MIKRO! Mikroelektronik / IKT in Sachsen - Silicon Saxony e. V.
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MIKRO! ORGANISCHE ELEKTRONIK·SOFTWARE·E ANALYTIK·MOBILFUNK·SMART SYSTEMS Mikroelektronik / IKT in Sachsen ALTKREISE·HARDWARE·ANALYTIK·MOBIL RT SYSTEMS·CHIPDESIGN·MATERIAL·MEM K·NANOTECHNOLOGIE·SCHALTKREISE· E·ORGANISCHE ELEKTRONIK·EQUIPMENT A LYTIK·MOBILFUNK·MEMS·SMART SYSTEM
Unternehmen 7 Ausbildung & Forschung 21 Netzwerke 27 Mikro- und Nanoelektronik 8 Ausbildung 22 Neue Materialien 11 Mikro- und Nanoelektronik 23 Nanotechnologie 12 Intelligente Kommunikation 24 Intelligente Kommunikation 13 MEMS / Smart Systems 25 MEMS / Smart Systems 13 Organische und Gedruckte Elektronik 25 Organische und Gedruckte Elektronik 14 Fortschrittliche Fertigungssysteme 16 Software, Hardware und IT 18
UNTERNEHMEN DER MIKROELEKTRONIK- / IkT-BRANCHE IN SACHSEN (AUSWAHL) Leipzig Dresden Chemnitz Quelle: Wirtschaftsförderung Sachsen GmbH, Silicon Saxony e. V.
Register der genannten Firmen & Institutionen Unternehmen/Institution Webadresse Unternehmen/Institution Webadresse Mikro- und Nanoelektronik Advanced Mask Technology Center GmbH & Co. KG (AMTC) www.amtc-dresden.de M+W Group www.mwgroup.net Deutsche Cell GmbH www.deutschecell.de MicroSystems GmbH www.microsystems.de Deutsche Solar GmbH www.deutschesolar.de Roth & Rau AG www.roth-rau.de DMOS GmbH www.dmosdesign.com SGS INSTITUT FRESENIUS GmbH www.institut-fresenius.de GLOBALFOUNDRIES Fab 1 Dresden www.globalfoundries.com XENON Automatisierungstechnik GmbH www.xenon-dresden.de Infineon Technologies Dresden GmbH www.infineon.de Software, Hardware und IT JSSi GmbH www.js-silicon.de BuS Elektronik GmbH & Co. KG www.bus-elektronik.de Leading-Edge Cluster »Cool Silicon« www.cool-silicon.de Comarch Software AG www.comarch.de Photronics MZD GmbH www.photronics.com SAW COMPONENTS Dresden GmbH www.sawcomponents.de COMPAREX AG www.comparex-group.com SolarFactory GmbH www.solarfactory.de itCampus Software- und Systemhaus GmbH www.itcampus.eu SolarWorld AG www.solarworld.de Leesys - Leipzig Electronic Systems GmbH www.leesys.com SolarWorld Innovations GmbH www.sw-innovations.de MEGWARE Computer Vertrieb und Service GmbH www.megware.com Toppan Photomasks Germany GmbH www.photomask.com Robotron Datenbank-Software GmbH www.robotron.de X-FAB Dresden GmbH www.xfab.de SAP AG www.sap.com/germany Zentrum Mikroelektronik Dresden AG (ZMDI) www.zmd.biz Software AG www.softwareag.com Neue Materialien SYSTEMA Systementwicklung Dipl.-Inf. Manfred Austen GmbH www.systemagmbh.de AIR LIQUIDE Electronics GmbH www.airliquide.de TechniSat Digital GmbH www.technisat.com AZZURRO Semiconductors AG www.azzurro-semiconductors.com T-Systems Multimedia Solutions GmbH www.t-systems-mms.com bubbles & beyond GmbH www.bubbles-beyond.com Ausbildung & Forschung Freiberger Compound Materials GmbH (FCM) www.fcm-germany.com Deutsche Telekom AG, Hochschule für Telekommunikation Leipzig (HfTL) www.hft-leipzig.de Siltronic AG, Werk Freiberg www.siltronic.de dresden chip academy (dca) www.dresden-chip-academy.de Nanotechnologie Fraunhofer IZM - All Silicon System Integration Dresden (ASSID) www.izm.fraunhofer.de AXO DRESDEN GmbH www.axo-dresden.de Fraunhofer-Einrichtung für Elektronische Nanosysteme (ENAS) www.enas.fraunhofer.de CREAVAC - Creative Vakuumbeschichtung GmbH www.creavac.de Fraunhofer-Einrichtung für Organik, Materialien und www.comedd.fraunhofer.de NanoelektronikZentrumDresden GmbH www.nanodresden.de Elektronische Bauelemente (COMEDD) Saxray GmbH www.saxray.de Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik (FEP) www.fep.fraunhofer.de VON ARDENNE Anlagentechnik GmbH www.vonardenne.biz Fraunhofer-Institut für Keramische Technologien und Systeme (IKTS) www.ikts.fraunhofer.de VTD Vakuumtechnik Dresden GmbH www.vtd.de Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS) www.ipms.fraunhofer.de Fraunhofer-Institut für Zerstörungsfreie Prüfverfahren, Institutsteil Dresden (IZFP-DD) www.izfp-d.fraunhofer.de Intelligente Kommunikation Fraunhofer-Technologiezentrum Halbleitermaterialien (THM) www.thm.fraunhofer.de Intel Mobile Communications Technology Dresden GmbH www.intel.com Helmholtz-Institut Freiberg für Ressourcentechnologie www.hzdr.de/db/Cms?pNid=2423 KOMSA KOMMUNIKATION SACHSEN AG www.komsa.de RadioOpt GmbH www.radioopt.com Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e. V. (HZDR) www.hzdr.de Signalion GmbH www.signalion.com Institut für Angewandte Photophysik (IAPP), TU Dresden www.iapp.de Institut für Aufbau- und Verbindungstechnik der Elektronik (IAVT) und Zentrum für www.avt.et.tu-dresden.de MEMS / Smart Systems mikrotechnische Produktion (ZµP), TU Dresden ADZ NAGANO GmbH www.adz.de Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik (IHM), TU Dresden www.ihm.tu-dresden.de GEMAC - Gesellschaft für Mikroelektronikanwendung Chemnitz mbH www.gemac.info Institut für Print- und Medientechnik (pmTUC), TU Chemnitz www.tu-chemnitz.de/mb/PrintMedienTech Microelectronic Packaging Dresden GmbH (MPD) www.mpd.de Nanoelectronic Materials Laboratory gGmbH (NaMLab), TU Dresden www.namlab.com MICRO-EPSILON Optronic GmbH www.micro-epsilon.de Technische Universität Bergakademie Freiberg www.tu-freiberg.de Silicon Micro Sensors GmbH www.smicrosensors.de Technische Universität Chemnitz www.tu-chemnitz.de Smart Systems Campus Chemnitz www.smartsystemscampus.de Technische Universität Dresden www.tu-dresden.de Organische und Gedruckte Elektronik Vodafone Stiftungslehrstuhl Mobile Nachrichtensysteme, TU Dresden www.vodafone-chair.com CreaPhys GmbH www.creaphys.com Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM), TU Chemnitz www.zfm.tu-chemnitz.de Heliatek GmbH www.heliatek.de Netzwerke LEDON OLED Lighting GmbH & Co. KG www.ledonlighting.com Nanotechnologie-Kompetenzzentrum »Ultradünne funktionale Schichten« (NANO-CC-UFS) www.nanotechnology.de Novaled AG www.novaled.com Organic Electronics Saxony e. V. www.oes-net.de Plastic Logic GmbH www.plasticlogic.com RFID Saxony www.rfid-saxony.de Printechnologics GmbH www.printechnologics.de Silicon Saxony e. V. www.silicon-saxony.de Fortschrittliche Fertigungssysteme Software Saxony www.software-saxony.de 3D-Micromac AG www.3d-micromac.de Sonstige Kontakte Cascade Microtech GmbH www.cmicro.com »Invest in Saxony« – Sachsens Portal für Investoren www.invest-in-saxony.de DAS Environmental Expert GmbH www.das-europe.com FHR Anlagenbau GmbH www.fhr.de Sächsisches Staatsministerium für Wirtschaft und Arbeit (SMWA) www.smwa.sachsen.de Kinetics Germany GmbH www.kinetics.net Wirtschaftsförderung Sachsen GmbH (WFS) www.wfs.sachsen.de
MIKRO! Willkommen! »Silicon Saxony« ist Europas größter Mikroelektronik-Cluster und der duzieren und vertreiben elektronische Produkte und Systeme auf der 5 fünftgrößte weltweit. In der Region zwischen Dresden, Freiberg und Basis integrierter Schaltungen oder entwickeln und vermarkten Soft- Chemnitz findet sich eine einzigartige Ballung von Unternehmen und ware. Forschungsinstituten mit Know-how in den Bereichen Mikro- und Nanoelektronik, Nanotechnologie, Intelligente Kommunikation, Ener- Seine Innovationskraft zeigt »Silicon Saxony« auf verschiedenen gieeffiziente Systeme, Smart Systems und vernetzte Sensorik sowie Gebieten: Die Novaled AG in Dresden ist weltweit führend bei der Organische und Gedruckte Elektronik. Herstellung von hocheffizienten und langlebigen OLEDs, die Partner des Spitzenclusters »Cool Silicon« entwickeln energieeffiziente IKT- Mehr als 2.100 Unternehmen mit insgesamt 51.000 Mitarbeitern sind Lösungen und das Leipziger Unternehmen bubbles & beyond GmbH in Sachsen auf allen Stufen der IKT-Wertschöpfungskette aktiv: entwickelt intelligente Fluids, die eine sanfte Reinigung von hochemp- Sie entwickeln, fertigen und vermarkten integrierte Schaltkreise oder findlichen Reinräumen und Wafern ermöglichen. dienen der Chipindustrie als Material- und Equipmentlieferanten, pro-
Geschichte 1886 1961 1994 1996 1999 2003 2006 2009 2010 2011 2012 1703 1957 1995 1998 2002 2005 2007 6 Der Leipziger Gründung der Gründung der Bis 2000 Entwick- Gründung der Eröffnung des Eröffnung der Im März 2009 GLOBALFOUNDRIES Infineon Start der weltweit Universalgelehr- »Arbeitsstelle für Freiberger Com- lung der 300-mm- Advanced Mask Fraunhofer-Cen- Nanoelectronic nimmt GLOBAL- legt ein 2-Mrd.-Dollar- Technologies gibt ersten Produktion te Gottfried Molekulartech- pound Materials Technologie durch Technology Cen- ter Nanoelektro- Materials Labo- FOUNDRIES INC. Investitionsprogramm den Ausbau von flexiblen orga- Wilhelm Leib- nik« (AME) durch GmbH (FCM) Infineon Technolo- ter GmbH & Co. nische Techno- ratory gGmbH die Geschäfts- für den Ausbau seines (250 Mio. Euro) nischen Solarfolien niz erfindet den Physiker – heute einer gies Dresden und KG (AMTC) – ein logien (CNT) in (NaMLab) – ein tätigkeit auf. Als Dresdner 300-mm- der Dresdner Fab mittels Vakuum- das Dualsys- Werner Hart- der weltweit Motorola; Bau der Joint-Venture von Dresden An-Institut der Joint-Venture von Werkes auf. für die Fertigung deposition durch tem – die mann in Dresden führenden Her- ersten 300-mm- AMD (heutiger TU Dresden AMD und der von Leistungs- die Dresdner mathematische zur Entwicklung steller von GaAs- Fabrik der Welt Partner GLOBAL- ATIC Company Infineon Technologies halbleitern Heliatek GmbH Grundlage der und Herstellung Wafern – durch FOUNDRIES) und Erster Spaten- (Abu Dhabi) investiert 200 Mio. auf Basis von Computerwelt integrierter die israelische Toppan Photo stich für die Beginn des Aus- übernimmt es Euro in die Kapazitäts- 300-mm-Wafern aus Einsen und Schaltkreise Federmann Start der Produktion masks – zur Ent- AMD Fab 36 baus der AMD die Fertigungs- erweiterung seiner bekannt. Nullen. Enterprises Ltd. von Reinst-Silizium wicklung und – AMDs erste Fab 30 (200 -mm- standorte von Dresdner 200-mm- Gründung des am Standort Frei- Pilotproduktion Produktionsstätte Technologie) zur AMD weltweit, Fab. Intel eröffnet VEB Spurenme- berg durch die von Photomasken auf Basis von Fab 38 (300 -mm- produziert aber einen Entwick- talle Freiberg; Gründung des bayrische Wacker 300 -mm-Wafern; Technologie) auch für andere SolarWorld AG lungsstandort in 1966 Beginn der Siemens Micro Siltronic GmbH Produktionsstart Halbleiterherstel- erweitert Standort Dresden – die Produktion von electronics Center (heute Siltronic AG) Weltweit erste 2005 ler. 2012 über- Freiberg – Intel Mobile monokristallinen Dresden (ab Einführung der nimmt ATIC alle dritte Modulfertigung, Communications Siliziumblöcken 1999 Infineon Erster Spatenstich Kupfertech- Anteile. Ausbau Logistik- Technology und Wafern Technologies für die AMD Fab nologie in der zentrum, neues Dresden GmbH. Dresden) 30 in Dresden; Dresdner AMD FuE-Zentrum 1999 Eröffnung Fab 30 Eröffnung des Clemens Wink- Start der Produk- des Werkes Helmholtz- ler, Chemiker tion von Solar- Instituts Freiberg an der Bergaka- silizium-Wafern für Ressourcen- demie Freiberg, durch die Bayer technologie, ein entdeckt das Solar GmbH in gemeinsames Element »Ger- Freiberg (2000 Projekt des Helm- manium« – das Übernahme holtz-Zentrums erste Halbleiter- durch Solar- Dresden-Rossen- material. World AG) dorf und der TU Bergakademie Freiberg
Mikro- und Nanoelektronik Die X-FAB Dresden GmbH & Co. KG ist eine Halbleiter-Foundry und Foto Seite 7 In der Fertigung bei Infineon Tech- fertigt im Kundenauftrag analog-digitale integrierte Schaltkreise. Am nologies Dresden durchlaufen jede Die GLOBALFOUNDRIES Fab 1 in Dresden wird derzeit zum größten Standort Dresden werden von ca. 400 Mitarbeitern Mixed-Signal-Tech- Woche Tausende von Silizumscheiben die hochkomplexe Fertigung in europäischen Halbleitwerk ausgebaut und zählt zu den produktivsten nologien bis 0,35 µm auf 8-Zoll-Siliziumwafern hergestellt. Als Bestand- Reinraumklasse 1. und modernsten Waferfabriken weltweit. Die Fab 1 ist GLOBAL- teil der weltweit agierenden X-FAB-Gruppe ist X-FAB Dresden auch Foto unten rechts FOUNDRIES‘ Leitstandort mit mehr als 3.400 hoch qualifizierten Inge- wesentlich an der Entwicklung hocheffektiver Mixed-Signal-Technologien SAW COMPONENTS stellt Mikrochips im Waferverbund und als fertiges Bau- nieuren, Technikern und Spezialisten sowie einem Investitionsvolumen für Strukturbreiten bis 0,18 µm beteiligt. element her. Hohe technologische von bisher weit mehr als 8 Mrd. US-Dollar. Das Unternehmen fertigt Sicherheit und umfangreiche Erfahrungen kommen den Kunden dabei sowohl bei in Dresden Chips in 45-, 40-, 32- und 28-nm-Technologien für Kunden Die SAW COMPONENTS Dresden GmbH entwickelt und fertigt Mikro- Groß- als auch bei individuellen Klein- aus aller Welt. chips und elektronische Bauelemente für alle Bereiche der Hochfre- serien zugute. 8 quenz- und Funkübertragungstechnik, Sensorik und Funkidentifikation Die Infineon Technologies Dresden GmbH ist einer der größten Ferti- auf der Grundlage des Oberflächenwelleneffekts (Surface Acoustic gungsstandorte der Infineon AG, in den seit 1994 über 3 Mrd. EUR Waves – SAW). Bis zu drei Mio. SAW-Chips verlassen wöchentlich das investiert wurden. Im sächsischen Werk werden hochwertige Chips Dresdner Werk. Zum Einsatz kommen sie z. B. in Mobiltelefonen, GPS- auf 200-mm-Siliziumscheiben hergestellt. Im Jahr 2011 hat der Infineon- Geräten und Funkfernbedienungen. Vorstand entschieden, Dresden als weltweit ersten Hochvolumen- Standort für die Produktion von Leistungshalbleitern auf 300-mm- Die Zentrum Mikroelektronik Dresden AG (ZMDI) ist ein weltweit füh- Silizumscheiben auszubauen. render Entwickler von Mixed-Signal-Halbleiterlösungen für die Märkte Automobil, Medizin- und Konsumgüter sowie Industrieautomation. Helmut Warnecke »Nur wenige Chiphersteller weltweit bedienen ein so breites Produktspektrum wie Infineon: In Dresden stellen wir mehr als 200 verschie- dene Logikschaltkreise für ganz unterschiedliche Anwendungsbereiche her und bau- en aktuell die weltweit erste Hochvolumenproduktion für Leistungshalbleiter auf 300-mm-Silizumscheiben auf. Das geht natürlich nur mit hoch qualifizierten, erfah- renen und motivierten Mitarbeitern und einer exzellenten Infrastruktur, wie wir sie hier in Dresden seit mehr als achtzehn Jahren vorfinden.« (Geschäftsführer, Infineon Technologies Dresden GmbH)
Foto rechts Ein Produkt-Beispiel ist der intelligente Batterie-Monitor-Mikrochip Derzeit wird die Kapazität der GLOBALFOUNDRIES Fab 1 in Dresden ZSSC1856, der durch Ladekontrolle bei Lithium-Ionen-Batterien Energie erheblich erweitert. Bei Vollausbau wird einspart. Außerdem wird durch die gezielte Überwachung des Lade- die Fab über eine Gesamtkapazität von 80.000 300-mm-Waferstarts pro Monat bzw. Entladeprozesses Schaden abgewehrt und somit die Lebensdauer verfügen. der Batterien verlängert. Die DMOS GmbH Dresden entwickelt anwendungsspezifische (ASICs) und Standard-Schaltkreise (ASSPs) für Anwendungen in der Automobil- und Automatisierungstechnik, darunter Motor-Controller für Lüftungen und Klimaanlagen sowie Power-Management- und Bus-Sende- und Empfangs-Bausteine für die Bordkommunikation von Personen- und 9 Lastkraftfahrzeugen. Die Photronics MZD GmbH in Dresden ist eine Tochter der ameri- kanischen Photronics Inc. Das Unternehmen stellt photolithografische Masken für Chiphersteller in Europa und Asien her. Außerdem ent- wickelt es Masken mit Strukturbreiten von 100 nm, z. B. für spezielle optische und lithografische Anwendungen. Dr. Rutger Wijburg »Der Dresdner GLOBALFOUNDRIES-Stand- ort trägt seit 15 Jahren zum guten Ruf Sachsens als führendem europäischen Mikroelektronik-Cluster bei. Mehr als 3.400 Mitarbeiter arbeiten bei uns im größten und modernsten Chipwerk Europas an innovativen Technologie- lösungen für Kunden aus der ganzen Welt. Diese Erfolgsgeschichte baut auf den Standortstärken der Region auf – hervorragend ausgebildete Mitarbeiter, exzellente Ausbildungseinrichtungen, innovative Forschungsinstitute sowie ein technologiefreundliches Umfeld. Wir freuen uns darauf, auch zukünftig Technologieinnovationen aus Dresden heraus vorantreiben zu können.« (Senior Vice President und General Manager, GLOBALFOUNDRIES Fab 1 Dresden)
»Cool Silicon« In dem sächsischen Spitzencluster entwickeln über 100 Partner aus Forschung und Industrie gemeinsam Lösungen, die den Energieverbrauch im Bereich der IKT deutlich senken. Die Ergebnisse der Arbeit können sich sehen lassen. – So wurde z. B. die Batterielaufzeit in Laptops mittels der neuartigen HKMG-CMOS-Technologie von 8 auf über 10 Stunden erhöht. Ein innovativer Leistungsverstärker senkt den Energiebedarf von mobilen Geräten um 15 %, von Basisstationen um 30 %. Und gemeinsam entwickelte Überwachungssensoren für Flug- zeuge sparen bis zu 25 Tonnen Kerosin auf Transatlantikflügen. 10 Die Advanced Mask Technology Center GmbH & Co. KG (AMTC) Foto links Das AMTC liefert technologisch führende ist ein Joint Venture von GLOBALFOUNDRIES und Toppan Photo- Photomasken an GLOBALFOUNDRIES masks. Mit dem AMTC ist in Sachsen ein weltweit führendes sowie an das europäische und weltweite Kundennetzwerk von Toppan Photomasks Zentrum für die Forschung, Entwicklung und Produktion von Photo- Inc. Die Produktionseinrichtungen von lithografie-Masken entstanden. Die Nähe zu den Fertigungs-Stand- Toppan Photomasks in Dresden sind in die Fertigung des AMTC integriert. orten von GLOBALFOUNDRIES und Infineon erlaubt eine besonders Foto oben rechts enge Kooperation, um schnell auf Kundenanforderungen reagieren In »Area 1 – Mikro- und Nanotechnologien: zu können. Technologien für energieeffiziente Computing-Plattformen« des Spitzen- clusters »Cool Silicon« entwickelt Im sächsischen Freiberg decken fünf Tochtergesellschaften der GLOBALFOUNDRIES gemeinsam mit vielen Partnern Basistechnologien und SolarWorld AG alle Produkte und Prozesse der photovoltaischen Analyse- und Produktionsmethoden für die Wertschöpfungskette ab – vom Solarsilizium (JSSi GmbH – Joint Herstellung energieeffizienter Elektronik. Solar Silicon) über die Wafer (Deutsche Solar GmbH) und Solar- zellen (Deutsche Cell GmbH) bis hin zu Modulen (SolarFactory GmbH). Auch das Recycling von (Solar)Silizium (Deutsche Solar GmbH) sowie die Bündelung der gesamten Forschungs- und Entwicklungsaktivitäten (SolarWorld Innovations GmbH) finden in Freiberg statt.
Dr. Christoph von Plotho »Wir haben uns 1995 für den Stand- ort Freiberg entschieden und die letzten 17 Jahre haben gezeigt, wie richtig diese Entscheidung war. Heute ist Freiberg ein wichtiger Produk- tionsstandort für 300-mm-Wafer. Das kommt nicht von ungefähr, denn hier in Sachsen hat die Mikroelektronik eine jahrzehntelange Tradition. Darum finden wir in dieser Region auch genau die gut ausgebildeten Mit- arbeiter, deren Kompetenz und Leistungsbereitschaft mit die Grundlage für unseren wirtschaftlichen Erfolg legen.« (Vorstandsvorsitzender, Siltronic AG) Foto oben rechts Neue Materialien Wafer auf Siliziumsubstraten und nutzt dafür ein weltweit einzigartiges 11 Die Freiberger Compound Materials GmbH (FCM) zählt zu den Technologieführern Verfahren. Die Wafer werden u. a. in der Fertigung kostengünstiger ihrer Sparte und deckt mit ihren Produkten Die Siltronic AG verfügt an ihrem Standort in Freiberg über eine Leuchtdioden sowie energieeffizienter Elemente für die Leistungselek- – halbisolierende und halbleitende Wafer bis 150 mm Durchmesser (200 mm in Ent hochmoderne Tiegelziehfabrik für Siliziumeinkristalle bis 300 mm tronik eingesetzt. Verglichen mit herkömmlichen Galliumnitrid-Wafern wicklung) – alle wesentlichen Anwendungs- Durchmesser sowie eine der weltweit modernsten Fertigungslinien für erlauben die AZZURRO-Wafer eine Weiterverarbeitung auf Standard- gebiete für GaAs-Substrate ab. 300-mm-Siliziumwafer. Siltronic hat hier seit 1996 circa 825 Mio. Euro Fertigungslinien der Halbleiterindustrie, wodurch sich massive Kosten- investiert und beschäftigt mehr als 900 Mitarbeiter. einsparungen erzielen lassen. Die Freiberger Compound Materials GmbH (FCM) ist einer der welt- Die AIR LIQUIDE Electronics GmbH in Ottendorf-Okrilla, eine weit führenden Hersteller von Galliumarsenid-Substraten (GaAs) für Tochterfirma des französischen Weltmarktführers Air Liquide S.A., ver- Hochfrequenzleistungsbauelemente. FCM ist dabei das einzige Unter- sorgt mit über 100 Mitarbeitern namhafte in Sachsen ansässige Halb- nehmen, das beide Herstellungsverfahren zur Züchtung von Einkristal- leiterhersteller mit Gasen und gastechnischen Ausrüstungen sowie len beherrscht – LEC (Liquid Encapsulated Czochralski) und VGF (Ver- Service. tical Gradient Freeze). Seit der Gründung 1995 durch den israelischen Mutterkonzern, Federmann Enterprises Ltd., wurden am Standort über Die bubbles & beyond GmbH aus Leipzig entwickelt intelligent fluids® 110 Mio. Euro investiert und ca. 250 Arbeitsplätze geschaffen. – umweltverträgliche Formulierungen für Entschichtungs- und Reini- gungsschritte in mikroelektronischen Prozessen, z. B. für das Ablösen Mit derzeit fast 40 Mitarbeitern entwickelt und produziert die des Fotoresistlackes auf Wafern. Durch Verwendung sanfter chemischer AZZURRO Semiconductors AG am Standort Dresden Galliumnitrid- Formulierungen sind beim Anwender Prozessverkürzungen möglich und
der Einsatz aggressiver Prozesschemikalien sinkt. Weiterhin bietet Die VTD Vakuumtechnik Dresden GmbH ist ein Hersteller von kun- Foto unten links Das Produktionsgebäude der VON bubbles & beyond Produkte zur Teilereinigung nach Vakuumprozessen, denspezifischen Vakuum-Beschichtungssystemen. Im Fokus stehen da- ARDENNE Anlagentechnik am Standort z. B. die Entfernung von organischen Resublimaten oder Farbstoffen, an. bei energieeffiziente und umweltgerechte Anlagensysteme zur PVD- Dresden-Weißig »glänzt« durch eine 300 -qm-Solarfassade mit CIS -Solarmodu- Vakuumbeschichtung von Kunststoff, Glas, Keramik und Metall. Zur len. Das für die 420 Module verwendete Nanotechnologie Weltspitze gehören die hochproduktiven Kurztakt-Sputtersysteme zur Glas wurde auf firmeneigenen Anlagen beschichtet. Metallisierung von Automobilreflektoren, sowie ein modular aufge- Foto unten mitte Die AXO DRESDEN GmbH ist ein Spin-off aus dem Fraunhofer-Institut bautes PVD-System für die Hochrate-Abscheidung von superharten, Die intelligent fluids®-Entschichter von für Werkstoff- und Strahltechnik (IWS) Dresden und entwickelt und pro- amorphen DLC-Schichten. bubbles & beyond (im Bild: Anwendung auf einem Wafer zur Entfernung von duziert Röntgenoptiken und Hochpräzisionsbeschichtungen. Mit ihren Fotoresistlack) entfernen hartnäckige sich ergänzenden Präzisionsbeschichtungsverfahren können Einzel- und Die Dresdner CREAVAC – Creative Vakuumbeschichtung GmbH Verschmutzungen in der Mikroelektronik hocheffektiv. Dies geschieht durch physi- 12 Multischichten im Nanometerbereich mit extrem hoher Präzision her- bietet innovative Beschichtungen an und baut Vakuumbeschichtungs- kalische Effekte. Ein chemisches Auflösen gestellt werden. anlagen. Mit verschiedenen Verfahren erzeugt das Unternehmen oder Ätzen findet nicht statt. technische und dekorative Oberflächen mit Metallen bzw. Lacken und Foto unten rechts Die META ROT von VTD Vakuumtechnik Die VON ARDENNE Anlagentechnik GmbH entwickelt und fertigt in entwickelt Schichtsysteme für unterschiedlichste Anwendungen. (im Bild: Blick in die Vakuumkammer Dresden Anlagen für industrielle nano- bis mikrometerdünne Beschich- mit bestücktem Substrathalter im Vor- dergrund) ist eine flexible, horizontale tungen auf großflächigen Materialien wie Glas, Metallband oder Kunst- Die Dresdner Saxray GmbH entwickelt, fertigt und vertreibt Kompo- Kurztakt-Sputteranlage zum Metallisieren stofffolie. Dabei kommen Technologien wie Magnetron-Sputtern und nenten und Systemlösungen für hochpräzise Röntgen- und Spezialana- einschließlich Schutzbeschichtung von Kunststoffbauteilen und konzipiert für Elektronenstrahlverdampfen zur Anwendung. lytik, mit der sich Materialien zerstörungsfrei und einfach untersuchen den Einsatz in Taktstraßen. lassen. Dabei geht es um sich selbst einstellende Röntgenoptiken, die
Foto unten links es u. a. erlauben, auch kleinste strukturelle Unterschiede auf atomarer Die RadioOpt GmbH Dresden ist eine Ausgründung des Stiftungs- Die Signalion GmbH bietet als erste Firma überhaupt integrierte Prototyping- Ebene – z. B. in Halbleitern – nachzuweisen. lehrstuhls Mobile Nachrichtensysteme der Technischen Universität Komplettlösungen für digitale Funk- Dresden. Seit 2008 entwickelt das Unternehmen Softwarelösungen für systeme aus einer Hand an. Kunden schätzen dieses Angebot – es gibt da- Intelligente Kommunikation die Qualitätsmessung in Mobilfunknetzen. durch keine Probleme mit Schnittstellen, inkompatibler Hardware oder fehlenden Software-Treibern. Die Intel Mobile Communications Technology Dresden GmbH ist seit Die KOMSA Kommunikation Sachsen AG mit Hauptsitz bei Foto unten rechts Mai 2011 ein LTE-Entwicklungsstandort von Intel Mobile Communi- Chemnitz gehört zu den führenden europäischen Dienstleistern der IKT- Das junge Dresdner Unternehmen Saxray cations. An der Entwicklung von Basisband-Chiptechnik für den Mobil- Branche. Das inhabergeführte Unternehmen ist mit über 1.300 Mitarbei- ist ein gemeinsames Ausgründungsprojekt des Helmholtz-Zentrums Dresden-Ros- funkstandard der vierten Generation arbeitet das Team am Standort tern in den drei Kernbereichen Großhandel, Integrierte Dienstleistungen sendorf (HZDR), der TU Bergakademie Dresden bereits seit einigen Jahren. Die Kernkompetenzen liegen im und Reparaturservice tätig. KOMSA führt das zweitgrößte Reparatur- Freiberg und der TU Dresden (im Bild: Herzstück der Röntgenoptik – ein paten- Bereich Design für energieeffiziente mobile Breitband-Modems. center für Mobiltelefone in Deutschland, in dem monatlich über 13 tierter Röntgenspiegel). 100.000 Handys, Smartphones und Tablets aller bekannten Hersteller 2003 als Start-up in Dresden gegründet, ist die Signalion GmbH heute instand gesetzt werden. ein weltweit etablierter Hersteller von Messtechnik und Speziallösungen für den Mobilfunk mit besonderem Fokus auf dem neuen Standard LTE. MEMS / Smart Systems Als erstes Unternehmen brachte Signalion mit seinem Produkt SORBAS eine LTE-Test-UE, mit seinem Produkt RHT100 einen Remote-Radio- Die Firma MICRO-EPSILON Optronic GmbH in Dresden gehört Head-Tester und mit seiner AMC-SRRM eine integrierte RF im µTCA/ seit ihrer Gründung im Jahr 1993 zur MICRO-EPSILON-Firmen- AMC-Format erfolgreich auf den Markt. gruppe. Das Unternehmen hat sich auf die Entwicklung und Pro- Die NanoelektronikZentrumDresden GmbH stellt auf rund 8.000 m2 in zwei Gebäuden Flächen und gemeinschaftlich nutzbare Einrichtungen wie z. B. Reinräume für Start-up-Unternehmen der Mikro- und Nanoelektronik-Branche zur Verfügung. In unmittelbarer Nachbarschaft zu zwei Fraunhofer-Instituten und industriellen Partnern wie der ZMDI AG, Photronics MZD oder X-FAB bietet das Zentrum optimale Voraussetzungen für geschäftlichen Erfolg.
14 duktion von optoelektronischen Sensoren und Systemen für das präzise Sensoren und Mikrosystemen an. Mit modernsten Verfahren der Auf- Foto oben links Als Tochterunternehmen der KOMSA berührungslose Messen geometrischer Dimensionen, Geschwindigkeit bau- und Verbindungstechnik verarbeitet MPD Halbleiterchips in Rein- AG im Jahr 2000 gegründet, hat sich die und Farbe spezialisiert. räumen der ISO-Klassen 8 bis 5. Dabei kommen bewährte Technolo- w-support.com GmbH auf die Reparatur von IT- und Telekommunikationsgeräten gien zur Herstellung von Bauelementen bis hin zu komplexen Modulen spezialisiert – mit über einer Million Die ADZ NAGANO GmbH entwickelt und produziert bei Dresden und Systemen zur Anwendung. Neben Mustern und Kleinserien werden Reparatureingängen pro Jahr (im Bild: Löten per Infrarotunterhitze). Drucksensortechnik. Mit einem Team von rund 100 Mitarbeitern hat Stückzahlen im Millionenbereich hergestellt. Foto oben Mitte sich das Unternehmen zu einem international gefragten Hersteller von Die Druckmessumformer von ADZ Druckmessumformern und Drucktransmittern entwickelt. Sie werden Die Silicon Micro Sensors GmbH in Dresden entwickelt, fertigt und Nagano kommen insbesondere in mobilen Anwendungen, wie beispiels- in vielen Bereichen eingesetzt, beispielsweise in der Prozess-, Umwelt-, vertreibt integrierte optische und mikromechanische Sensorsysteme, weise Mobilhydraulik, Motormanagement, Automatisierungs- und Kfz-Technik. Komponenten und Module. Diese kommen in CMOS-Kamerasystemen Öldruck- oder Bremssystemen sowie bei Brennstoffzellen und anderen Hoch- und MEMS-Drucksensoren für Automobilbau, Sicherheitstechnik, Medi- temperaturanwendungen zum Einsatz. Die GEMAC – Gesellschaft für Mikroelektronikanwendung Chemnitz zintechnik sowie Industrieelektronik zum Einsatz. Foto oben rechts mbH ist ein Dienstleister für Forschungs-, Entwicklungs- und Fertigungs- Micro-Epsilon Optronic setzt ver- arbeiten in der Messtechnik und Sensorik. Vom Sensor- und ASIC-Design Organische und Gedruckte Elektronik schiedene physikalische Prinzipien, wie Triangulation, Lichtschnittverfahren oder über elektronische Baugruppen bis hin zur Fertigung eigener Produkte Schattenwurf für seine Sensoren und Messgeräte ein, die berührungslos ein- und bietet das Unternehmen seinen Kunden angepasste Komplettlösungen. Sachsen ist mit fast 40 Unternehmen und 17 Forschungseinrichtungen mehrdimensionale Messgrößen wie Weg, der größte europäische Cluster der organischen Elektronik und gehört Abstand, Position, Profil oder Kontur erfassen (im Bild: Geschwindigkeits- und Die Microelectronic Packaging Dresden GmbH (MPD) ist Auftrags- zu den TOP-5-Standorten im internationalen Vergleich. Längenmessung bei der Blechverarbeitung). fertiger und bietet die Entwicklung und Herstellung von elektronischen
Der »Smart Systems Campus Chemnitz« ist ein Technologiepark mit enger Verflechtung von Wissenschaft, Forschung und Industrie auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik. Der fast 6,5 Hektar große Campus befindet sich in unmittelbarer Nachbarschaft zur Technischen Universität Chemnitz sowie zu den Fraunhofer-Instituten für Elektronische Nanosysteme (ENAS) und für Werkzeugmaschinen und Umformtechnik (IWU). Er verbindet auf kurzen Wegen renommierte Forschungs-Einrichtungen, dynamische Start-ups sowie weltweit agierende Unternehmen, die zu den Marktführern ihrer Branche gehören. Foto oben links Die Novaled AG ist eine Ausgründung der Technischen Universität Dresden Die Printechnologics GmbH Chemnitz ist der führende Technologie- 15 Mit einer Ansiedlung im Start-up-Gebäude des Smart Systems Campus Chemnitz und hat im Bereich der organischen Leuchtdioden (OLED) Pionierarbeit entwickler für gedruckte Funktionalitäten. Das Unternehmen entwickelt profitieren Existenzgründer von der geleistet. Das Unternehmen besitzt über 500 Patente und beliefert Kunden elektronische Systeme, die einfach und problemlos mit Standarddruck- intelligenten Infrastruktur. So können sie z. B. universitäre Einrichtungen wie weltweit mit Technologien und Materialien zur Herstellung besonders maschinen hergestellt werden können. Die Datencodes sind zu 100 % die Bibliothek, Forschungsräume und leistungseffizienter OLEDs für Beleuchtungs- und Displayprodukte – recycelbar und lassen sich über den Touchscreen eines handelsüblichen Reinräume nutzen und damit intensiv an Forschungsergebnissen teilhaben. letztere inzwischen in Massenproduktion. Smartphones auslesen. Das innovative Portfolio des Unternehmens wird Foto oben rechts in Zusammenarbeit mit dem strategischen Partner 3M kontinuierlich Die Novaled PIN-OLED-Technologie bietet Die LEDON OLED Lighting GmbH & Co. KG in Dresden – ein Joint Venture erweitert. enormes Potenzial für alle Bereiche der organischen Elektronik – besonders dort, der österreichischen Zumtobel-Gruppe und der Fraunhofer-Gesellschaft wo die molekularen Dotanden effizientere – entwickelt und produziert innovative Lichtmodule auf Basis von orga- Plastic Logic wurde 2000 von Forschern der Cambridge University Halbleiter ermöglichen. (im Bild: hochef- fizientes, weißes OLED für die Anwendung nischen Leuchtdioden. Diese OLED-Lichtmodule werden in flächigen gegründet und errichtete 2007 die weltweit erste Volumenfertigung in Leuchten und Displays der Zukunft) Beleuchtungslösungen und Signalanzeigen angewandt. zur Herstellung von flexiblen E-Paper-Displays – die Plastic Logic GmbH in Dresden. Das Unternehmen produziert heute flexible Die CreaPhys GmbH ist eine Ausgründung der Technischen Universität Schwarzweiß- und Farb-Kunststoffdisplays in unterschiedlichen Dresden und spezialisiert sich auf Verfahren zur Beschichtung und Mate- Größen. Die Displaytechnologie ermöglicht die vielfältigsten robusten rialreinigung in der Herstellung organischer Dünnschichten (für OLEDs und und leichten Endgeräte und Anwendungen – Smartphones, Smartcards Solarzellen) und verfügt über umfassendes Know-how im Bereich der orga- oder zukünftig auch großflächige Sensoren. nischen Opto-Elektronik. Darüber hinaus entwickelt und fertigt CreaPhys Anlagen zur Aufreinigung der verwendeten organischen Substanzen.
Die Heliatek GmbH ist eine gemeinsame Ausgründung der Tech- Foto links Die Heliatek-Technologie ermöglicht eine nischen Universität Dresden und der Universität Ulm. Heliatek ent- kostengünstige und effiziente Rolle-zu- wickelt und produziert Solarzellen aus organischen Materialien und Rolle-Produktion von großflächigen Modulen auf preiswerten, flexiblen verwendet dabei eine patentgeschützte Tandemzellen-Technologie, Substraten. Die hauchdünnen Solarfolien die einen sehr breiten Bereich des Sonnenspektrums ausnutzt. Das wiegen nur 500 g/m² und sind weniger als 1 mm dünn. So können die Folien Unternehmen hält derzeit mit einem Wirkungsgrad von 10,7 Prozent in vielseitige Anwendungen integriert werden. den Effizienz-Weltrekord für organische Solarzellen. Foto unten Mitte Zu den serienreifen Produkten von Fortschrittliche Fertigungssysteme Printechnologics gehört »Touchcode«, eine kostengünstige und einfach ein- setzbare Anwendung, um nahezu jedes 16 Die zur schweizerischen Meyer-Burger-Gruppe gehörende Roth & Rau gedruckte Erzeugnis digital aufzuwerten AG in Hohenstein-Ernstthal ist einer der weltweit führenden Anbieter und funktional zu erweitern. von Fertigungstechnologien für die Photovoltaikindustrie. Die Roth & Foto unten rechts Das modulare Fertigungssystem Rau-Tochter MicroSystems GmbH hat sich mit anspruchsvollen tech- microFLEXTM von 3D-Micromac arbeitet nologischen Lösungen zur Anwendung von Plasma- und Ionenstrahlver- im Rolle-zu-Rolle-Verfahren und ist in der Lage, den Aufwand für die Bauteile- fahren für die Beschichtung, Strukturierung und Modifizierung von Ober- Fertigung – z. B. von flexiblen Solarzel- flächen auf den Bereich Mikroelektronik und Optik spezialisiert. len, gedruckten Batterien, RFID-Etiketten oder rollbaren Displays – drastisch zu reduzieren. Die FHR Anlagenbau GmbH entwickelt nahe Dresden Dünnschicht-
Foto unten rechts technologien im Bereich physikalischer und chemischer Beschichtungen In einem zweiten Geschäftsfeld bietet DAS Environmental Expert auch Plastic Logic hat eine revolutionäre Kunststofftransistorentechnologie entwi- (PVD, CVD) sowie entsprechende Ätztechnologien mit dem Ziel der Lösungen zur Abwasserbehandlung an. ckelt, mit der es möglich ist, Elektronik Umsetzung in Anlagenkonzepte für die industrielle Produktion. auf flexiblen Folien oder Plastikfolien herzustellen. Das Unternehmen arbeitet Die Cascade Microtech GmbH, eine Tochter der US-amerikanischen auch an Lösungen für andere Anwen- Lasermikrobearbeitung ist die Kernkompetenz der 3D-Micromac AG in Cascade Microtech, Inc., ist ein führender Hersteller von Wafer-Test- dungen jenseits von flexiblen Displays, wie zum Beispiel für großflächige Sen- Chemnitz. Sie entwickelt und produziert Maschinen für den Einsatz in Lösungen. Am sächsischen Standort bei Dresden entwickelt und fertigt soren. der Produktion von Photovoltaik-Bauelementen, in der Halbleiterferti- das Unternehmen seit 20 Jahren innovative Systeme zum Enginee- gung, der Medizintechnik und der digitalen Herstellung von gedruckten ring- und Produktionstest von Halbleitersubstraten. Funktionalitäten. Die Laseranlagen werden sowohl als Stand-Alone- Systeme oder zur Integration in bestehende, vollautomatisierte Produk- Die Mitarbeiter der SGS INSTITUT FRESENIUS GmbH in Dresden tionslinien geliefert. Ein weiterer Schwerpunkt liegt auf Maschinen für sind gefragte Spezialisten in der Analyse ultradünner Schichten. 17 die Rolle-zu-Rolle-Bearbeitung von dünnen Schichten auf flexiblen Als Tochter des schweizerischen SGS S.A.-Konzerns beherrscht sie Trägersubstraten. mit rund 400 Materialuntersuchungstechniken die gesamte Palette der abbildenden und analysierenden Verfahren. In allen Produkt- Die DAS Environmental Expert GmbH in Dresden bietet ressourcen- bereichen der Nanotechnologie – und insbesondere in der Prozess- schonende Lösungen für die umweltgerechte Reinigung von Prozessab- und Qualitätskontrolle – sind solche Verfahren unverzichtbar. gasen in der Halbleiter-, Solar-, LED- und FPD-Industrie an. Das Port- folio umfasst insgesamt neun Produktfamilien, die Abgase aus z. B. Bereits seit Jahren ist die M+W Group in Dresden mit einem CVD-, Etch- und Epitaxy-Prozessen sicher und kostengünstig entsorgen. Kompetenzzentrum für Hook-up Services, für das rund 150 Dr. Horst Reichardt »Zur Erfolgsgeschichte von ›Silicon Saxony‹ als führendem europäischen Halbleiterstandort hat DAS mit seiner Expertise für Umwelt-Technologien ein eigenes Kapitel beigetragen. Als Familienun- ternehmen in der Region fest verwurzelt, beliefern wir heute die weltweit führenden Fabs und Foundries der Mikroelektronikbranche. Im Bereich der umweltverträglichen Aufbereitung von Prozessabgasen sind wir ein Global Player und entwickeln unsere Technologien kontinuierlich weiter.« (Geschäftsführer, DAS Environmental Expert GmbH)
Spezialisten tätig sind, aktiv. An der Planung und Ausführung der auch komplette Turnkey-Projekte. Die Ingenieure, Konstrukteure, Foto unten links Kinetics Germany verfügt über umfang- wichtigsten Produktionsstätten der Halbleiterindustrie in Sachsen – CAD-Spezialisten und Monteure arbeiten anhand kundenspezifischer reiche Erfahrung in der Konstruktion, darunter die von Infineon, GLOBALFOUNDRIES, AMTC und Siltronic Anforderungen. Fertigung und Montage von Reinstme- diensystemen für Chemikalien, Slurries, – war bzw. ist die M+W Group maßgeblich beteiligt. Im Juni 2011 Gase und Reinstwasser, wie sie in gründete der internationale Anlagenbauer die Tochtergesellschaft Software, Hardware und IT der Mikroelektronik, Photovoltaik und anderen Spitzentechnologien An- M+W Integrated Solutions GmbH mit Sitz in Dresden, um sein wendung finden. Geschäft mit Hightech-Dienstleistungen in Europa auszubauen. Die 140 Mitarbeiter der SYSTEMA Systementwicklung Dipl.-Inf. Foto unten Mitte Manfred Austen GmbH in Dresden entwickeln und realisieren End- Das XENON-Präzisionsmontagemodul SPACE 400 (Detail im Bild) ist univer- Mit 155 Mitarbeitern beliefert die XENON Automatisierungstechnik to-End-IT-Lösungen für die Halbleiter- und Elektronikindustrie sowie für sell für 2D- und 3D-Anwendungen im GmbH von Dresden aus Automotive-, Elektronik-, Photovoltaik- und Automotive, Medizintechnik und Erneuerbare Energien. Zu den Kunden Bereich der Mikromontage, der Mikro- Dispenstechnik und Bestückung einsetz- 18 Medizintechnikkunden mit Maschinen für die automatisierte Ferti- gehören u. a. ABB, Infineon, GLOBALFOUNDRIES und Bosch. Das bar. Mit dem SPACE-400-Modul werden gung von Elektronikprodukten. Neuentwicklungen sind u. a. flexible Portfolio reicht von der Anlagenintegration über die Automatisierung Applikationen im Bereich 3D-MID, LED- Bestückung, Sensormontage und Sonder- Fertigungslinien für Sensoren, die 3D-Montage von MID-Produkten von Fertigungsabläufen bis hin zur Implementierung und Erweiterung bestückung realisiert. und Ausrüstungen zur Herstellung flexibler Solarzellen. Zum Unter- von Manufacturing Execution-Systemen und deren Einbindung in ERP- nehmen gehört auch eine Tochtergesellschaft in China. bzw. Supply Chain-Management-Systeme. Der Standort Dresden der Kinetics Germany GmbH realisiert In der Vertriebs- und Consulting-Niederlassung der SAP AG in Dresden Lösungen in der Prozessmedienversorgung für die Mikroelektronik-, helfen rund 500 IT-Spezialisten Firmen, ihre Prozesse entlang der Wert- Solar- und Bio-Pharmaindustrie sowie weitere Märkte und seit 2007 schöpfungskette zu optimieren, Softwarelösungen zu modellieren und zu
Foto unten links konfigurieren sowie mit anderen Speziallösungen zu verbinden und um Virtualisierung, Büroarbeit und Kommunikation, IT-Security, Systems T-Systems Multimedia Solutions belegte mehrfach in Folge den ersten Platz im wichtige Bausteine zu erweitern. Dazu unterhält die SAP am Standort Management und Cloud Computing. jährlichen Internetagentur-Ranking des Dresden eine Forschungs- und Entwicklungsabteilung (SAP Research) Bundesverbandes Digitale Wirtschaft e. V. (BVDW). Das Unternehmen un- mit über 100 Mitarbeitern. Die Leesys – Leipzig Electronic Systems GmbH bietet als Systemdienst- terstützt seine Kunden u. a. dabei, leister mit Standort in Leipzig umfassende Electronic Manufacturing innovative Internet- und Präsentations- technologien (im Bild: »Surface Table« Die T-Systems Multimedia Solutions GmbH in Dresden zählt zu den Services von der Entwicklung über die Fertigung von elektronischen – ein interaktiver Multi-Touch-Screen) im Geschäftsbereich einzusetzen. größten Internet-Agenturen in Europa. Die T-Systems-Tochter ent- Baugruppen, die Highend-Kunststoffverarbeitung für Gehäuse bis hin zu wickelt internetbasierte Lösungen für Großkonzerne und mittelstän- Montage und Versand der kompletten Geräte sowohl in Kleinserien- als Foto unten Mitte Die Leipziger Leesys GmbH verfügt dische Unternehmen. Rund 1.200 Mitarbeiter übersetzen für Kunden auch in Massenproduktion. über 17.000 qm Fertigungsfläche und aus allen Branchen Web-Innovationen in Dienstleistungen für den eine jährliche Fertigungskapazität von 1,4 Mio. schnurgebundenen Telefonen, digitalen Lebens- und Geschäftsraum. Hierzu gehören u. a. Lösungen Die BuS Elektronik GmbH & Co. KG entwickelt und fertigt in Riesa 19 8 Mio. Baugruppen und 1,2 Mrd. be- für E-Commerce, Inter- und Intranet-Portale, »Social Business« sowie elektronische Baugruppen und Systeme. Mit 900 Mitarbeitern ist BuS stückten Bauelementen. Web-IT-Management. Elektronik ein bewährter Electronic Manufacturing Services (EMS)- Foto unten rechts SYSTEMA ist ein weltweit tätiges IT- Dienstleister für Industrie- und Automobilelektronik, Gebäude- und Unternehmen mit Hauptsitz in Dresden (im Die COMPAREX AG mit Hauptsitz in Leipzig zählt zu den führenden Sicherheitstechnik, Kommunikationstechnik, Bahn- und Luftfahrt- Bild) und Niederlassungen in Regensburg und Corvallis (USA). Eine Niederlassung in herstellerunabhängigen IT-Dienstleistern in Europa. Rund 1.800 technik sowie Medizintechnik. Asien ist in Vorbereitung. Mitarbeiter sind an 75 Standorten in 28 Ländern weltweit aktiv. COMPAREX bietet Software, Consulting und Services hersteller- Seit 1990 dient der Standort Dresden der TechniSat Digital GmbH als übergreifend und aus einer Hand. Fokusthemen sind IT-Infrastruktur, Forschungs- und Entwicklungszentrum für die Bereiche Satellitenemp-
fangs- und Digitaltechnik sowie Digitalfernseher. Über 350 Mitarbeiter leistungen sowie Business-Software für mittelständische Unternehmen. Foto unten links Neben der Satellitenempfangstechnik entwickeln neben TechniSat-Markengeräten für den Endkunden auch Hosting- und Outsourcing-Services ergänzen die Angebotspalette. und Digital(fernseh)technik (im Bild: eine speziell zugeschnittene OEM-Konzepte für die Elektronik- und Platine) bilden vor allem die vernetzten Autoradio- und Navigations-Geräte der Automobilindustrie. Das Know-how beinhaltet sowohl die Hard- und Seit mehr als 22 Jahren entwickeln und installieren rund 50 Experten neuen Generation einen Entwicklungs- Software-Entwicklung als auch das Layout und die mechanische der Chemnitzer MEGWARE Computer Vertrieb und Service GmbH schwerpunkt am TechniSat-Standort Dresden. Hauptkunde ist die hierbei die Konstruktion der Geräte. maßgeschneiderte High-Performance-Computing-Lösungen (HPC) und VW-Gruppe. IT-Systemtechnik für Unternehmen und Forschungseinrichtungen in Foto unten rechts Die 1999 als Spin-off der Universitäten Leipzig und Halle gegründete Deutschland und Europa. MEGWARE-Supercomputer stehen für extrem Zu den herausragenden Referenzen von MEGWARE gehören Hochleistungs- itCampus Software- und Systemhaus GmbH ist heute eine Tochter hohe Rechenleistung bei gleichzeitiger Energieeffizienz. Viele der über rechner für das Albert-Einstein-Institut der Software AG. ItCampus besetzt im Konzern die globalen Kompe- 500 Systeme stehen in der TOP500-Liste der leistungsfähigsten Super- der Max-Planck-Gesellschaft in Potsdam-Golm, für die Gesellschaft für 20 tenzzentren Mobile Business Solutions, Agile Development Consulting computer der Welt. wissenschaftliche Datenverarbeitung sowie User Experience Design, Consulting & Development. Im Mittel- mbH in Göttingen oder der Vienna Scientific Cluster 2 (VSC-2, im Bild) an punkt stehen dabei die Entwicklung mobiler Geschäftsanwendungen, Die Robotron Datenbank-Software GmbH in Dresden entwickelt der Technischen Universität Wien. kundenspezifische IT-Lösungen sowie die Produktneuentwicklung. datenbankgestützte Informationssysteme für die Energiewirtschaft, Foto rechts Industrie und öffentliche Verwaltung. Auftraggeber erhalten Software- Die an der Fraunhofer-Einrichtung COMEDD in Dresden untersuchten und 2005 hat die polnische Comarch S.A. ihre deutsche Vertriebszentrale Lösungen und eigene Produkte auf Oracle-Basis. Das Leistungsan- hergestellten organischen Solarzellen von Frankfurt am Main nach Dresden verlagert. Das Angebot der gebot erstreckt sich von der ersten Idee bis zur Verfahrensbetreuung basieren auf Molekülen, die im Hoch- vakuum verdampfbar sind. (im Bild: Comarch Software AG umfasst Lösungen für die Branchen Tele- über den gesamten Software-Lebenszyklus hinweg. Blick durch eine transparente organische kommunikation, Banken und Versicherungen, Handel und Dienst- Solarzelle)
21 Mikro! Ausbildung & forschung
Ausbildung Sensing, Energie- und Automatisierungssysteme sowie biomedizinische Foto unten links Am Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) Technik, Elektromobilität und Regenerative Energietechnik. der TU Chemnitz werden Siliziumscheiben Mit 2.600 Studenten der Elektro- und Telekommunikationstechnik mit mikrometerkleinen mechanischen Strukturen beschichtet – etwa für Anwen- sowie rund 1.800 Informatik-Studenten ist die Technische Universität Die Technische Universität Bergakademie Freiberg bringt insbeson- dungen in der Luftfahrt- und Automobil Dresden die wichtigste »Kaderschmiede« der IT-Branche in Sachsen. dere ihre über 240-jährige Kompetenz auf dem Gebiet der Werkstoff- industrie. Zahlreiche der rund 1.200 Ingenieure, die seit 1997 von AMD bzw. wissenschaften in die Ausbildung und Forschung ein. Der Studiengang Foto unten rechts On-Wafer-Messplatz an der Professur heute von GLOBALFOUNDRIES für die Chipfabriken in Dresden »Elektronik- und Sensormaterialien« ist ein deutschlandweit einzig- »Elektronische Bauelemente und eingestellt wurden und werden, studierten an der TU. Seit 2012 bietet artiges Angebot. Die Absolventen sind bei Halbleiterunternehmen Integrierte Schaltungen« der TU Dresden zur elektrischen Charakteri- die TU Dresden einen weltweit einzigartigen Studiengang an – den sehr begehrt. sierung von sehr schnellen, integrierten Master in »Organischer und molekularer Elektronik«. In einem neu- Bauelementen. Daraus entwickelte Kompaktmodelle sind die Grundlage 22 artigen Lehrkonzept werden die Disziplinen Physik, Chemie, Elektro- Die Hochschule für Telekommunikation Leipzig (HfTL) bietet rund für den rechnergestützten Entwurf von technik und Materialwissenschaften praxisrelevant verbunden. 800 Studienplätze. Von der Deutschen Telekom AG gegründet, bildet energieeffizienten Schaltkreisen in drahtlosen Kommunikationssystemen, sie IKT- und TKI-Fachleute in direkten, dualen oder berufsbegleitenden z. B. für Mobilfunkanwendungen. Ob Mikrosensoren für Automobile und Flugzeuge, Aktoren oder Studiengängen aus. Optische Netze, Übertragungstechnik, Hochfre- gedruckte polymerelektronische Schaltkreise – Wissenschaftler der quenztechnik, Mobilfunk, »Next Generation Network Services« und Technischen Universität Chemnitz arbeiten erfolgreich im engen Wirtschaftsinformatik zählen zu den Spezialgebieten der HfTL. Kontakt zur Industrie und sorgen für eine praxisnahe Ausbildung in den Bereichen Mikrofertigungstechnik, Print- und Medientechnik, Mikro- Die dresden chip academy (dca) bietet in enger Kooperation mit und Nanosysteme, IKT, Intelligent Vehicles, Communication and Unternehmen Aus- und Weiterbildung in den Bereichen Mikrotechno-
Foto unten links logie, Mikrosystemtechnik, Mechatronik, Elektronik, Automatisierungs- Die Nanoelectronic Materials Laboratory gGmbH (NaMLab) ist ein Eines der Forschungsgebiete im Geschäftsfeld »Nanoelektronische Tech- und Messtechnik, Instandhaltung, Vakuumtechnik und Solartechnolo- An-Institut der Technischen Universität Dresden. Das NaMLab forscht nologien« am Fraunhofer-Institut IPMS gien an. Außerdem gibt es kooperative Studiengänge für Mikrotechnolo- an Materialien für nanoelektronische Anwendungen. Ein Schwerpunkt befasst sich mit Prozess und Simulation von chemisch-mechanischem Plana- gie, Mechatronik und Produktionstechnik. liegt in der Untersuchung von Materialien für energieeffiziente Halblei- risieren (CMP). Der Einfluss von Struktur- ter. Dazu gehört auch die Integration der Materialien in neue Bauele- größe und Verbrauchsmitteln wird dabei anhand eigens entwickelter CMP-Testwa- Mikro- und Nanoelektronik, Nanotechnologie mente und deren elektrische Charakterisierung. fer (im Bild: strukturierter Oxidwafer mit CMP-Testchip) untersucht. Die Wissenschaftler des Geschäftsfeldes »Nanoelektronische Techno- Am Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e. V. (HZDR) arbeiten Foto unten Mitte Das NaMLab betreibt auf dem Campus logien« am Fraunhofer-Institut IPMS forschen an der Weiterentwicklung 900 Mitarbeiter an der Entwicklung innovativer Materialien für Spei- der TU Dresden Forschungslabore, und Charakterisierung von Materialien, Analyse- und Prozessmethoden cher- und Computertechnologien der Zukunft. Zur Verbesserung der Reinräume sowie Büroplätze für insge- samt ca. 40 Forscher und Mitarbeiter. auf 300-mm-Wafern. Zu den Dienstleistungen gehören dabei u. a. die Qualität von Einkristallen berechnen HZDR-Forscher z. B. die Magnet- 23 maskenlose Strukturierung von Wafern durch Elektronenstrahllithografie felder, die benötigt werden, um aus flüssiger Siliziumschmelze perfekte Foto unten rechts Im Reinraumlabor (im Bild) der TU (E-Beam) oder die Materialanalyse mittels Atomsondentomografie. Die 300- bzw. 450-mm-Wafer produzieren zu können. Das Zentrum ist Freiberg stehen Grundtechnologien der Halbleiterfertigung zur Verfügung: der Forscher arbeiten auf über 800 m2 Reinraum- und Laborflächen auf dem auch in der spin- und optoelektronischen Forschung tätig. Lithografiebereich zur Strukturierung, Gelände von Infineon Technologies Dresden und arbeiten eng mit der ein nasschemischer Bereich für Ätz- und Reinigungsschritte, der Ofen- und CVD- Fab 1 von GLOBALFOUNDRIES zusammen. So ist es möglich, neue Gemeinsam mit der TU Bergakademie Freiberg betreibt das HZDR das Bereich zur Temperaturbehandlung und Entwicklungen schnell in Fertigungsabläufe einzubauen, was Herstellungs- Helmholtz-Institut Freiberg für Ressourcentechnologie zur Entwicklung chemischen Schichtabscheidung, der PVD-Bereich zur physikalischen Schicht- kosten und -zeit spart. neuer Technologien, um mineralische und metallhaltige Rohstoffe effi- abscheidung mittels Bedampfungs- und zienter bereitzustellen, zu nutzen sowie umweltfreundlich zu recyceln. Sputteranlagen.
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