quelle eingehalten werden. Ebenso muss diese Quelle geerdet sein.
3.3.5 Herstellung der Datenverbindung (Kabel)
Zur Kommunikation und zum Datenaustausch mit dem Gerät befindet sich auf der Rückseite des NOVION®-
Betriebsgerätes ein Input-/ Output-Connector in Form einer RJ45-Buchse. Die Funktion der Kontakte dieser
Buchse ist in nachfolgender Abbildung erklärt. Die Buchse wird über das mitgelieferte RJ45-Anschlusskabel
sowie den mitgelieferten RJ45-/ Sub-D9-Adapter mit einem PC verbunden.
Achtung!
Das mitgelieferte RJ45-Anschlusskabel darf PC-seitig nicht mit einer Ethernet-Buchse
verbunden werden. Falscher Anschluss und nicht zulässige Spannungen können das NOVION®
Betriebsgerät beschädigen.
Input / Output Buchse Signalbelegung
Pin Funktion
1 RS485 A
2 RS485 B
3 Not Connected
4 RS232 RxD
5 RS232 TxD
6 GND
7 Analog Out
8 Analog GND
NOVION® Bedienungsanleitung 08 /2021 15Bei Auslieferung ist immer die RS232-Schnittstelle aktiv. Bei vorhandener Bluetooth-Option kann diese ebenfalls
genutzt werden. RS485 muss entweder über RS232- oder Bluetooth-Verbindung aktiviert werden. Die
Standardkonfiguration der RS232-Schnittstelle kann der folgenden Tabelle entnommen werden:
Parameter Wert
Baudrate 115200
Datenbits 8
Stopp Bits 1
Parity None
CTS Flow Control None
3.3.6 Herstellung der Datenverbindung (Bluetooth)
Hinweis!
Achtung, durch Aufbau einer Bluetooth-Verbindung wird eine aktive Kabelverbindung
getrennt.
Wenn Ihr NOVION®-Betriebsgerät über die Bluetooth-Option verfügt, ist es möglich, die Kommunikation kabellos
zu gewährleisten. Dazu muss das verwendete Endgerät ebenfalls über Bluetooth verfügen. Im Auslieferungszustand
ist die Bluetooth-Schnittstelle des NOVION®-Betriebsgerätes aktiviert und von anderen Geräten sichtbar. Vom
verwendeten Endgerät muss nach Bluetooth-Geräten gesucht werden. Sobald das NOVION®-Betriebsgerät in
der Liste der gefundenen Geräte sichtbar ist, kann die Kopplung erfolgen. Anschließend steht eine „virtuelle“
Serielle Schnittstelle (COM-Port) bereit. Die restliche Kommunikation erfolgt identisch zu den kabelgebundenen
seriellen Verbindungen.
Der Name, unter dem das Gerät in der Bluetooth-Umgebung gefunden wird entspricht dabei dem folgenden
Schema:
„NOVION-“ (Beispiel: NOVION-12345678)
3.4 Software Installation
Hinweis!
Bei Fragen oder Problemen bei der Softwareinstallation wenden Sie sich an Ihren System-
administrator.
Laden Sie die aktuelle Version der Installationsdateien der NOVION®-Viewer Software von der VACOM-Homepage
herunter (https://www.vacom.de/downloads/software)
Systemanforderungen: 2 GHz Prozessor
2 GB RAM
2 GB Speicherplatz auf der Festplatte
OS: Windows 7/10
.Net Framework: Version 4.7.2
Führen Sie als nächstes die „NOVION *.*.* Setup.exe“ aus.
(Doppelklick oder Rechtsklick->Öffnen) -> Benutzerinstallation
(Rechtsklick-> Als Administrator ausführen) -> Administrator-Installation
16 NOVION® Bedienungsanleitung 08 /2021Es erscheint folgendes Fenster:
Folgen Sie nun den Hinweisen des Installations-Assistenten, um die Installation abzuschließen.
Hinweis!
Wenn Sie die Benutzer-Installation durchführen und den Pfad ändern, achten Sie darauf,
dass Sie für den Ordner die nötigen Schreibberechtigungen besitzen!
3.5 Quickstart (Software NOVION®-Viewer)
NOVION®-Viewer über ausführbare Datei oder Desktopverknüpfung starten, um in die Start Ansicht des NOVION®
Viewer zu gelangen.
Verbindung zum NOVION®-Betriebsgerät aufbauen
COM-Port auswählen
NOVION® Bedienungsanleitung 08 /2021 17Verbindung aufbauen Verbindung hergestellt Die Verbindung wurde hergestellt und das NOVION®-Betriebsgerät befindet sich im Zustand „Bereit“. Es werden Daten vom Betriebsgerät empfangen. Datenaufnahme starten: Gewünschten Messmodus über entsprechende Schaltfläche aktivieren. Datenaufnahme über die „Messung starten“-Schaltfläche initialisieren. 18 NOVION® Bedienungsanleitung 08 /2021
Messmodus wechseln
Messung starten
NOVION® Bedienungsanleitung 08 /2021 19Betrieb
4 Betrieb
4.1 Betriebsmodi
Pirani Das NOVION® verfügt über einen integrierten Pirani-Sensor, der die Druckmessung
von Atmosphärendruck bis 1 x 10-3 mbar ermöglicht. Der Pirani-Sensor dient
ferner dem Schutz der Elektronenemitter (Filamente) vor Stoßbelüftungen.
Ionisie- Im Druckbereich unterhalb von 5 x 10-3 mbar ist der Ionisations-Modus verfügbar.
ren und Der Wechsel zwischen Pirani- und Ionisationsmodus erfolgt automatisch. Im
Sammeln Druckbereich von 1 x 10-3… 5 x 10-3 mbar ist auch eine manuelle Umschaltung
möglich.
Der Degas sollte regelmäßig durchgeführt werden und dient der Reinigung von
Degas Emittern und Sensorelementen mittels elektronenstimulierter Desorption. Die
Elektronenenergie wird dazu von 130eV auf 210eV erhöht und der Elektronen-
strom gesteigert. Der Degas kann mittels des NOVION ®-Viewers oder per
VACOM-Protokoll-Befehl gestartet werden.
4.2 Messmodi
Totaldruck Das NOVION® beginnt nach dem Start automatisch mit der Totaldruckmessung.
Für Drücke oberhalb von 5x10-3 mbar wird für die Druckmessung der Pirani-Modus
Messung genutzt. Für Drücke unterhalb von 1x10-3 mbar wird der Ionisations-Modus
genutzt.
Der Totaldruck wird vom NOVION® immer gemessen, auch wenn sich das Gerät
in einem anderen Messmodus befindet.
Helium-
Lecksuche Der Helium-Lecksuch-Modus kann zusätzlich zur Totaldruckmessung aktiviert
werden. Die Helium-Leckrate-Werte zeigen die relative Änderung des Helium-
Partialdrucks in der Vakuumkammer. Die Helium-Lecksuche ist im Ionisationsmodus
verfügbar und kann nicht parallel zur Restgasanalyse betrieben werden.
Restgas- Das NOVION® verfügt über die Möglichkeit, die Gaszusammensetzung in der
analyse Vakuumkammer zu untersuchen. Masse zu Ladungsverhältnis von 1 bis 300 m/Z
bzw. amu kann dabei untersucht werden. Die Restgasanalyse ist im Ionisations-
modus verfügbar und kann nicht parallel zur Helium-Lecksuche durchgeführt
werden.
20 NOVION® Bedienungsanleitung 08 /20214.3 Bedienung NOVION®-Viewer
Die kostenlose Software „NOVION-Viewer®“ erlaubt einen einfachen und intuitiven Zugang zu Ihrem
NOVION®. Alle wichtigen Funktionen des NOVION® sind grafisch aufbereitet. Erzeugte Daten können
gespeichert und exportiert werden.
Nähere Informationen zur NOVION-Viewer® Software sind der NOVION®-Software Bedienungs-
anleitung zu entnehmen.
Die aktuelle Version der Installationsdateien der NOVION-Viewer® Software und das Software-Manual
befinden sich im Download Bereich der VACOM Homepage (https://www.vacom.de/downloads).
4.4 Bedienung VACOM Protokoll
Das „VACOM-Protokoll“ stellt eine generische Programmierschnittstelle für den Endanwender bereit, die es
ermöglicht, eigene Applikationen zu implementieren. Ferner ist es auf diese Weise möglich, systemunabhängig
mit einem VACOM Gerät zu kommunizieren.
Sämtliche Mess- und Steuerungsfunktionen des NOVION® können über das VACOM-Protokoll adressiert werden.
Dies ermöglicht die Einbindung des NOVION® in Anlagensteuerungen sowie weitere Applikationen des Endan-
wenders.
Nähere Informationen zur Bedienung des NOVION® mittels VACOM-Protokoll sind der NOVION®-VACOM-
Protokoll Bedienungsanleitung zu entnehmen (https://www.vacom.de/downloads).
NOVION® Bedienungsanleitung 08 /2021 21Troubleshooting
5 Troubleshooting
5.1 Fehlermeldungen
Major Error:
Beschreibung:
LED Status: rote LED leuchtet dauerhaft, grüne ist aus
In der SW:
Lösung:
1. Überprüfe, ob beide Filamente durchgebrannt sind:
In NOVION®-Viewer Software:
EINSTELLUNGEN -> erweiterte EINSTELLUNGEN
i. Wenn beide Filamente OK
1. Neustarten
2. Wenn Fehler weiterhin vorhanden: Support kontaktieren
ii. Wenn genau ein Filament durchgebrannt ist und eines intakt
1. Neustarten
2. Wenn Fehler weiterhin vorhanden: Support kontaktieren
iii. Wenn beide Filamente durchgebrannt:
1. Filament Status zurücksetzen
2. Neustarten
3. Falls wieder MAJOR ERROR
a. Neuen Sensorkopf montieren
Minor Error:
Beschreibung:
LED Status: rote LED blinkt, grüne ist aus
Lösung: Support kontaktieren
22 NOVION® Bedienungsanleitung 08 /2021Service / Wartung
6 Service / Wartung
6.1 Betriebshinweise
Degas der Filamente
VACOM empfiehlt einen regelmäßigen DEGAS des aktiven Filaments durchzuführen. Insbesondere kann ein
DEGAS die Ausgasrate des Sensors verringern und die Lebensdauer des Filaments erhöhen! Die empfohlene
DEGAS-Dauer beträgt 10 min.
ACHTUNG: DEGAS der Filamente nur durchführen bei Kammerdruck unterhalb von 10-6 mbar.
Vakuum-Abgleich des Pirani
Achtung!
Pirani-Abgleich bei falschen Drücken kann zum Start des Ionisations-Modus bei unzulässigem
Druck führen und somit die Elektronenemitter (Filamente) beschädigen.
NOVION® führt automatisch Pirani-Vakuumabgleiche durch, wenn der Druck unterhalb von 5 × 10-5 mbar ist.
Daher sind Vakuumabgleiche nicht unbedingt nötig, wenn Drücke unterhalb von 5 × 10-5 mbar regelmäßig
angefahren und über längere Zeit gehalten werden.
ACHTUNG: Ein manueller Vakuum-Abgleich des Pirani sollte nur durchgeführt werden, wenn der Kammerdruck
unterhalb von 10-4 mbar ist.
Atmosphären-Abgleich des Pirani
Es wird empfohlen, einen regelmäßigen Atmosphären-Abgleich des Pirani durchzuführen.
Der Atmosphären-Abgleich des Pirani sollte wiederholt werden, wenn der Kammerdruck dem Umgebungsdruck
entspricht und das NOVION® einen Druck kleiner als 1000 mbar anzeigt.
Der Atmosphären-Abgleich des Pirani sollte wiederholt werden, wenn der Sensor in einer neuen Lage verbaut
wurde.
ACHTUNG: Der Atmosphären-Abgleich des Pirani sollte nur durchgeführt werden, wenn der Kammerdruck
dem Umgebungsdruck (Atmosphärendruck ca. 1000 mbar) entspricht.
NOVION® Bedienungsanleitung 08 /2021 236.2 Kalibrierung Massenspektrum
Hinweis!
Von VACOM ausgelieferte NOVION®-Sensoren sind werkskalibriert.
Eine erneute Kalibrierung muss nur durchgeführt werden, wenn die Massen
im Massenspektrum nicht korrekt angezeigt werden. Achtung: Durch eine vollständig ausge-
führte Neu-Kalibrierung wird die Werkskalibrierung unwiderruflich überschrieben.
Es ist möglich, die Massenspektrem von NOVION® schnell und einfach zu kalibrieren. Dazu dient das NOVION®
Calibration Tool. (VACOM-Homepage: Downloadbereich; wird zusammen mit Software NOVION®-Viewer installiert).
Vorbereitung Kalibrierung:
Hinweis!
Die Kalibrierung sollte nur von Fachpersonal mit entsprechender Ausbildung und Fachkenntnis
im Bereich Restgasanalyse durchgeführt werden!
Der Sensor muss sich für die Kalibrierung im Ionisations-Modus befinden, d.h. der aktuelle Totaldruck der
Vakuumanlage muss kleiner 5E-03 mbar (3,8E-03 Torr, 5E-01 Pa) sein. Es empfiehlt sich, die Kalibrierung bei
dem typisch verwendeten Arbeitsdruck durchzuführen.
Zur Durchführung der Kalibrierung des Massenspektrums muss die Zusammensetzung des Restgases in der
Vakuumanlage bekannt sein. Für ein optimales Ergebnis empfiehlt sich das Einlassen eines bekannten Gasgemisches,
insbesondere Kalibriergas.
Geeignete Peaks (Gase) für Kalibrierung:
o H, H2, He, N2, Ar, Kr, Xe
Bedingt geeignet für Kalibrierung:
o H20 (Überlappung / Verschiebung zu Masse 16 und 17)
o O2 bei viel N2 (Überlappung)
o CO2 bei viel Ar (Überlappung)
Überlappende Peaks können leicht versetzte Maxima haben und dadurch schlechte Ergebnisse liefern.
Ablauf Kalibrierung:
Achtung: Eine Verbindung zur NOVION®-Viewer Software oder Anlagensteuerung muss vorher getrennt
werden.
NOVION® Calibration Tool starten und über entsprechenden COM-Port Verbindung zum NOVION®-Sensor
aufbauen.
24 NOVION® Bedienungsanleitung 08 /2021Danach Schritte 1 bis 4 im NOVION® Calibration Tool durchführen:
Calibration Tool Oberfläche
1. Daten einlesen:
Klicken Sie auf „Start“. Das Rohspektrum wird eingelesen. Dies kann einige Minuten dauern.
2. Peak Finder:
Dieser Schritt besteht aus mehreren Teilen:
Restgas definieren
/
Die im Restgas zu erwartenden Gase müssen zuerst mit der zugehörigen Masse hinzugefügt werden.
Vordefinierte, aber im Restgas nicht enthaltene Gase müssen entfernt werden.
Anzahl Peaks definieren
Der Peakfinder sucht von größter zu kleinster Amplitude x Peaks, wobei x die Anzahl an eingestellten
maximalen Peaks (Maximum number of peaks) ist. Wählt man zu viele Peaks, wird das Bild stark unüber-
sichtlich. Wählt man zu wenige Peaks, kann es sein, dass kleine Peaks nicht markiert werden.
NOVION® Bedienungsanleitung 08 /2021 25Peaks im Spektrum ermitteln
Nach Klicken von „Start“ sucht der Peakfinder die eingestellte Anzahl von Peaks im Spektrum. Die vorher
definierten Gase werden automatisch grob zugeordnet („#“).
Die Zuordnung muss danach manuell korrigiert werden durch Klicken der Zahl „#“ des entsprechenden
Gases.
Bsp. Zuordnung Spektrum mit Peakzahl 30
Typ. Positionen bekannter Gase
Gas Masse [amu] Index ca.
H 1 260
H² 2 300
He 4 350
H²0 18 555
N2 28 650
O² 32 680
Ar 40 745
CO² 44 770
Kr 84 985
Xe 131 1210
Die gewählte Zuordnung kann im nächsten Schritt überprüft werden und gegebenenfalls erneut durch-
geführt werden.
1. Kalibrieren:
In diesem Schritt werden aus den identifizierten Gasen und deren Positionen die Kalibrierparameter
berechnet. Dies geschieht durch einen Fit. Die ermittelten Werte werden in diesem Schritt noch nicht in
der Elektronik gesetzt, die vorherigen Schritte können also zur Optimierung wiederholt werden. Klicken
Sie auf „Start“.
Die ermittelte Fitgerade wird im Plot dargestellt. Die ermittelten Gase sollten bei korrekter Zuordnung alle
auf der Fitgeraden liegen. Einzelne, abweichende Massen deuten auf eine falsche Zuordnung hin.
26 NOVION® Bedienungsanleitung 08 /2021Bsp. Korrekte Massenzuordnung
Die Qualität der Regression wird links oben über das Bestimmtheitsmaß „R squared“ angegeben. Dieser
Wert sollte über 99,9% liegen! Bei niedrigerem Wert ist entweder die Zuordnung von Gas zu Peak falsch
oder die definierten Gase entsprechen nicht den Restgasen in der Kammer. In diesem Fall: Schritte 2. und
3. wiederholen.
2. Kalibrierung speichern
Sobald das Ergebnis des Fits zufriedenstellend ist, können Sie die bestimmten Kalibrier-Parameter p0
und p1 auf das Betriebsgerät übertragen. Drücken Sie hierzu „Start“. Die ermittelten Werte werden in der
Elektronik hinterlegt und die alten Werte unwiderruflich überschrieben.
Eine erfolgreiche Kalibrierung der Peakpositionen sollte mittels RGA Messung in der NOVION®-Viewer
Software kontrolliert werden.
Wenn alle Schritte erfolgreich abgeschlossen wurden, ist auf dem Calibration Tool hinter jedem Punkt ein grünes
„OK“ zu lesen.
NOVION® Bedienungsanleitung 08 /2021 27Demontage
7 Demontage
7.1 Deinstallation
Warnung!
Überdruck in der Vakuumanlage kann zu Verletzung durch umherfliegende Teile führen.
Die Vakuumanlage nur bei Atmosphärendruck 1 bar öffnen.
Warnung!
Kontaminierte Teile können Gesundheits- und Umweltschäden verursachen.
Informieren Sie sich vor Öffnen der Anlage über mögliche Gesundheitsgefährdungen.
Warnung!
Schalten Sie das Betriebsgerät aus, bevor Sie es vom Sensorkopf trennen, da sonst ggf.
gefährliche Spannungen zugänglich sind.
Achtung!
Schalten Sie das Betriebsgerät aus, bevor Sie es vom Sensorkopf trennen, da sonst ggf.
das Betriebsgerät beschädigt wird.
Bitte befolgen Sie bei der Deinstallation / Demontage des Geräts folgende Reihenfolge:
1. Sämtliche in der Vakuumanlage ablaufenden Prozesse beenden
2. Vakuumanlage belüften
3. Gerät außer Betrieb nehmen
4. Elektrische Kabel / Anschlüsse vom Gerät entfernen
5. Vakuumanschluss öffnen und Gerät von der Vakuumanlage lösen
28 NOVION® Bedienungsanleitung 08 /20217.2 Einsenden an VACOM
Achtung!
Kontaminierte Teile können Umweltschäden verursachen.
Kontamination des Produktes:
Wenn das Gerät in Atmosphären mit Gesundheits- oder umweltgefährdenden Stoffen eingesetzt wurde, müssen
diese Stoffe beim Entsorger angegeben werden.
Im Falle einer Rücksendung des Sensors an die VACOM® Vakuum Komponenten & Messtechnik GmbH ist eine
rechtsverbindliche Erklärung über die Kontamination des Produktes durch eine fachkundige Person auszufüllen
und zu unterschreiben.
Die Kontaminationserklärung kann unter https://www.vacom.de/downloads/sonstige-dokumente herunterge-
laden werden. Ohne beiliegende Kontaminationserklärung wird eine Rücksendung nicht angenommen und
zurückgesendet.
NOVION® Bedienungsanleitung 08 /2021 29VACOM Vakuum Komponenten & Messtechnik GmbH
In den Brückenäckern 3 07751 Großlöbichau Germany
Tel. +49 3641 8734-0 Fax +49 3641 8734 499 info@vacom.de
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www.vacom-shop.de info@vacom.deSie können auch lesen
