(VP1) "Demonstratoranlage für die Produktoptimierung" - Jens Bliedtner, Andreas Hopf und Michael Seiler - VIPO

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(VP1) "Demonstratoranlage für die Produktoptimierung" - Jens Bliedtner, Andreas Hopf und Michael Seiler - VIPO
“Demonstratoranlage für die Produktoptimierung”
                    (VP1)
     Jens Bliedtner, Andreas Hopf und Michael Seiler
                Ernst-Abbe-Hochschule Jena
(VP1) "Demonstratoranlage für die Produktoptimierung" - Jens Bliedtner, Andreas Hopf und Michael Seiler - VIPO
Einleitung/Motivation
               Herausforderungen an optische Systeme der Lasermaterialbearbeitung
               (hohe Präzisionsanforderungen, dynamische Strahlablenkung, robuste Prozesse)
               Zwei Schwerpunkthemen

              Sublimationsschneiden höchster                                     Remote-Laserstrahlschweißen mit
              Präzision mit UKP-Laserstrahlung                                   Hochbrillanten Festkörperlasern

             Biopsiezange -Operationsinstrument                                   Schweißen einer Dachspitze 3-BMW

              Quelle: Bliedtner, J.; Müller, H.; Barz, A.: Lasermaterialbearbeitung. Carl Hanser Verlag. 2013
30.01.2020                                               vipo - Symposium 2020                                       2
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Aktuelle Probleme
             Fokuslageshift
             Strahllagedriften
             Zeitliche Fluktationen

        Reale Testergebnisse an einem aktuell
        eingesetzten Standard-Fokussierkopf

                                                     (Quelle: Marten et al. (2010). Qualifizierung von Fokussier-und Abbildungs-
                                                     systemen für die industrielle Laserbearbeitung mit brillanten Strahlquellen im
                                                     Multikilowattbereich. Laser-Anwenderforum Proc)

                                                                             Bohrungsdurchmesser 1µm
Änderung der Schweißnahtgeometrie im
Prozess (Reitemeyer, D. (2012). Stabilisierung der
Fokuslage beim Schweißen mit Faser-und
Scheibenlasern. BIAS.)                                                       Bohrungsabstände variieren
30.01.2020                                           vipo - Symposium 2020                                                    3
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Strahlführungselemente und Systemkomponenten

     Optische Komponenten und Systeme werden zumeist nur seriell betrachten
     Dadurch ganzheitliche Aussage zu Abbildungsfehlern, thermisches und
     halbleiterphysikalisches Verhalten nicht möglich

Optical Designs der Einzellinse mit Tolerierung                   Mechanisch Optisches Designs des Objektives mit
                                                                     Tolerierung

             Quelle: Bliedtner, J., & Gräfe, G. (2008). Optiktechnologie. Hanser Fachbuchverlag, Leipzig.
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Lösungsansatz und Zielstellung
Optiksimulation mit Multiphysik-Domänen-Kopplung am Beispiel von
   Lasermaterialbearbeitungsanlagen
- Technologien zur Erstellung, Validierung und Kalibrierung virtueller Produktmodelle
- Validierte Mehrdomänenmodelle
- Modelle zur Parameterkalibrierung
- Zusammenhangsmodelle reduzierter Komplexität für Produkte
- Modelle zur Mehrzieloptimierung.

  Quelle: Frau Kunath, Fa. Dynardo

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Prinzipdarstellung der Demonstratoranlage

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Demonstratoranlage - aktuell

Präzisionsmaschine:
-    Schnelle Galvanoantriebe: 15m/s
-    Achssysteme: Pos.-Genauigk.< 2 µm

UKP-Laser:
-    ps/fs-Laser: 532 nm
-    Mittl. Leistung: 20 W
-    Rep.rate: 20 MHz

Komponenten/I4.0-fähig:
-    Condition Monitoring System
-    Inline-Topografiemessung
-    Sensornetzwerk
-    Durchgängige Prozesskette
-    Strahlformung: Spatial Light Modulator
-    Machine integrated measurements        Quelle: Pulsar Photonic GmbH: Übergabedokumentation der
                                                Demonstratoranlage an die EAH Jena. 2019

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Demonstratoranlage - aktuell

 stabiler Granitaufbau
 und zweifachgeführter
 Strahlengang

                         © Pulsar Photonics GmbH

                         zahlreiche optische Komponenten
                         zur Strahlführung und
                         Strahlformung sowie
                         Komponenten der
                         Strahlüberwachung

                                 Bearbeitungsraum mit
                                 Werkzeugaufspannung

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Inline-messung der Strahlqualität sowie Strahllage und -
position                      Generieren von Messdaten für das Kalibrieren
                                                       des Modells
                                                       Datenreduktion auf Signifikanz
                                                       predictive maintenance

                © Pulsar Photonics GmbH

                                                                                  © Pulsar Photonics GmbH

                © Pulsar Photonics GmbH
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Strahlintensitätsverteilungen mit und ohne DOE
Scanlab Scanner HurryScan - Objektiv 100er Brennweite

                    DkeX: 30,1 µm                     DkeX: 68,5 µm
                    DkeY: 29,0 µm                     DkeY: 66,4 µm

             Gauß:                                   TopHat:
             X: 30,682 µm                            x: 68,508 µm
             Y: 29,044 µm                            y: 66,387 µm
             Mittel: 29,863 µm                       Mittel: 67,4475 µm

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Pulsbreitenmessung
     Typisches Verhalten
                                                               1800                                                                20

     • „Weiter“ Bereich                                        1600
             konstanter Leistung P                             1400
                                                                                                                                   19

                                                                                                                                         Gemessene Leistung P [W]
     •       Variierende Pulsdauer tp in
                                                               1200

                                           Pulsdauer tp [fs]
             Abhängigkeit von Position
             des Gitterkompressors                             1000
                                                                                                                                   18
             und Pulspicker                                     800
                                                                                                                tp (500 kHz)
                                                                600
     Leistungssensor für                                                                                        tp (2000 kHz)
                                                                                                                                   17
                                                                400
     Optimierung nicht                                                                                          P (500 kHz)
     ausreichend                                                200
                                                                                                                P (2000 kHz)
     Weitere Messmethoden                                         0                                                                 16
     notwendig                                                        0            1000         2000          3000              4000
                                                                                    Position Gitterkompressor [µm]
                                           Quelle: Seiler et al. Untersuchung zum Einfluss von Pulsdaueränderungen auf
                                           den Bearbeitungsprozess mittels einer online-Charakterisierungsmöglichkeit der
                                           Pulsqualität, 11. Jenaer Lasertagung, DVS-Berichte Band 346

30.01.2020                                                      vipo - Symposium 2020                                                11
Auf der Basis von nicht linearer Effizienz

        Direkte Messung von
        vier Laserkenngrößen
        •       Repetitionsrate
        •       Mittlere Leistung
        •       Position
        •       Nicht lineare Effizienz

                            Mittlere Leistung
                            Relative Spitzenenergie
                            Pulsqualität
                            Relative Pulsdauer
                            Strahl Pointing

© APE GmbH

   30.01.2020                                     vipo - Symposium 2020   12
Topografiemodul zur inline-Vermessung von Geometrie
und Strukturen

                                              © Pulsar Photonics GmbH

30.01.2020            vipo - Symposium 2020                      13
Anwendungsszenario

             Aufgabe: Bohrungen in eine Chromschicht auf Quarzglassubstrat
             Ziel: Durchmesservariation zwischen 1 µm und 100 µm (mit Single Pulse) mit
             einer Positioniergenauigkeit von 100 nm

                                                           Chromschicht
                                                           Quarzsubstrat

                                                                           ca. 2000 -3000
                                                                           Glasfasern
  © 2020 Zeiss-Planetarium Jena

30.01.2020                             vipo - Symposium 2020                                14
Zusammenarbeit

Partner im VP 1                           Assoziierte Partner

                                          -   Pulsar GmbH
                                          -   Jenoptik AG
                                          -   Ophir
                                          -   Scanlab

30.01.2020        vipo - Symposium 2020                     15
Vielen Dank für Ihre Aufmerksamkeit!

                                                                              Demonstratoraufbau
Quelle:
https://www.sternregister.de/sternbilder/sternbild-                           im Grundzustand
orion.php

30.01.2020                                            vipo - Symposium 2020                        16
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