Temperatur und Synchrotronstrahlung - Abteilung 7 - Physikalisch ...
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Physikalisch-Technische Bundesanstalt Nationales Metrologieinstitut Abteilung 7 Temperatur und Synchrotronstrahlung Abteilungsbericht 2020
Abteilung 7 Temperatur und Synchrotronstrahlung Prof. Dr. M. Richter Telefon: (030) 3481-7312 E-Mail: mathias.richter@ptb.de Fachbereich 7.1 Radiometrie mit Synchrotronstrahlung Dr. F. Scholze Telefon: (030) 3481-7202 E-Mail: frank.scholze@ptb.de Fachbereich 7.2 Röntgenmesstechnik mit Synchrotronstrahlung Dr. M. Krumrey Telefon: (030) 3481-7110 / 7260 E-Mail: michael.krumrey@ptb.de Fachbereich 7.3 Detektorradiometrie und Strahlungsthermometrie Dr. J. Hollandt Telefon: (030) 3481-7369 E-Mail: joerg.hollandt@ptb.de Fachbereich 7.4 Temperatur Dr. S. Rudtsch Telefon: (030) 3481-7650 E-Mail: steffen.rudtsch@ptb.de Fachbereich 7.5 Wärme und Vakuum Dr. K. Jousten Telefon: (030) 3481-7262 E-Mail: karl.jousten@ptb.de Fachbereich 7.6 Kryosensorik Dr. J. Beyer Telefon: (030) 3481-7379 E-Mail: joern.beyer@ptb.de Auszug aus dem PTB-Organigramm (Dezember 2020) Titelseite: Walther-Meißner-Bau im Januar 2021
Abteilungsbericht 2020 – Temperatur und Synchrotronstrahlung Das Pandemie-Jahr 2020 stellte auch Abteilung 7 und Herstellung ihrer High-End-Prozessoren eingesetzt insbesondere das im letzten Jahr etablierte neue Lei- wird, somit auch als Technologietreiber für digitale tungsteam vor eine Reihe von Herausforderungen, die Kommunikation, Internet der Dinge, E-Commerce, jedoch durch ein hohes Maß an Verantwortung und Smart Home oder Industrie 4.0 gilt und im November Engagement auf allen Ebenen gemeistert wurden. Im 2020 vom Bundespräsidenten mit dem Deutschen Bereich der internationalen Zusammenarbeit konnte Zukunftspreis ausgezeichnet wurde. sogar auch eine Reihe von Entwicklungs- und Schwel- lenländern bei dem Aufbau von Messkapazitäten und Die umfangreiche Zusammenarbeit der PTB mit der der Rückführung der messtechnischen Normale für EUVL-Industrie wird auch im Conceptual Design die berührungslose Bestimmung von Körpertempera- Report (CDR) für die Berlin Photon Factory heraus- turen (Bild 1) unterstützt werden. gestellt werden, die zurzeit in enger Abstimmung mit der PTB vom HZB entwickelt wird, um in den Mit einer Home-Office-Quote von im Mittel über Jahren nach 2030 die beiden derzeit auch von der 40 % seit März 2020 erreichten die Kennzahlen von PTB genutzten Synchrotronstrahlungsquellen MLS Abteilung 7 dennoch das gewohnt hohe Niveau, Ka- und BESSY II in Berlin-Adlershof zu ersetzen. Eine libriereinahmen und Drittmittel sogar neue Rekord- zusammenfassende Vorversion des CDR soll im Laufe werte. Das Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien des Jahres 2021 den zuständigen Stellen in der Helm- und Energie (HZB) gewährleistete dankenswerter holtz-Gemeinschaft und den Ministerien (BMBF, Weise den durchgehenden Betrieb der Metrology BMWi) vorgelegt werden. Light Source (MLS) für Messungen mit Synchrotron- strahlung insbesondere im Rahmen von Industrieko- High-End-Halbleiterstrukturen liegen heutzutage im operationen zur EUV-Lithografie (EUVL). Bereich von nur wenigen Nanometern. Halbleiter- technologie ist somit Nanotechnologie, die unter dem Eine wichtige Grundlage für die kontinuierliche Wei- hohen Druck einer stetigen Weiterentwicklung steht, terentwicklung von optischer Messtechnik im EUV- nicht nur von Produktionsprozessen sondern auch Spektralbereich bildet seit 1998 die Kooperation von von geeigneten Charakterisierungsverfahren. Die Fachbereich 7.1 mit Carl Zeiss, die im Sommer 2020 Beiträge der PTB in Adlershof dazu beschränken sich mit dem mittlerweile neunten Nachtrag bis Ende 2024 daher schon lange nicht mehr nur auf die Charak- verlängert wurde. Mit EUVL unterstützt die PTB seit terisierung von EUVL-Projektionsoptiken, sondern zwei Jahrzehnten eine wesentlich in Deutschland und umfassen auch den Einsatz von Synchrotronstrahlung Europa entwickelte Technologie, die seit 2019 von für die Entwicklung nanometrologischer Messverfah- den weltweit größten Halbleiterproduzenten für die ren, z. B. im Rahmen des vom Weltmarktführer für Bild 1: Messgeräte zur berührungslo- sen Bestimmung von Körpertem- peraturen und Kalibrierkurve 1
Abteilungsbericht 2020 – Abteilung 7 Bild 2: Photoemis- sionstomographie (3D-winkelaufge- löste Photoelek- tronenspektros- kopie, ARPES) zur Bestimmung der Orbitalstruktur und Aromatizität von Kekulen [A. Haags et al., ACS Nano 2020, 14, 15766–15775] EUVL-Systeme ASML koordinierten EU-Projektes UV-Spektralbereich (VUV) die in-situ-Synthese von IT2 oder auch einer Ende 2020 im Fachbereich 7.2 Kekulen auf einer Metalloberfläche nachgewiesen abgeschlossenen Promotion an der TU Berlin mit sowie die Struktur des molekularen Valenzorbitals dem Titel: Using Grazing Incidence Small-Angle X-Ray bestimmt werden (Bild 2). Scattering (GISAXS) for Semiconductor Nanometrology and Defect Quantification. Komplexe Verbundwerkstoffe mit nanoskaligen Strukturen werden oft als neue Materialien oder Zum PTB-Themenbereich Nanometrologie arbeiten Advanced Materials bezeichnet und sind in fast allen die beiden Adlershofer Fachbereich 7.1 und 7.2 sehr Technologiefeldern zu finden. Mit einer Nanostruktur eng auch mit anderen Organisationseinheiten inner- auf der Oberfläche konnten zum Beispiel die Refle- halb und außerhalb der PTB zusammen, etwa zur xionsverluste einer Halbleiterphotodiode verringert Rekonstruktion von 3D-Nanostrukturen mit Daten werden, was eine im Fachbereich 7.3 gemessene von EUV-Scatterometrie sowie Reflektometrie, Klein- UV-Quantenausbeute von über 130 % ermöglicht. winkelstreuung und aktuell Fluoreszenzmessungen Ganz allgemein bestimmen Struktur und Zusam- im Röntgenbereich, u. a. mit Fachbereich 8.4, der mensetzung neuer Materialien deren mechanische, Universität Twente und dem Kurchatov-Institut in chemische, elektronische oder optische Eigenschaften Moskau, oder zum Methodenvergleich rückführbarer und damit wesentlich deren Funktionalität, was Streu- und Mikroskopieverfahren mit den PTB- hochentwickelte nanoanalytische Messtechniken Fachbereichen 4.2, 5.1 und 5.2 sowie an ultrahellen erforderlich macht. Quantenpunkten mit der Bundesanstalt für Materi- alforschung und -prüfung (BAM) im Rahmen eines Im PTB-Labor bei BESSY II konnte mittels Rönt- EMPIR-Vorhabens. gendiffraktion unter streifendem Einfall (GIWAXS) im Rahmen einer Zusammenarbeit von Fachbereich Neben EUV- und Röntgenstrahlung werden bei der 7.2 mit dem HZB die Kristallstruktur von Perowskit- Methodenentwicklung zur Nanometrologie von Solarzellen charakterisiert werden (Bild 3), mit Fachbereich 7.1 auch weichere Spektralbereiche an denen ein neuer Rekord in der Gesamteffizienz für der MLS eingesetzt. So wurde kürzlich ein Infrarot- Tandemzellen von über 29 % erreicht wurde. Im Zu- Nahfeldmikroskop mit einem thermoelektrischen sammenhang mit der Entwicklung neuartiger Ener- Probenträger kombiniert, um mit Nanometerauflö- giematerialien steht auch ein neues DFG-Projekt mit sung molekulare Fingerabdrücke zu spektroskopie- der TU Chemnitz und der Universität Freiburg im ren. In Kooperation mit dem Forschungszentrum Schwerpunktprogramm „Polymer basierte Batterien“, Jülich und der Karl-Franzens-Universität Graz konnte bei dem sich die PTB mit hochauflösenden röntgen- mittels Photoemissionstomographie im Vakuum- analytischen in-operando-Messungen beteiligt. Mit 2
Abteilungsbericht 2020 – Temperatur und Synchrotronstrahlung Gasthermometer (DCGT) und Ergebnissen von Primärthermometern anderer Institute die Differenz zwischen thermodynamischer Temperatur und der entsprechend der Internationalen Temperaturskala ITS-90 mit einer um den Faktor vier geringeren Unsi- cherheit bestimmt werden. Zur Verringerung der Unsicherheit von thermodyna- mischen Temperaturmessungen mit Gasthermome- tern selbst wurden im Fachbereich 7.4 kürzlich the- oretisch berechnete Virialkoeffizienten von Helium in einem breiten Temperaturbereich experimentell bestätigt. Die Untersuchung der thermophysikali- schen Eigenschaften von Wasserstoff, Methan und binären Mischungen ist in Vorbereitung insbesondere auch mit Bezug zur PTB-Wasserstoffstrategie. Ein Bild 3: Röntgenstreuung unter streifendem Einfall (GIWAXS) im für das Benchmarking verschiedener thermoelektri- PTB-Labor bei BESSY II an einem CsPbI1.8Br1.2 Perovskit-Film [Al- Ashouri et al., Science 2020, 370, 1300-1309] scher Materialien entwickeltes Messmodul, das auf SI-Einheiten rückführbare und simultane Messungen des Seebeck-Koeffizienten und der elektrischen Leitfä- diesen Arbeiten zum Themenbereich Nanometrologie higkeit erlaubt, stellt ebenfalls einen Beitrag von Fach- trägt der Adlershofer Fachbereich 7.2 inhaltlich auch bereich 7.4 zum PTB-Querschnittsthema Energie dar. zum PTB-Querschnittsthema Energie bei. Die hochgenaue Messung der Schallgeschwindigkeit Energie ist in Abteilung 7 jedoch vor allem ein Thema in Meerwasser in Abhängigkeit von Druck, Tempera- am Campus Charlottenburg, insbesondere in den tur und Salinität im Rahmen eines Promotionsvorha- Fachbereichen 7.4 und 7.5 mit ihren Kernkompe- bens von Fachbereich 7.4 dient dagegen der Erfassung tenzen und Zuständigkeiten in den Bereichen Tem- und Modellierung von Klimaveränderungen (Bild 4). peratur, Wärme und Vakuum. So konnte zwischen Im Lenkungskreis Umwelt und Klima ist Abteilung 7 35 K und 200 K durch die Kombination neuester jedoch im Wesentlichen mit Expertise auf dem Gebiet PTB-Messungen mit dem Dielektrizitätskonstanten- der berührungslosen Temperaturmessung (Strah- Bild 4: Druckmess- zelle und Sensor des Messplatzes für die Bestim- mung der Schall- geschwindigkeit in Meerwasser 3
Abteilungsbericht 2020 – Abteilung 7 Messung der atmosphärischen Gegenstrahlung und der radiometrischen Rückführung durch die World Infrared Standard Group (WISG) am Physikalisch- Meteorologischen Observatorium Davos (PMOD) einen neuen Referenz-Schwarzkörper entwickelt und radiometrisch charakterisiert (Bild 5). Um das Monitoring von Aerosolen als eine der wesentlichen Variablen für Klimamodelle geht es bei der Multi-Viewing, Multi-Channel, Multi-Polarization Imaging Mission (3MI) des EUMETSAT Polar System Bild 5: Konstruktion und Realisierung des neuen Schwarzkörpers der PTB für die Rückführung der World Infrared Standard Group Satelliten-Programms der 2. Generation (2023 bis (WISG) am Physikalisch-Meteorologisches Observatorium Davos 2037). Dazu hat Fachbereich 7.3 mit einem neuarti- (PMOD). gen Strahldichtenormal das Optical Ground Support Equipment (OGSE) am Centre Spatial de Liege (CSL) lungsthermometrie) und der Infrarot-Erdferner- im Spektralbereich von 390 nm bis 2170 nm auf kundung vertreten. Fachbereich 7.3 hat im Rahmen das PTB-Primärnormal rückgeführt (Bild 6). Die des Baseline Surface Radiation Network (BSRN) zur quantitative Untersuchung von atmosphärischen Aerosolproben aus Feldmesskampagnen mit referenz- probenfreier Röntgenspektrometrie ist Gegenstand der EMPIR-Vorhaben AEROMET und AEROMET II, die im Fachbereich 7.2 koordiniert werden und im Jahr 2020 erfolgreich abgeschlossen bzw. gestartet wurden. Die Beiträge von Abteilung 7 zum PTB-Querschnitts- thema Quantentechnologie (QT) werden ab 2021 in den Walther-Meißner-Bau (WMB) verlagert, ein For- schungsneubau auf dem Campus Charlottenburg mit hochspezialisierten Labor-, Mess- und Reinräumen auf einer Nutzfläche von 2 325 m2 (Titelbild). Die Entwicklung, Herstellung und Anwendung von sup- raleitenden Quanteninterferenz-Detektoren (SQUID) im Fachbereich 7.6 zur Messung kleinster Magnetfel- der und Ströme bei tiefen Temperaturen steht dabei im Mittelpunkt. Berliner Beiträge zum QT-Zentrum (QTZ) der PTB liefern aber auch die Charlottenbur- ger Fachbereiche 7.4, 7.5, 7.3 und 8.2 und werden im WMB zusammengeführt. Im WMB soll ein Applikationslabor für QT-Anwen- dungen im Millikelvin-Bereich entstehen, verbunden mit dem Ausbau der bestehenden Netzwerke mit der der TU Berlin, den im WMB untergebrachten Firmen Magnicon und Entropy sowie den PTB-Abteilungen 2, 4, 6, 7 und 8. So kooperiert Fachbereich 7.6 in dem neuen Horizon-2020-Projekt AHEAD 2020 mit Bild 6: Strahldichtenormal zur Rückführung das Optical Ground Fachbereich 2.4 und Partnern der Space Research Support Equipment (OGSE) am Centre Spatial de Liege (CSL) auf das PTB-Primärnormal Organisation Netherlands (SRON) und dem National 4
Abteilungsbericht 2020 – Temperatur und Synchrotronstrahlung Temperaturen und klassischer Widerstandsthermo- metrie hat Fachbereich 7.6 im Jahr 2020 ein Patent angemeldet. Dieses neue Konzept eines Dual-mode Auto-calibrating Resistance Thermometer (DART) ist speziell für den industriell relevanten Temperaturbe- reich von 77 K bis 1000 K interessant und ermöglicht für praktische Anwendungen den direkten Anschluss an die seit Mai 2019 neu definierte SI-Temperatur- skala mit Messplätzen von Fachbereich 7.4 im WMB (Bild 7). Bild 7: DART-Prototyp bestehend aus Messverstärker (schwarze Box) und Digitalisierungsstufe (Platine rechts). Links ist die Ein- Auch die photonische Thermometrie stellt eine quan- speisung eines Testsignals in den Verstärkereingang zu sehen. tenbasierte Form der Temperaturmessung dar, die auf der Temperaturabhängigkeit optischer Materialpara- Institute of Advanced Industrial Science and Techno- meter basiert wie dem Brechungsindex. Im EMPIR- logy in Japan (AIST) auf dem Gebiet der Entwicklung Projekt PhotOQuant hat Fachbereich 7.4 dazu eine von Mikrowellen-SQUID-Multiplexern für den hoch- neue Generation von photonischen Mikroresonatoren empfindlichen Nachweis von Teilchen und Strahlung entwickelt und in einem kombinierten Design zusam- durch supraleitende Transition Edge Sensors (TESs). men mit elektrischen Sensoren auf einem mikrostruk- Die Fachbereiche 7.6 und 6.1 arbeiten auf dem Gebiet turierten Chip integriert. der Radionuklidspektroskopie zusammen und haben eine neue statistische Methode zur Korrektion von In den PTB-Lenkungskreisen für Medizin und Digita- Energiespektren entwickelt, die mit hochempfindli- lisierung ist Abteilung 7 derzeit noch nicht vertreten, chen metallisch-magnetischen Kalorimetern gemes- liefert aber inhaltliche Beiträge. So hat Fachbereich sen werden. 7.5 für die Vakuummetrologie die Erzeugung von di- gitalen Kalibrierscheinen in den Kalibrier-Workflow Ein zukunftsweisendes Arbeitsgebiet im WMB stellt integriert und gibt sie seit September 2020 für zwei auch die Rauschthermometrie dar, die auf dem ther- der Kalibrierdienstleistungen testweise zusätzlich zum mischen Rauschen eines Metallwiderstandes basiert. offiziellen gedruckten Kalibrierschein an alle Kunden Zur Kombination von Rauschthermometrie als aus. primäre Methode der Messung thermodynamischer Bild 8: Zwei Ausführungen mit identischem elektro-optischem Design für ein neues Ionisati- onsvakuummeter, gefertigt von den Firmen INFICON (links) und VACOM (rechts). 5
Abteilungsbericht 2020 – Abteilung 7 te und Normen“ (WIPANO) abgeschlossen, bei dem vereinheitliche Terminologien, Symbole und Einheiten für charakteristische Kenngrößen von dc-SQUID-Sensoren sowie Messmethoden zur deren Bestimmung entwickelt und erprobt wurden. Die Projektergebnisse wurden in die Arbeitsgruppe 14 „Supraleitende elektronische Bauelemente“ des Tech- nischen Komitees 90 „Supraleitung“ der International Electrotechnical Commission eingebracht. Bild 9: Hochreflektierende Folien zur Kaschierung von Isolations- Fachbereich 7.2 hat im Rahmen eines WIPANO-Nor- materialien mungsprojektes einen (teilweise inter-) nationalen Ringvergleich zur Totalreflexions-Röntgenfluores- Im Bereich Vakuummetrologie wird zurzeit auf zenzanalyse (TXRF) durchgeführt, der einen wichti- ISO-Ebene auch die Normung eines neuartigen, im gen Beitrag zur Aktualisierung der DIN-Norm 51003 EMPIR-Projekt 16NRM05 entwickelten Ionisations- „Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzanalyse (TXRF) vakuummeters als Bezugsnormal vorbereitet, bei dem – Allgemeine Grundlagen und Begriffe“ darstellt. die Elektronen auf geradem Weg den Ionisationsraum passieren, so dass deren Bahnlänge und damit die Für das Jahr 2021 beziehen sich wesentliche Ziele Empfindlichkeit gut simuliert werden kann (Bild 8). der Abteilung 7 auf Beiträge zum CDR für die Berlin Photon Factory, den Umzug in den Walther-Meißner- Fachbereich 7.5 hat im Jahr 2020 auch erfolgreich Bau, die Mitwirkung als Associated Partner beim Forschungsarbeiten zur Neufassung einer Europäi- Climate Change Center Berlin-Brandenburg, die schen Norm für thermische Energiemessgeräte abge- Umsetzung von Maßnahmen im Rahmen des Kon- schlossen, die u.a. die Verwendung von Wasser-Gly- junkturpakets der Bunderegierung sowie das interne kol-Gemischen als Wärmeträgermedium beinhaltet, Personalentwicklungskonzept. zum Beispiel für den Einsatz bei Solarthermieanlagen. Dazu wurde auch ein neuer Prüfstand errichtet, um die Messbeständigkeit vorhersagen zu können. Für Auswahl, Einbau und Betrieb thermischer Energie- messgeräte im gesetzlich geregelten Bereich sind auch in einem Fachbericht des European Committee for Standardization unter maßgeblicher Mitwirkung von Fachbereich 7.5 normierte Guidelines veröffentlicht worden. Das gesetzliche Messwesen gehört zu den grundle- genden Aufgaben der PTB. Neben 7.5 betrifft dies auch noch andere Fachbereiche in Abteilung 7. So hat Fachbereich 7.3 im Rahmen des kürzlich abge- schlossenen EMPIR-Projektes EMIRIM den Emissi- onsgrad hochreflektierender Folien untersucht, die zur Minimierung des Wärmestrahlungsverlustes von Isolationsmaterialien eingesetzt werden (Bild 9). Die Ergebnisse fließen nun in eine Europäische Norm ein. Fachbereich 7.6 hat ein Projekt mit der Magnicon GmbH und der Supracon AG im Förderprogramm „Wissens- und Technologietransfer durch Paten- 6
Abteilungsbericht 2020 – Abteilung 7 In Schlagzeilen: Nachrichten aus der Abteilung Grundlagen der Metrologie Methode. Die starke Reduktion der Rechenzeiten ermöglicht die Modellierung komplexer realer Thermoelektrische Nanospektroskopie zur Geometrien. (V. Soltwisch, FB 7.1, victor.soltwisch@ Abbildung molekularer Fingerabdrücke ptb.de, P. Hönicke, FB 7.2, philipp.hoenicke@ptb.de, Zur Detektion molekularer Fingerabdrücke im IR- S. Heidenreich, FB 8.4, sebastian.heidenreich@ptb.de) Spektralbereich wurde ein Nahfeldmikroskop mit einem thermoelektrischen Probenträger verbunden: Methodenvergleich zur dimensionellen Charakteri- Der durch die lokale Absorption im Nahfeld erzeugte sierung von ultrahellen Quantenpunkten Wärmegradient wird direkt im Probenträger in eine Im Rahmen eines EMPIR-Projektes wurde gemein- thermoelektrische Spannung umgewandelt und sam mit der BAM die Größe von Nanopartikeln mit ausgelesen. (B. Kästner, G. Ulrich, FB 7.1, bernd.kaes- Kern-Schale-Struktur untersucht. Mit Hilfe von Rönt- tner@ptb.de, georg.ulrich@ptb.de) genkleinwinkelstreuung (SAXS) konnten so Messun- gen mit Röntgenphotoelektronenspektroskopie (XPS) Low-Rank-Verfahren für schnelle IR-Spektro- und hochaufgelöster Transmissions-Elektronenmik- Mikroskopie roskopie (HR-TEM) an ultrahellen Quantenpunkten Nahfeld-basierte IR-Spektroskopie ermöglicht validiert werden. (M. Krumrey, D. Skroblin, FB 7.2, hochaufgelöste Messungen der chemischen Struktur michael.krumrey@ptb.de, dieter.skroblin@ptb.de) von Oberflächen, ist jedoch sehr zeitintensiv und führt potenziell zu Strahlenschäden. Mit der PTB- Inbetriebnahme und Charakterisierung eines vaku- Arbeitgruppe 8.42 und der FU Berlin wurde im DFG- umkompatiblen Detektors für Röntgenstreuexperi- Projekt Bayesian compressed sensing for nanoscale mente und Reflektometrie chemical mapping in the mid-infrared regime nun eine Im PTB-Labor bei BESSY II wurde am FCM- Low-Rank-Methode entwickelt, die es erlaubt einen Strahlrohr ein photonenzählender Flächendetektor räumlich-spektralen Datensatz biologischer Struk- installiert und charakterisiert, mit dem verschiedene turen mit nur 5 % der üblichen Messpunktzahl zu röntgenanalytische Messmethoden (Weitwinkelstreu- bestimmen. (B. Kästner, FB 7.1, bernd.kaestner@ptb. ung, Röntgendiffraktion, Nahkantenspektroskopie, de, C. Elster, FB 8.4, clemens.elster@ptb.de) Reflektometrie) im tender-X-ray-Bereich durchge- führt werden können. Die spezielle vakuumtaugliche Orbitalstruktur und Aromatizität von Kekulen Version des Detektors wurde in Zusammenarbeit mit durch Photoemission bestimmt dem Hersteller DECTRIS aus der Schweiz entwickelt. Gemeinsam mit dem Forschungszentrum Jülich und (D. Skroblin, C. Gollwitzer, FB 7.2, dieter.skroblin@ der Karl-Franzens-Universität Graz wurde mittels ptb.de, christian.gollwitzer@ptb.de) Photoemissionstomographie an der Metrology Light Source in-situ die Synthese von Kekulen auf einer Präzise Bestimmung von winkelabhängigen Metalloberfläche sowie dessen chemische Bindungs- atomaren Fundamentalparametern struktur nachgewiesen. (A. Gottwald, H. Kirschner, Für die Methodenentwicklung im Bereich der Rönt- FB 7.1, alexander.gottwald@ptb.de; hans.kirschner@ genspektrometrie wurde ein neuartiger rotationsfä- ptb.de) higer Detektoraufbau in Betrieb genommen und an unterschiedlichen Dünnschichtsystemen getestet. Der Algorithmus zur Rekonstruktion von Aufbau soll dazu verwendet werden, differentielle 3D-Nanostrukturen Streuquerschnitte mit Hilfe von monochromatisierter Mit der Universität Twente und dem Kurchatov- Synchrotronstrahlung physikalisch rückführbar zu Institut in Moskau wurde ein Algorithmus zur bestimmen. (A. Wählisch, B. Beckhoff, FB 7.2, andre. Beschreibung der Röntgenfluoreszenzemission von waehlisch@ptb.de, burkhard.beckhoff@ptb.de) periodischen dreidimensionalen Nanostrukturen auf Oberflächen bei Anregung unter streifendem Einfall entwickelt. Die Nutzung der Periodizität ermöglicht eine quasi-analytische Lösung der Maxwell-Gleichun- gen mit gleicher Genauigkeit wie die Finite-Elemente- 8
Abteilungsbericht 2020 – Temperatur und Synchrotronstrahlung Neue Photodiode aus schwarzem Silizium erreicht Endgültige Bestätigung der theoretisch berechneten Quantenausbeute von über 130 % im UV Virialkoeffizienten von Helium in einem breiten Kooperationspartner aus Finnland und Spanien ist es Temperaturbereich gelungen mit einer neuartigen Photodiode die externe Obwohl man mittels ab-initio-Methoden die Viri- Quantenausbeute im ultravioletten Spektralbereich alkoeffizienten und thermophysikalischen Stoffei- von unter 80 % auf über 130 % zu steigern. Dazu wur- genschaften von Helium sehr gut berechnen kann, den durch eine nanostrukturierte Oberfläche die Re- müssen Angaben zur entsprechenden Unsicherheit flektionsverluste an der Siliziumoberfläche und durch experimentell validiert werden. Aufgrund der Passivierung der Siliziumoberfläche mit einer Al2O3- hervorragenden Übereinstimmung von ab-initio- Schicht Verluste durch Oberfllächenrekombination Berechnungen des zweiten Virialkoeffizienten mit verringert. Wegen der Ausbildung eines durch Ober- experimentellen Ergebnissen der PTB, welche mittels flächenladung induzierten pn-Übergangs konnte auf Dielektrizitätskonstanten-Gasthermometrie im die Dotierung mit Fremdatomen zur Erzeugung eines Temperaturbereich von 4 K bis 273 K erzielt wurden, pn-Überganges verzichtet werden, was ebenfalls zur kann dieser zukünftig als berechenbarer Parameter hohen Quantenausbeute beiträgt. Die PTB, mit ihren angenommen werden. Dadurch wird eine deutliche Möglichkeiten zur präzisen Messung durch radiome- Verringerung der Unsicherheit von thermodynami- trische Rückführung in der UV-Detektorradiometrie, schen Temperaturmessungen mit Gasthermometern konnte diese hohen Empfindlichkeiten messtechnisch erreicht. (C. Gaiser, FB 7.4, christof.gaiser@ptb.de) validieren. (L. Werner, FB 7.3, lutz.werner@ptb.de) Referenzdaten für die Schallgeschwindigkeit in Primäres Rauschthermometer für tiefste Seewasser Temperaturen verbessert Für die Erfassung und Modellierung von Klimaver- Die Umsetzung der Neudefinition der Temperatur- änderungen werden hochgenaue Daten der Schallge- einheit erfordert die Entwicklung von Primärther- schwindigkeit in Meerwasser in Abhängigkeit vom mometern, welche die praktische Realisierung und Druck, der Temperatur und der Salinität benötigt. Weitergabe des Kelvins ermöglichen. Mit dieser Diese wurden im Rahmen eine Promotionsvorhaben Zielstellung wurde das primäre Magnetfeldfluktua- mit einer neu entwickelten Apparatur und einer tionsthermometer (pMFFT) für den Einsatz von 4 K in weiten Bereichen weltweit bisher unerreichten bis in den Millikelvinbereich substanziell verbessert Genauigkeit gemessen. (S. Rudtsch, FB 7.4, steffen. und eine Halbierung der Messunsicherheit erreicht. rudtsch@ptb.de) (A. Kirste, FB 7.4, alexander.kirste@ptb.de) Neue Chip-Generation mit integrierten optischen Verringerung der Unsicherheit der und elektrischen Sensoren für die photonischen thermodynamischen Temperaturmessung zwischen Thermometrie 35 K und 200 K Im EMPIR-Projekt PhotOQuant wurde die 2. Genera- Durch die Kombination neuester PTB-Messungen tion von photonischen Mikroresonatoren entwickelt mit dem Dielektrizitätskonstanten-Gasthermometer und in einem kombinierten Design zusammen mit (DCGT), im Bereich zwischen 35 K und 200 K, mit elektrischen Sensoren auf einem mikrostrukturierten weiteren Ergebnissen von Primärthermometern Chip integriert. Dies ermöglicht die zeitgleiche Tem- anderer Institute konnte die Differenz zwischen der peraturbestimmung mit elektrischen und optischen thermodynamischen Temperatur T und der Tem- Sensoren und somit den direkten Vergleich beider peratur gemäß der Internationalen Temperaturskala Verfahren. Ferner wurde ein neues Konzept zur von 1990 (ITS90) T90 mit einer um den Faktor vier Kopplung der Chips mit optischen Fasern bzw. Fa- geringeren Unsicherheit bestimmt werden. Die serarrays umgesetzt, welches es ermöglicht, bis zu 32 mit großer Genauigkeit ermittelte Differenz T–T90 photonische Mikroresonatoren synchron auszulesen. ermöglicht momentan den einfachsten Zugang zur (R. Eisermann, FB 7.4, rene.eisermann@ptb.de) thermodynamischen Temperatur, da in diesem Temperaturbereich nach wie vor die Realisierung der ITS-90 am effektivsten ist. (C. Gaiser, FB 7.4, christof. gaiser@ptb.de) 9
Abteilungsbericht 2020 – Abteilung 7 Laseroptische Temperaturmessung auf Basis Neue Methode zur Korrektion kalorimetrisch gefilterter Brillouin-Streuung bestimmter Energiespektren von Radionukliden Im Rahmen des ZIM-Projekts „Berührungsloser, Kalorimetrische Detektoren erlauben bei sehr tiefen hochgenauer Wärmestromsensor für Flüssigkeiten“ Temperaturen die hochgenaue Bestimmung der Ener- wird in Kooperation mit mehreren Partnern gegen- giespektren von Radionukliden mit hoher Quantenef- wärtig ein neuartiges, nichtinvasives Messprinzip fizienz. Werden Teilchen oder Strahlung aus einem zur Bestimmung der Temperatur von Flüssigkeiten radioaktiven Zerfall nicht oder nicht vollständig vom entwickelt. Hierfür kommt Laserstrahlung zum Kalorimeter absorbiert, sind gemessene Spektren Einsatz, welche beim Durchdringen der Flüssigkeit in fehlerhaft. Eine neue statistische Methode zur Korrek- verschiedene Komponenten mit charakteristischen tion derartiger Spektren ist in den Fachbereichen 6.1 Spektren gestreut wird. Relevant für das Messver- und 7.6, die gemeinsam ein Spektrometer basierend fahren ist dabei die Brillouin-Komponente, deren auf metallischen magnetischen Kalorimetern zur Spektrum unter anderem temperaturabhängig ist. Die Bestimmung von Nukliddaten betreiben, entwickelt spektrale Veränderung wird durch molekulare Ab- worden. Hierbei wird der typischerweise gut bekannte sorptionsfilterung des Streulichts und anschließende Detektor- bzw. Absorberaufbau mittels Monte-Carlo- Intensitätsmessung erfasst und so die Temperatur des Verfahren analysiert. Daraus wird eine detektorspe- Fluids bestimmt. (M. Kühn, M. Juling, FB 7.5, mar- zifische Matrix von Korrekturkoeffizienten ermittelt, kus.kuehn@ptb.de, markus.juling@ptb.de) mit deren Hilfe die Korrektion eines Spektrums erfolgen kann. (M. Paulsen FB 7.6, michael.paulsen@ Strömungssimulation in geschlossenen ptb.de) RohrleitungenUm bestmögliche Modelle für die Strömungssimulation hinter 90°-Bögen zu ermitteln, Metrologie für die Wirtschaft wurden verschiedene CFD-Löser (ANSYS Fluent, OpenFOAM und RapidCFD) verglichen. Die Ergeb- EUV Messungen für Industriepartner trotz nisse zeigen, dass insbesondere im Nahfeld bis etwa CORONA durchgehend verfügbar dem 10-fachen des Rohrdurchmessers die Verwen- Auch im eingeschränkten Betrieb wurde am EUV- dung von RANS-Modellen geeignet ist. Bei größeren Strahlrohr der MLS der Messbetrieb für die Industrie- Entfernungen wird die Verwendung von Hybrid-LES/ partner durch den engagierten Einsatz der EUV-Ar- RANS-Modellen empfohlen. (A. Ekat, FB 7.5, ann- beitsgruppe mit Unterstützung der Maschinengruppe kathrin.ekat@ptb.de) des HZB aufrechterhalten. Die MLS war in dieser Zeit die einzige Synchrotronstrahlungsquelle mit durch- Dynamische Druckänderungen beim Schließen von gehendem Betrieb. Dieser Beitrag zur Aufrechter- Ventilen quantifiziert haltung ihrer Fertigung wurde von den Partnern aus Beim Schließen von Vakuumventilen entstehen auf der Halbleiterindustrie mit großem Dank anerkannt. Grund des verdrängten Volumens kleine Druckdiffe- (M. Kolbe, 7.1, michael.kolbe@ptb.de) renzen vor und hinter dem Ventil. Die Berücksichti- gung dieser Druckdifferenzen ist für die Realisierung Kooperation mit Carl Zeiss zur EUV-Reflektometrie der Druckskala mit Hilfe des statischen Expansions- um weitere vier Jahre verlängert verfahrens im Bereich von 0.01 Pa bis 100 Pa von gro- Die seit 1998 bestehende enge Zusammenarbeit mit ßer Bedeutung, wenn mit kleinen Startvolumen ge- Carl Zeiss bildet eine wichtige Grundlage für die kon- arbeitet wird. Die Abhängigkeit des Differenzdrucks tinuierliche Weiterentwicklung der messtechnischen von Schließgeschwindigkeit, Startdruck, der Gasart Fähigkeiten der PTB im EUV-Spektralbereich. Mit und des Volumens wurde quantifiziert. Mit Hilfe dem 9. Nachtrag wurde die für beide Seiten erfolg- der ermittelten Korrekturfaktoren konnte die Unsi- reiche und zukunftsorientierte Zusammenarbeit bis cherheit der Druckdarstellung mit diesem Verfahren Ende 2024 verlängert. Im Rahmen dieses Vorhabens vermindert werden. (Th. Bock, M. Bernien, FB 7.5, entwickelt die PTB neue Messtechnik im Bereich des Thomas.Bock@ptb.de, Matthias.Bernien@ptb.de) EUV und stellt diese ihren zahlreichen Kooperations- partnern aus Forschungsinstituten und Industrie zur Verfügung. (M. Kolbe, 7.1, michael.kolbe@ptb.de) 10
Abteilungsbericht 2020 – Temperatur und Synchrotronstrahlung Start des ECSEL-JU-Projektes IT2 Der Ringvergleich ist ein wichtiger Beitrag zur Ak- Zur Sicherung der Wettbewerbsfähigkeit der Eu- tualisierung der DIN-Norm 51003 „Totalreflexions- ropäischen Industrie fördert die EU im von ASML Röntgenfluoreszenzanalyse (TXRF) – Allgemeine koordinierten Projekt IT2 (Start 1.6.2020) die Grundlagen und Begriffe“. (R. Unterumsberger, Entwicklung der EUV-Lithografie der nächsten B. Beckhoff, FB 7.2, rainer.unterumsberger@ptb.de, Generation und neuartiger 3D-Halbleiterstrukturen. burkhard.beckhoff@ptb.de) Der PTB-Fachbereiche 7.1, 7.2 und 5.2 beteiligen sich mit Elektronen- und Photonen-basierten Messme- Messbereich für die dynamische Emissionsgrad- thoden und werden mit Synchrotronstrahlung neue und Wärmekapazitätsmessung im Hochtemperatur- Messverfahren für die 2-nm-Technologie evaluieren. bereich erweitert (M. Kolbe, 7.1, michael.kolbe@ptb.de) Im Rahmen des EMPIR-Projekts Hi-Trace sollen Referenzmaterialien auf ihre thermophysikalischen Bestimmung von dimensionellen Gitterparametern Eigenschaften im Hochtemperaturbereich bis 3000 °C mit SAXS und GISAXS untersucht werden. Für die dynamische Messung Eine Serie von mehrfachstrukturierten Gittern mit des Emissionsgrades und der Wärmekapazität wurde einem Linienabstand von 32 nm und gezielt herge- hierfür ein neuer Hochtemperatur-Probenhalter aus stellten Unregelmäßigkeiten wurde im PTB-Labor hochreinem, isostatisch gepresstem Grafit aufgebaut. bei BESSY II mit GISAXS (Röntgenstreuung unter Durch das induktive Heizsystem wird so ein zielge- streifendem Strahlungseinfall) und beim NIST in naues Aufheizen der Probe bis ca. 2500 °C und gleich- USA mit Röntgenkleinwinkelstreuung (SAXS) in zeitig durch eine gekühlte Blende die Strahlformung Transmission untersucht. Die durch Simulation für die pulsartige Erwärmung via Laser ermöglicht. erhaltenen Gitterparameter stimmen gut überein. (D. Urban, FB 7.3, david.urban@ptb.de) GISAXS ist unabhängig von Transmission und Dicke des Substrats, dafür ist die Simulation deutlich auf- Neuer THz-Reflexionsmesskopf entwickelt wändiger. (M. Krumrey, FB 7.2, michael.krumrey@ Im Rahmen eines durch das Zentrale Innovationspro- ptb.de, V. Soltwisch, FB 7.1, victor.soltwisch@ptb.de) gramm Mittelstand (ZIM) geförderten Kooperations- projekts zur Terahertz (THz) Anwendung wurde von Erfolgreiche Charakterisierung eines kommerziel- der PTB ein robuster und kompakter THz-Messkopf len Röntgenfluoreszenzgeräts entwickelt. Betrieben mit einem vom Industriepartner Im Rahmen des EMPIR-SIP-Projekts Advancing entwickelten schnellen Zeitbereichsspektrometer Laboratory based X-ray Metrology techniques (AdLab- (TDS) soll seine Einsatzmöglichkeit zur zerstörungs- XMet) wurde eine Charakterisierungsmethodik für freien Prüfung in einem industriellen Produktions- kommerzielle Röntgenfluoreszenz-Laborgeräte mit prozess bei einem kooperierenden Forschungsinstitut streifendem Strahlungseinfall entwickelt und einge- nachgewiesen werden. Ziel des Projekts ist es, setzt. Durch diese Zusammenarbeit mit der Firma erstmals Produktionsfehler mit THz-Strahlung in Bruker Nano GmbH werden quantitative Untersu- Echtzeit zu diagnostizieren, die bisher nur zerstörend chungen mit den Laborgeräten ermöglicht. (P. Höni- am fertigen Produkt aufgedeckt werden konnten. cke, FB 7.2, philipp.hoenicke@ptb.de) (M. Kehrt FB 7.3, mathias.kehrt@ptb.de) Ringversuch zur Totalreflexions- Simultane Messung von Reflexions-, Transmission- Röntgenfluoreszenzanalyse (TXRF) und Emissionsgrad an semitransparenten Im Rahmen eines WIPANO-Normungsprojektes Materialien wurde ein (teilweise inter-)nationaler TXRF- Mithilfe eines eigens für diese Anwendung entwi- Ringvergleich mit sehr gut charakterisierten Proben ckelten Probenhalters und eines inversen Strah- durchgeführt, um unabhängig von möglichen Stör- lungstransportmodells wurden erstmals an der effekten durch die Probenpräparation zu werden. Emissionsgrad-Messanlage an Luft (EMAF) simultan Die gemittelten Ergebnisse der einzelnen Teilnehmer der spektral gerichtete Transmissions-, Reflexions- liegen im Wesentlichen innerhalb von 5 % und zeigen und Emissionsgrad gemessen. Aus diesen wurden die Zuverlässigkeit und Stärke der Methode TXRF. weitergehend die spektrale Brechzahl und der spekt- 11
Abteilungsbericht 2020 – Abteilung 7 rale Absorptionskoeffizient als fundamentale optische Messbeständigkeit von Wärmemengenzählern in Materialkonstanten identifiziert und ein vollständiges Wasser-Glykol-Gemischen Unsicherheitsbudget aufgestellt. (J. Gieseler, FB 7.3, Für die Vorhersage der Messbeständigkeit von Wär- julian.gieseler@ptb.de) memengenzählern bei Verwendung in verschiedenen Wasser-Glykol-Gemischen wurde ein neuer Prüfstand EMPIR-Projekt EMIRIM erfolgreich abgeschlossen errichtet. Der in Anlehnung zur Fachgrundnorm EN Im Rahmen des EMPIR-Projekts Improvement of 1434 induzierte thermische Stress hatte dabei nicht emissivity measurements on reflective insulation mate- nur auf die zu untersuchenden Messgeräte, sondern rials (EMIRIM) wurden gemeinsam von der PTB und auch auf den Prüfstand sowie die eingesetzten Mess- dem LNE Referenzproben entwickelt, um gezielt die fluide erhebliche Auswirkungen. Die Anlage wurde Messunsicherheit bei der anwendungsnahen Emissi- erfolgreich abgenommen und steht nun für die wei- onsgradmessungen von hochreflektierenden Folien zu tere Verwendung bereit. (B. Peetz, M. Juling, FB 7.5, verbessern. Diese Folien dienen zur Kaschierung von bastian.peetz@ptb.de, markus.juling@ptb.de vielfältigen Isolationsmaterialien, um deren Strah- lungsverlust zu minimieren. Mithilfe der Referenz- Routinemäßige Ausgabe von digitalen proben kann die derzeitige Messunsicherheit von 0,05 Testkalibrierscheinen auf 0,04 und perspektivisch auf 0,03 gesenkt werden. Die AG Vakuummetrologie hat die Erzeugung von Diese niedrigeren Werte fließen nun in die EN 16012 digitalen Kalibrierscheinen in ihren Kalibrier- ein und erlauben damit in Zukunft die Qualifizierung Workflow integriert. Sie basieren auf dem in der hochwertigerer Isolationsfolien. (A. Adibekyan, PTB entwickelten XML-Schema in seiner jeweils FB 7.3, albert.adibekyan@ptb.de) aktuellen Version. Seit September werden für zwei der Kalibrierdienstleistungen zusätzlich zum offiziellen Leistungsfaktor thermoelektrischer Materialien gedruckten Kalibrierschein testweise digitale Testka- In der AG Thermoelektrik wurde ein Messmodul librierscheine ausgegeben. Insgesamt sind dies bereits entwickelt, das auf SI-Einheiten rückführbare und si- 41. Der digitale Kalibrierschein erlaubt, Daten ohne multane Messungen des Seebeck-Koeffizienten S und Medienbruch direkt digital weiterzuverarbeiten und der elektrischen Leitfähigkeit σ thermoelektrischer so eine Automatisierung der Qualitätsinfrastruktur. Bulkmaterialien erlaubt. Kombiniert man die beiden (R. Niepraschk, Th. Bock, M. Bernien, 7.5, rolf. Transporteigenschaften miteinander, erhält man den niepraschk@ptb.de, thomas.bock@ptb.de, matthias. Leistungsfaktor thermoelektrischer Materialien, LF = bernien@ptb.de) S2σ, der ein Maß für die in diesem Material generier- bare elektrische Energie ist und das Benchmarking Elektronen auf geradem Weg verschiedener thermoelektrischer Materialien erlaubt. Das im EMPIR-Projekt 16NRM05 entwickelte (F. Edler, FB 7.4, frank.edler@ptb.de) neuartige Ionisationsvakuummeter wurde in einer zweiten, technisch verbesserten Modellreihe getestet. Lasergeschweißte Faser-Chip-Kopplung für die Die Elektronen gehen auf geradem Weg durch den photonische Thermometrie Ionisationsraum, so dass deren Bahnlänge gut vorher- In Kooperation mit dem Fraunhofer-Institut für sagbar ist. Die durch Simulationen und Messungen Zuverlässigkeit und Mikrointegration (IZM) wurde bestimmten Empfindlichkeiten stimmen hervorra- eine Vorstudie zur Faser-Chip-Kopplung für die gend überein, so dass auf ISO-Ebene die Normung photonische Thermometrie erfolgreich abgeschlossen. dieses Ionisationsvakuummeters als Bezugsnormal Hierbei konnten Glasfasern mittels eines Laserprozes- angestoßen werden kann. (K. Jousten, FB 7.5, karl. ses direkt mit einem mikrostrukturierten Siliziumchip jousten@ptb.de) verschweißt werden. Diese sowohl mechanisch als auch optisch stabile Verbindung zwischen Faser und WIPANO-Vorhaben „SQUID-Standards“ Chip ermöglicht die Nutzung der photonischen Ther- abgeschlossen mometer in einem erweiterten Temperaturbereich. Im Verbundvorhaben „Spezifikationen und standar- (S. Krenek, FB 7.4, stephan.krenek@ptb.de) disierte Charakterisierungsmethoden für SQUID- Sensoren“ im Förderprogramm „Wissens- und 12
Abteilungsbericht 2020 – Temperatur und Synchrotronstrahlung Technologietransfer durch Patente und Normen Jahre wurde in der PTB mit Röntgenreflektometrie – WIPANO“ mit den Vorhabenspartnern Magnicon (XRR) untersucht. (M. Krumrey, FB 7.2, michael. GmbH (Hamburg und Berlin) und Supracon AG krumrey@ptb.de) (Jena) wurden vereinheitliche Terminologien, Sym- bole und Einheiten für charakteristische Kenngrößen Strukturelle Charakterisierung hocheffizienter von dc-SQUID-Sensoren sowie Messmethoden zur Perowskit-Solarzellen deren Bestimmung entwickelt und erprobt. Die Im Rahmen einer Zusammenarbeit mit dem Helm- Projektergebnisse wurden in die Arbeitsgruppe holtz-Zentrum Berlin (HZB) konnte die Kristallstruk- 14 „Supraleitende elektronische Bauelemente“ des tur von Perowskit-Solarzellen charakterisiert werden, Technischen Komitees 90 „Supraleitung“ der Interna- mit denen ein neuer Rekord in der Gesamteffizienz tional Electrotechnical Commission eingebracht und für Tandemzellen von über 29 % erreicht wurde. Die werden internationale technischen Spezifikationen Strukturanalyse mittels Röntgendiffraktion unter für die Leistungsparameter von dc-SQUID-Sensoren/ streifendem Einfall (GIWAXS) ermöglichte überdies, Systemen ermöglichen. Dadurch werden die Markt- den Einfluss des Temperns auf die Kristallstruktur transparenz für derartige Bauelemente befördert und somit die Effizienz zu untersuchen. (D. Skroblin, und die Erschließung neuer SQUID-Anwendungen, C. Gollwitzer, FB 7.2, dieter.skroblin@ptb.de, christi- insbesondere im industriellen Bereich, unterstützt. an.gollwitzer@ptb.de) (J. Beyer, FB 7.6, joern.beyer@ptb.de) Steady-State-Microbunching an der MLS Patent für neues Rauschthermometer angemeldet Die Untersuchungen an der Metrology Light Source Ein an der PTB entwickeltes neues Konzept zur (MLS) zum Steady-State-Microbunching, d. h. die Temperaturmessung mittels elektrischer Widerstände durch einen Laser dem Elektronenstrahl aufgeprägte wurde im Oktober beim Deutschen Patent- und Mikrostruktur in der Größe der Laserwellenlänge, die Markenamt zum Patent angemeldet. Die Erfindung mindestens einen Umlauf des Elektronenpakets um kombiniert die etablierte Thermometrie mit gegebe- den Speicherring erhalten bleibt, wurden durch die nenfalls rückgeführten Widerstandsthermometern Untersuchungen erster Parameterabhängigkeiten er- und die Rauschthermometrie als eine primäre folgreich fortgeführt. Auch wurde ein neuer Laser mit Methode zur Messung der thermodynamischen Tem- besserer zeitlicher Stabilität installiert und charakteri- peratur und ist speziell für den industriell relevanten siert. (R. Klein, FB 7.2, roman.klein@ptb.de, A. Hoehl, Temperaturbereich von 77 K bis 1000 K interessant. FB 7.1, arne.hoehl@ptb.de) Eine sequenzielle Messprozedur und eine spezielle Datenanalyse unterdrücken parasitäre Einflüsse der DFG-Projekt zu neuartigen Lithium-Schwefel- Sensorverdrahtung und des Verstärkers für die Sen- Batterien sorauslesung auf die Temperaturmessung. Das neue Im Schwerpunktprogramm „Polymer-basierte Bat- Konzept wurde bereits experimentell demonstriert terien“ der DFG konnte ein Verbundprojekt zur in- und soll als ein handliches Gerät mit USB-Speisung operando-Untersuchung von neuen Materialien für und erdfreier Messelektronik zukünftig auch kom- Lithium-Schwefel-Batterien mit röntgenanalytischen merzialisiert werden. (D. Drung, FB 7.6, dietmar. Methoden eingeworben werden. Partner sind die TU drung@ptb.de) Chemnitz und die Universität Freiburg. Die Weiter- entwicklung der Messtechnik für die Aufnahme von hochauflösenden Röntgenemissionsspektren während Metrologie für die Gesellschaft der Zyklisierung der neuen Batterien ist ein wichtiger Schwerpunkt der PTB in diesem Projekt. Das im Langzeitstabilität von Mulitschichichtspiegeln für Aufbau befindliche neue Mikrofokus-Strahlrohr für ATHENA tender-X-rays im PTB-Labor bei BESSY II wird die Für das von der ESA geplante Röntgenobservatorium effiziente Durchführung solcher Messungen ermögli- ATHENA sind Silizium-Porenoptiken vorgesehen, chen. (M. Müller, C. Zech, FB 7.2, matthias.mueller@ deren Oberflächen zur Erhöhung des Reflexionsgrads ptb.de, claudia.zech@ptb.de) mit Iridium und Borcarbid (Ir/B4C) beschichtet wer- den sollen. Die Stabilität dieser Schichten über viele 13
Abteilungsbericht 2020 – Abteilung 7 Abschluss des EMPIR Vorhabens AEROMET und neuen Schwarzkörper auf eine zweite unabhängige Start von AEROMET II Weise auf das SI zurückgeführt. Die Konsistenz der Das von der AG 7.24 koordinierte EMPIR-Projekt bisherigen Rückführung im Rahmen der angestrebten AEROsol METrology for atmospheric science and air Unsicherheit von 0,5 W/m2 konnte gezeigt werden. quality (AEROMET) ist erfolgreich im September (M. Feierabend, FB 7.3, moritz.feierabend@ptb.de) 2020 abgeschlossen worden. Die PTB war mit refe- renzprobenfreier Röntgenspektrometrie beteiligt, um Charakterisierung der Prototypen der FORUM Re- mit der quantitativen Untersuchung von Proben aus ferenzsschwarzkörper Feldmesskampagnen die mit Labormessgeräten erhal- Im Rahmen der Phase B1 der Entwicklung des Earth tenen Ergebnisse zu validieren. Das ebenfalls von 7.24 Explorers 9 der ESA: FORUM (Far-infrared Outgoing koordinierte Nachfolgeprojet AEROMET II wurde Radiation Understanding and Monitoring) wurden die mit einem virtuellen Kick-off Meeting erfolgreich ge- Prototypen für die on-board-Referenzschwarzkörper startet. (Y. Kayser, B. Beckhoff, FB 7.2, yves.kayser@ der beiden derzeit noch konkurrierenden Herstel- ptb.de, burkhard.beckhoff@ptb.de) lerkonsortien charakterisiert. Beide Schwarzkörper wurden im Bereich von 6 µm bis 100 µm vollständig Abschluss des EMPIR Vorhabens ADVENT spektral vermessen, und es konnte gezeigt werden, Das EMPIR-Projekt ADVanced ENergy-saving Tech- dass beide Schwarzkörperkonzepte für die spätere nology (ADVENT), an dem die PTB mit Röntgen- Anwendung als Referenzquelle auf dem FORUM- und Infrarot-Spektroskopie (FTIR) zur zeitaufgelös- Satelliten geeignet sind. (C. Monte, FB 7.3, christian. ten Untersuchung von piezoelektrischen Materialien monte@ptb.de) beteiligt war, wurde erfolgreich im August 2020 abgeschlossen. (B. Kästner, FB 7.1, Y. Kayser, FB 7.2, Rückführung des EUMETSAT Polar System bernd.kaestner@ptb.de, yves.kayser@ptb.de) Satelliten-Programms Ziel der Kooperation der PTB mit dem Centre Spatial Horizon-2020-Vorhaben CHALLENGES gestartet de Liege (CSL) war die Rückführung des Optical Das Horizon-2020-Projekt Real-time nano CHArac- Ground Support Equipment (OGSE) des CSL auf terization reLatEd techNoloGiES (CHALLENGES), das SI für die radiometrische Charakterisierung der dessen Workpackage zur Standardisierung vom FB Multi-Viewing, Multi-Channel, Multi-Polarization 3.1 und der AG 7.24 gemeinsam geleitet wird, wurde Imaging Mission (3MI) des EUMETSAT Polar System erfolgreich mit einem virtuellen Kick-off Meeting Satelliten-Programms der 2. Generation (2023 bis gestartet. Die PTB wird u.a. zur Bewertung und 2037). Die Aufgabe des 3MI-Instruments ist das Mo- Standardisierung von industriellen Messverfahren in nitoring von Aerosolen als eine der wesentlichen Va- den Bereichen Nanoelektronik und Photovoltaik bei- riablen für Klimamodelle. Dazu wurde ein neuartiges tragen. (R. Stosch, FB 3.1, B. Beckhoff, FB 7.2, rainer. Strahldichtenormal, auf der Basis einer Ulbrichtkugel stosch@ptb.de, burkhard.beckhoff@ptb.de) und einer LDLS-Strahlungsquelle, dessen optische Strahlung über optische Fasern eingekoppelt wird, in IR-Strahlungsmessungen der Atmosphäre werden 12 spektralen Kanälen im Spektralbereich von 390 nm präziser bis 2170 nm mit dem Primärnormal für spektrale Die PTB hat einen neuen Referenz-Schwarzkörper Strahldichte der PTB verglichen. Im gesamten Spek- entwickelt, der für die Kalibrierung von IR-Detek- tralbereich konnten erweiterte Messunsicherheiten toren mit einem hemisphärischen Akzeptanzwinkel (k = 2) der spektralen Strahldichte kleiner als 1,5 % optimiert ist. Derartige Detektoren werden vom erreicht werden. (D. Taubert, FB 7.3, dieter.taubert@ Baseline Surface Radiation Network (BSRN) zum Mes- ptb.de) sen der atmosphärischen Gegenstrahlung eingesetzt. Die Rückführung geschieht auf die World Infrared Standard Group (WISG) am Physikalisch-Meteo- rologisches Observatorium Davos (PMOD). Die WISG wurde nun im Rahmen des EMPIR-Projekts MetEOC3 durch die Charakterisierung mit dem 14
Abteilungsbericht 2020 – Temperatur und Synchrotronstrahlung Erfolgreich abgeschlossene PTB-Forschungsar- Internationale Zusammenarbeit beiten zur Normneufassung CEN prEN 1434:2020 Thermal Energy Meters Beratung von Entwicklungsländern zu Im Jahr 2020 wurde die Erweiterung der zur MID berührungslosen Körpertemperaturmessungen harmonisierten Fachgrundnorm prEN 1434:2020 zur Die COVID-19 Pandemie stellt insbesondere europäischen Schlussabstimmung veröffentlicht, die Entwicklungs- und Schwellenländer vor große Her- wesentlich auf Forschungsarbeiten und Gremienar- ausforderungen in Bezug auf die Leistungsfähigkeit beiten der PTB beruht. Kerninhalte sind messtech- der Qualitätsinfrastruktur im Gesundheitswesen. nisch abgesicherte Prognosen der Messbeständigkeits- In Zusammenarbeit mit der Gruppe 9.3 hat der dauer, Verwendung von Wasser-Glykol-Gemischen Fachbereich 7.3 die Länder Ghana, Uganda, Ruanda, als Wärmeträgermedium, Teststrategien zum mess- Georgien und Mongolei bei dem Aufbau von Messka- technischen Verhalten gestörter Zulaufströmungsbe- pazitäten und der Rückführung der messtechnischen dingungen sowie Anforderungen zur Störabstandsun- Normale für die berührungslose Bestimmung von tersuchungen unter elektromagnetischen Fern- und Körpertemperaturen durch Beratung bei der Auswahl Nahfeldbedingungen. Außerdem wurden normierte geeigneter Messmittel, Hilfestellung bei der Durch- Richtlinien für Auswahl, Einbau und Betrieb ther- führung der Messungen entsprechend geltender mischer Energiemessgeräte im gesetzlich geregelten Normen sowie durch Kalibrierung von geeigneten Bereich unter maßgeblicher PTB-Mitwirkung zur Referenz-Infrarotstrahlern unterstützt. (I. Müller, europäischen Schlussabstimmung im Fachbericht FB 7.3, ingmar.mueller@ptb.de) prCEN/TR 00176037:2020 veröffentlicht. (J. Rose, FB 7.5, juergen.rose@ptb.de) Schlüsselvergleich mit dem Staatsinstitut von Russland abgeschlossen Entwicklung von Mikrowellen-SQUID-Multiplexern Die Sicherstellung der messtechnischen Rückführung zur Auslesung supraleitender Strahlungsdetektoren der Staaten im Euro-Asiatischen Raum (COOMET) SQUID-basierte Strommessung ist die Methode der für Temperaturmessgrößen erfolgt nahezu aus- Wahl, um sogenannte Transition Edge Sensors (TESs), schließlich durch das Staatsinstitut von Russland. Zur supraleitenden Detektoren für Teilchen und Strah- Absicherung der internationalen Vergleichbarkeit hat lung, auszulesen. Für Messsysteme mit hunderten der Fachbereich Temperatur einen bilateralen Schlüs- oder tausenden TES-Detektoren sind SQUID-Multi- selvergleich mit dem russischen Staatsinstitut durch- plexer erforderlich. In einem in diesem Jahr begonnen geführt und durch die sehr gute Übereinstimmung die Horizon-2020-Vorhaben der EU beteiligt sich die Konsistenz der Skalenrealisierungen nachgewiesen. PTB an der Entwicklung von Mikrowellen-SQUID- (S. Rudtsch, FB 7.4, steffen.rudtsch@ptb.de) Multiplexern. Die Fachbereiche 2.4 und 7.6 koope- rieren in dem Projekt AHEAD 2020 mit Partnern der Vergleich von Hochvakuumskalen abgeschlossen Space Research Organisation Netherlands (SRON) und In den letzten drei Jahren wurde der Vergleich dem National Institute of Advanced Industrial Science EURAMET.M.P-K15.1 zum Vergleich der Vakuums- and Technology in Japan (AIST). Die PTB wird kom- kalen von 10–4 Pa bis 1 Pa durchgeführt. Einbezogen plexe Mikrowellen-SQUID-Multiplexer-Schaltungen waren neben der PTB als Pilotlabor das früher von entwickeln und herstellen, die speziell für TES-basier- der DAkkS akkreditierte Nationale Metrologieinstitut te, abbildende Röntgen-Spektrometrie für zukünftige NIMT aus Thailand, das designierte Institut IMT aus astronomische Instrumente ausgelegt sind. (J. Beyer, Slowenien, und TÜBITAK-UME aus der Türkei. Die FB 7.6, joern.beyer@ptb.de) PTB stellte den Referenzwert zum Schlüsselvergleich CCM.P-K15 her. Alle En-Werte waren kleiner als 0,6, so dass sowohl das NIMT als auch das IMT neue CMC-Einträge bei der Datenbank des BIPM begrün- den können. (K.Jousten, FB 7.5, Karl.Jousten@ptb.de) 15
Abteilungsbericht 2020 – Abteilung 7 16
Physikalisch-Technische Bundesanstalt Abbestraße 2–12 Die Physikalisch-Technische Bundesanstalt, 10587 Berlin das nationale Metrologieinstitut, ist eine Abteilung 7 | Temperatur und Synchrotronstrahlung wissenschaftlich-technische Bundesoberbehörde im Geschäftsbereich des Bundesministeriums für Assistenz Wirtschaft und Energie. Margit Kleinsorge Telefon: (030) 3481-7464 Telefax: (030) 3481-7503 E-Mail: margit.kleinsorge@ptb.de https://www.ptb.de/cms/ptb/fachabteilungen/abt7.html Stand: 3 / 2021
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