Temperatur und Synchrotronstrahlung - Abteilung 7 - Physikalisch ...

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Temperatur und Synchrotronstrahlung - Abteilung 7 - Physikalisch ...
Physikalisch-Technische Bundesanstalt
Nationales Metrologieinstitut

Abteilung 7
Temperatur und
Synchrotronstrahlung
Abteilungsbericht 2020
Temperatur und Synchrotronstrahlung - Abteilung 7 - Physikalisch ...
Abteilung 7
Temperatur und Synchrotronstrahlung
Prof. Dr. M. Richter
Telefon: (030) 3481-7312
E-Mail: mathias.richter@ptb.de

Fachbereich 7.1
Radiometrie mit
Synchrotronstrahlung
Dr. F. Scholze
Telefon: (030) 3481-7202
E-Mail: frank.scholze@ptb.de

Fachbereich 7.2
Röntgenmesstechnik mit
Synchrotronstrahlung
Dr. M. Krumrey
Telefon: (030) 3481-7110 / 7260
E-Mail: michael.krumrey@ptb.de

Fachbereich 7.3
Detektorradiometrie und
Strahlungsthermometrie
Dr. J. Hollandt
Telefon: (030) 3481-7369
E-Mail: joerg.hollandt@ptb.de

Fachbereich 7.4
Temperatur
Dr. S. Rudtsch
Telefon: (030) 3481-7650
E-Mail: steffen.rudtsch@ptb.de

Fachbereich 7.5
Wärme und Vakuum
Dr. K. Jousten
Telefon: (030) 3481-7262
E-Mail: karl.jousten@ptb.de

Fachbereich 7.6
Kryosensorik
Dr. J. Beyer
Telefon: (030) 3481-7379
E-Mail: joern.beyer@ptb.de

Auszug aus dem PTB-Organigramm
(Dezember 2020)                       Titelseite: Walther-Meißner-Bau im Januar 2021
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Abteilungsbericht 2020 – Temperatur und Synchrotronstrahlung

Das Pandemie-Jahr 2020 stellte auch Abteilung 7 und     Herstellung ihrer High-End-Prozessoren eingesetzt
insbesondere das im letzten Jahr etablierte neue Lei-   wird, somit auch als Technologietreiber für digitale
tungsteam vor eine Reihe von Herausforderungen, die     Kommunikation, Internet der Dinge, E-Commerce,
jedoch durch ein hohes Maß an Verantwortung und         Smart Home oder Industrie 4.0 gilt und im November
Engagement auf allen Ebenen gemeistert wurden. Im       2020 vom Bundespräsidenten mit dem Deutschen
Bereich der internationalen Zusammenarbeit konnte       Zukunftspreis ausgezeichnet wurde.
sogar auch eine Reihe von Entwicklungs- und Schwel-
lenländern bei dem Aufbau von Messkapazitäten und       Die umfangreiche Zusammenarbeit der PTB mit der
der Rückführung der messtechnischen Normale für         EUVL-Industrie wird auch im Conceptual Design
die berührungslose Bestimmung von Körpertempera-        Report (CDR) für die Berlin Photon Factory heraus-
turen (Bild 1) unterstützt werden.                      gestellt werden, die zurzeit in enger Abstimmung
                                                        mit der PTB vom HZB entwickelt wird, um in den
Mit einer Home-Office-Quote von im Mittel über          Jahren nach 2030 die beiden derzeit auch von der
40 % seit März 2020 erreichten die Kennzahlen von       PTB genutzten Synchrotronstrahlungsquellen MLS
Abteilung 7 dennoch das gewohnt hohe Niveau, Ka-        und BESSY II in Berlin-Adlershof zu ersetzen. Eine
libriereinahmen und Drittmittel sogar neue Rekord-      zusammenfassende Vorversion des CDR soll im Laufe
werte. Das Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien     des Jahres 2021 den zuständigen Stellen in der Helm-
und Energie (HZB) gewährleistete dankenswerter          holtz-Gemeinschaft und den Ministerien (BMBF,
Weise den durchgehenden Betrieb der Metrology           BMWi) vorgelegt werden.
Light Source (MLS) für Messungen mit Synchrotron-
strahlung insbesondere im Rahmen von Industrieko-       High-End-Halbleiterstrukturen liegen heutzutage im
operationen zur EUV-Lithografie (EUVL).                 Bereich von nur wenigen Nanometern. Halbleiter-
                                                        technologie ist somit Nanotechnologie, die unter dem
Eine wichtige Grundlage für die kontinuierliche Wei-    hohen Druck einer stetigen Weiterentwicklung steht,
terentwicklung von optischer Messtechnik im EUV-        nicht nur von Produktionsprozessen sondern auch
Spektralbereich bildet seit 1998 die Kooperation von    von geeigneten Charakterisierungsverfahren. Die
Fachbereich 7.1 mit Carl Zeiss, die im Sommer 2020      Beiträge der PTB in Adlershof dazu beschränken sich
mit dem mittlerweile neunten Nachtrag bis Ende 2024     daher schon lange nicht mehr nur auf die Charak-
verlängert wurde. Mit EUVL unterstützt die PTB seit     terisierung von EUVL-Projektionsoptiken, sondern
zwei Jahrzehnten eine wesentlich in Deutschland und     umfassen auch den Einsatz von Synchrotronstrahlung
Europa entwickelte Technologie, die seit 2019 von       für die Entwicklung nanometrologischer Messverfah-
den weltweit größten Halbleiterproduzenten für die      ren, z. B. im Rahmen des vom Weltmarktführer für

                                                                                             Bild 1: Messgeräte
                                                                                             zur berührungslo-
                                                                                             sen Bestimmung
                                                                                             von Körpertem-
                                                                                             peraturen und
                                                                                             Kalibrierkurve

                                                                                                             1
Temperatur und Synchrotronstrahlung - Abteilung 7 - Physikalisch ...
Abteilungsbericht 2020 – Abteilung 7

                                                                                            Bild 2: Photoemis-
                                                                                            sionstomographie
                                                                                            (3D-winkelaufge-
                                                                                            löste Photoelek-
                                                                                            tronenspektros-
                                                                                            kopie, ARPES) zur
                                                                                            Bestimmung der
                                                                                            Orbitalstruktur
                                                                                            und Aromatizität
                                                                                            von Kekulen [A.
                                                                                            Haags et al., ACS
                                                                                            Nano 2020, 14,
                                                                                            15766–15775]

EUVL-Systeme ASML koordinierten EU-Projektes           UV-Spektralbereich (VUV) die in-situ-Synthese von
IT2 oder auch einer Ende 2020 im Fachbereich 7.2       Kekulen auf einer Metalloberfläche nachgewiesen
abgeschlossenen Promotion an der TU Berlin mit         sowie die Struktur des molekularen Valenzorbitals
dem Titel: Using Grazing Incidence Small-Angle X-Ray   bestimmt werden (Bild 2).
Scattering (GISAXS) for Semiconductor Nanometrology
and Defect Quantification.                             Komplexe Verbundwerkstoffe mit nanoskaligen
                                                       Strukturen werden oft als neue Materialien oder
Zum PTB-Themenbereich Nanometrologie arbeiten          Advanced Materials bezeichnet und sind in fast allen
die beiden Adlershofer Fachbereich 7.1 und 7.2 sehr    Technologiefeldern zu finden. Mit einer Nanostruktur
eng auch mit anderen Organisationseinheiten inner-     auf der Oberfläche konnten zum Beispiel die Refle-
halb und außerhalb der PTB zusammen, etwa zur          xionsverluste einer Halbleiterphotodiode verringert
Rekonstruktion von 3D-Nanostrukturen mit Daten         werden, was eine im Fachbereich 7.3 gemessene
von EUV-Scatterometrie sowie Reflektometrie, Klein-    UV-Quantenausbeute von über 130 % ermöglicht.
winkelstreuung und aktuell Fluoreszenzmessungen        Ganz allgemein bestimmen Struktur und Zusam-
im Röntgenbereich, u. a. mit Fachbereich 8.4, der      mensetzung neuer Materialien deren mechanische,
Universität Twente und dem Kurchatov-Institut in       chemische, elektronische oder optische Eigenschaften
Moskau, oder zum Methodenvergleich rückführbarer       und damit wesentlich deren Funktionalität, was
Streu- und Mikroskopieverfahren mit den PTB-           hochentwickelte nanoanalytische Messtechniken
Fachbereichen 4.2, 5.1 und 5.2 sowie an ultrahellen    erforderlich macht.
Quantenpunkten mit der Bundesanstalt für Materi-
alforschung und -prüfung (BAM) im Rahmen eines         Im PTB-Labor bei BESSY II konnte mittels Rönt-
EMPIR-Vorhabens.                                       gendiffraktion unter streifendem Einfall (GIWAXS)
                                                       im Rahmen einer Zusammenarbeit von Fachbereich
Neben EUV- und Röntgenstrahlung werden bei der         7.2 mit dem HZB die Kristallstruktur von Perowskit-
Methodenentwicklung zur Nanometrologie von             Solarzellen charakterisiert werden (Bild 3), mit
Fachbereich 7.1 auch weichere Spektralbereiche an      denen ein neuer Rekord in der Gesamteffizienz für
der MLS eingesetzt. So wurde kürzlich ein Infrarot-    Tandemzellen von über 29 % erreicht wurde. Im Zu-
Nahfeldmikroskop mit einem thermoelektrischen          sammenhang mit der Entwicklung neuartiger Ener-
Probenträger kombiniert, um mit Nanometerauflö-        giematerialien steht auch ein neues DFG-Projekt mit
sung molekulare Fingerabdrücke zu spektroskopie-       der TU Chemnitz und der Universität Freiburg im
ren. In Kooperation mit dem Forschungszentrum          Schwerpunktprogramm „Polymer basierte Batterien“,
Jülich und der Karl-Franzens-Universität Graz konnte   bei dem sich die PTB mit hochauflösenden röntgen-
mittels Photoemissionstomographie im Vakuum-           analytischen in-operando-Messungen beteiligt. Mit
2
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Abteilungsbericht 2020 – Temperatur und Synchrotronstrahlung

                                                                    Gasthermometer (DCGT) und Ergebnissen von
                                                                    Primärthermometern anderer Institute die Differenz
                                                                    zwischen thermodynamischer Temperatur und der
                                                                    entsprechend der Internationalen Temperaturskala
                                                                    ITS-90 mit einer um den Faktor vier geringeren Unsi-
                                                                    cherheit bestimmt werden.

                                                                    Zur Verringerung der Unsicherheit von thermodyna-
                                                                    mischen Temperaturmessungen mit Gasthermome-
                                                                    tern selbst wurden im Fachbereich 7.4 kürzlich the-
                                                                    oretisch berechnete Virialkoeffizienten von Helium
                                                                    in einem breiten Temperaturbereich experimentell
                                                                    bestätigt. Die Untersuchung der thermophysikali-
                                                                    schen Eigenschaften von Wasserstoff, Methan und
                                                                    binären Mischungen ist in Vorbereitung insbesondere
                                                                    auch mit Bezug zur PTB-Wasserstoffstrategie. Ein
Bild 3: Röntgenstreuung unter streifendem Einfall (GIWAXS) im       für das Benchmarking verschiedener thermoelektri-
PTB-Labor bei BESSY II an einem CsPbI1.8Br1.2 Perovskit-Film [Al-
Ashouri et al., Science 2020, 370, 1300-1309]
                                                                    scher Materialien entwickeltes Messmodul, das auf
                                                                    SI-Einheiten rückführbare und simultane Messungen
                                                                    des Seebeck-Koeffizienten und der elektrischen Leitfä-
diesen Arbeiten zum Themenbereich Nanometrologie
                                                                    higkeit erlaubt, stellt ebenfalls einen Beitrag von Fach-
trägt der Adlershofer Fachbereich 7.2 inhaltlich auch
                                                                    bereich 7.4 zum PTB-Querschnittsthema Energie dar.
zum PTB-Querschnittsthema Energie bei.
                                                                    Die hochgenaue Messung der Schallgeschwindigkeit
Energie ist in Abteilung 7 jedoch vor allem ein Thema
                                                                    in Meerwasser in Abhängigkeit von Druck, Tempera-
am Campus Charlottenburg, insbesondere in den
                                                                    tur und Salinität im Rahmen eines Promotionsvorha-
Fachbereichen 7.4 und 7.5 mit ihren Kernkompe-
                                                                    bens von Fachbereich 7.4 dient dagegen der Erfassung
tenzen und Zuständigkeiten in den Bereichen Tem-
                                                                    und Modellierung von Klimaveränderungen (Bild 4).
peratur, Wärme und Vakuum. So konnte zwischen
                                                                    Im Lenkungskreis Umwelt und Klima ist Abteilung 7
35 K und 200 K durch die Kombination neuester
                                                                    jedoch im Wesentlichen mit Expertise auf dem Gebiet
PTB-Messungen mit dem Dielektrizitätskonstanten-
                                                                    der berührungslosen Temperaturmessung (Strah-

                                                                                                            Bild 4: Druckmess-
                                                                                                            zelle und Sensor
                                                                                                            des Messplatzes
                                                                                                            für die Bestim-
                                                                                                            mung der Schall-
                                                                                                            geschwindigkeit in
                                                                                                            Meerwasser

                                                                                                                            3
Temperatur und Synchrotronstrahlung - Abteilung 7 - Physikalisch ...
Abteilungsbericht 2020 – Abteilung 7

                                                                 Messung der atmosphärischen Gegenstrahlung und
                                                                 der radiometrischen Rückführung durch die World
                                                                 Infrared Standard Group (WISG) am Physikalisch-
                                                                 Meteorologischen Observatorium Davos (PMOD)
                                                                 einen neuen Referenz-Schwarzkörper entwickelt und
                                                                 radiometrisch charakterisiert (Bild 5).

                                                                 Um das Monitoring von Aerosolen als eine der
                                                                 wesentlichen Variablen für Klimamodelle geht es bei
                                                                 der Multi-Viewing, Multi-Channel, Multi-Polarization
                                                                 Imaging Mission (3MI) des EUMETSAT Polar System
Bild 5: Konstruktion und Realisierung des neuen Schwarzkörpers
der PTB für die Rückführung der World Infrared Standard Group    Satelliten-Programms der 2. Generation (2023 bis
(WISG) am Physikalisch-Meteorologisches Observatorium Davos      2037). Dazu hat Fachbereich 7.3 mit einem neuarti-
(PMOD).
                                                                 gen Strahldichtenormal das Optical Ground Support
                                                                 Equipment (OGSE) am Centre Spatial de Liege (CSL)
lungsthermometrie) und der Infrarot-Erdferner-                   im Spektralbereich von 390 nm bis 2170 nm auf
kundung vertreten. Fachbereich 7.3 hat im Rahmen                 das PTB-Primärnormal rückgeführt (Bild 6). Die
des Baseline Surface Radiation Network (BSRN) zur                quantitative Untersuchung von atmosphärischen
                                                                 Aerosolproben aus Feldmesskampagnen mit referenz-
                                                                 probenfreier Röntgenspektrometrie ist Gegenstand
                                                                 der EMPIR-Vorhaben AEROMET und AEROMET II,
                                                                 die im Fachbereich 7.2 koordiniert werden und im
                                                                 Jahr 2020 erfolgreich abgeschlossen bzw. gestartet
                                                                 wurden.

                                                                 Die Beiträge von Abteilung 7 zum PTB-Querschnitts-
                                                                 thema Quantentechnologie (QT) werden ab 2021 in
                                                                 den Walther-Meißner-Bau (WMB) verlagert, ein For-
                                                                 schungsneubau auf dem Campus Charlottenburg mit
                                                                 hochspezialisierten Labor-, Mess- und Reinräumen
                                                                 auf einer Nutzfläche von 2 325 m2 (Titelbild). Die
                                                                 Entwicklung, Herstellung und Anwendung von sup-
                                                                 raleitenden Quanteninterferenz-Detektoren (SQUID)
                                                                 im Fachbereich 7.6 zur Messung kleinster Magnetfel-
                                                                 der und Ströme bei tiefen Temperaturen steht dabei
                                                                 im Mittelpunkt. Berliner Beiträge zum QT-Zentrum
                                                                 (QTZ) der PTB liefern aber auch die Charlottenbur-
                                                                 ger Fachbereiche 7.4, 7.5, 7.3 und 8.2 und werden im
                                                                 WMB zusammengeführt.

                                                                 Im WMB soll ein Applikationslabor für QT-Anwen-
                                                                 dungen im Millikelvin-Bereich entstehen, verbunden
                                                                 mit dem Ausbau der bestehenden Netzwerke mit der
                                                                 der TU Berlin, den im WMB untergebrachten Firmen
                                                                 Magnicon und Entropy sowie den PTB-Abteilungen
                                                                 2, 4, 6, 7 und 8. So kooperiert Fachbereich 7.6 in
                                                                 dem neuen Horizon-2020-Projekt AHEAD 2020 mit
Bild 6: Strahldichtenormal zur Rückführung das Optical Ground    Fachbereich 2.4 und Partnern der Space Research
Support Equipment (OGSE) am Centre Spatial de Liege (CSL) auf
das PTB-Primärnormal
                                                                 Organisation Netherlands (SRON) und dem National

4
Temperatur und Synchrotronstrahlung - Abteilung 7 - Physikalisch ...
Abteilungsbericht 2020 – Temperatur und Synchrotronstrahlung

                                                                       Temperaturen und klassischer Widerstandsthermo-
                                                                       metrie hat Fachbereich 7.6 im Jahr 2020 ein Patent
                                                                       angemeldet. Dieses neue Konzept eines Dual-mode
                                                                       Auto-calibrating Resistance Thermometer (DART) ist
                                                                       speziell für den industriell relevanten Temperaturbe-
                                                                       reich von 77 K bis 1000 K interessant und ermöglicht
                                                                       für praktische Anwendungen den direkten Anschluss
                                                                       an die seit Mai 2019 neu definierte SI-Temperatur-
                                                                       skala mit Messplätzen von Fachbereich 7.4 im WMB
                                                                       (Bild 7).
Bild 7: DART-Prototyp bestehend aus Messverstärker (schwarze
Box) und Digitalisierungsstufe (Platine rechts). Links ist die Ein-    Auch die photonische Thermometrie stellt eine quan-
speisung eines Testsignals in den Verstärkereingang zu sehen.          tenbasierte Form der Temperaturmessung dar, die auf
                                                                       der Temperaturabhängigkeit optischer Materialpara-
Institute of Advanced Industrial Science and Techno-                   meter basiert wie dem Brechungsindex. Im EMPIR-
logy in Japan (AIST) auf dem Gebiet der Entwicklung                    Projekt PhotOQuant hat Fachbereich 7.4 dazu eine
von Mikrowellen-SQUID-Multiplexern für den hoch-                       neue Generation von photonischen Mikroresonatoren
empfindlichen Nachweis von Teilchen und Strahlung                      entwickelt und in einem kombinierten Design zusam-
durch supraleitende Transition Edge Sensors (TESs).                    men mit elektrischen Sensoren auf einem mikrostruk-
Die Fachbereiche 7.6 und 6.1 arbeiten auf dem Gebiet                   turierten Chip integriert.
der Radionuklidspektroskopie zusammen und haben
eine neue statistische Methode zur Korrektion von                      In den PTB-Lenkungskreisen für Medizin und Digita-
Energiespektren entwickelt, die mit hochempfindli-                     lisierung ist Abteilung 7 derzeit noch nicht vertreten,
chen metallisch-magnetischen Kalorimetern gemes-                       liefert aber inhaltliche Beiträge. So hat Fachbereich
sen werden.                                                            7.5 für die Vakuummetrologie die Erzeugung von di-
                                                                       gitalen Kalibrierscheinen in den Kalibrier-Workflow
Ein zukunftsweisendes Arbeitsgebiet im WMB stellt                      integriert und gibt sie seit September 2020 für zwei
auch die Rauschthermometrie dar, die auf dem ther-                     der Kalibrierdienstleistungen testweise zusätzlich zum
mischen Rauschen eines Metallwiderstandes basiert.                     offiziellen gedruckten Kalibrierschein an alle Kunden
Zur Kombination von Rauschthermometrie als                             aus.
primäre Methode der Messung thermodynamischer

                                                                                                 Bild 8: Zwei Ausführungen mit
                                                                                                 identischem elektro-optischem
                                                                                                 Design für ein neues Ionisati-
                                                                                                 onsvakuummeter, gefertigt von
                                                                                                 den Firmen INFICON (links) und
                                                                                                 VACOM (rechts).

                                                                                                                                  5
Temperatur und Synchrotronstrahlung - Abteilung 7 - Physikalisch ...
Abteilungsbericht 2020 – Abteilung 7

                                                                    te und Normen“ (WIPANO) abgeschlossen, bei
                                                                    dem vereinheitliche Terminologien, Symbole und
                                                                    Einheiten für charakteristische Kenngrößen von
                                                                    dc-SQUID-Sensoren sowie Messmethoden zur deren
                                                                    Bestimmung entwickelt und erprobt wurden. Die
                                                                    Projektergebnisse wurden in die Arbeitsgruppe 14
                                                                    „Supraleitende elektronische Bauelemente“ des Tech-
                                                                    nischen Komitees 90 „Supraleitung“ der International
                                                                    Electrotechnical Commission eingebracht.

Bild 9: Hochreflektierende Folien zur Kaschierung von Isolations-   Fachbereich 7.2 hat im Rahmen eines WIPANO-Nor-
materialien
                                                                    mungsprojektes einen (teilweise inter-) nationalen
                                                                    Ringvergleich zur Totalreflexions-Röntgenfluores-
Im Bereich Vakuummetrologie wird zurzeit auf                        zenzanalyse (TXRF) durchgeführt, der einen wichti-
ISO-Ebene auch die Normung eines neuartigen, im                     gen Beitrag zur Aktualisierung der DIN-Norm 51003
EMPIR-Projekt 16NRM05 entwickelten Ionisations-                     „Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzanalyse (TXRF)
vakuummeters als Bezugsnormal vorbereitet, bei dem                  – Allgemeine Grundlagen und Begriffe“ darstellt.
die Elektronen auf geradem Weg den Ionisationsraum
passieren, so dass deren Bahnlänge und damit die                    Für das Jahr 2021 beziehen sich wesentliche Ziele
Empfindlichkeit gut simuliert werden kann (Bild 8).                 der Abteilung 7 auf Beiträge zum CDR für die Berlin
                                                                    Photon Factory, den Umzug in den Walther-Meißner-
Fachbereich 7.5 hat im Jahr 2020 auch erfolgreich                   Bau, die Mitwirkung als Associated Partner beim
Forschungsarbeiten zur Neufassung einer Europäi-                    Climate Change Center Berlin-Brandenburg, die
schen Norm für thermische Energiemessgeräte abge-                   Umsetzung von Maßnahmen im Rahmen des Kon-
schlossen, die u.a. die Verwendung von Wasser-Gly-                  junkturpakets der Bunderegierung sowie das interne
kol-Gemischen als Wärmeträgermedium beinhaltet,                     Personalentwicklungskonzept.
zum Beispiel für den Einsatz bei Solarthermieanlagen.
Dazu wurde auch ein neuer Prüfstand errichtet, um
die Messbeständigkeit vorhersagen zu können. Für
Auswahl, Einbau und Betrieb thermischer Energie-
messgeräte im gesetzlich geregelten Bereich sind auch
in einem Fachbericht des European Committee for
Standardization unter maßgeblicher Mitwirkung von
Fachbereich 7.5 normierte Guidelines veröffentlicht
worden.

Das gesetzliche Messwesen gehört zu den grundle-
genden Aufgaben der PTB. Neben 7.5 betrifft dies
auch noch andere Fachbereiche in Abteilung 7. So
hat Fachbereich 7.3 im Rahmen des kürzlich abge-
schlossenen EMPIR-Projektes EMIRIM den Emissi-
onsgrad hochreflektierender Folien untersucht, die
zur Minimierung des Wärmestrahlungsverlustes von
Isolationsmaterialien eingesetzt werden (Bild 9). Die
Ergebnisse fließen nun in eine Europäische Norm ein.

Fachbereich 7.6 hat ein Projekt mit der Magnicon
GmbH und der Supracon AG im Förderprogramm
„Wissens- und Technologietransfer durch Paten-

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Temperatur und Synchrotronstrahlung - Abteilung 7 - Physikalisch ...
Abteilungsbericht 2020 – Temperatur und Synchrotronstrahlung

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Temperatur und Synchrotronstrahlung - Abteilung 7 - Physikalisch ...
Abteilungsbericht 2020 – Abteilung 7

In Schlagzeilen: Nachrichten aus der Abteilung
Grundlagen der Metrologie                                 Methode. Die starke Reduktion der Rechenzeiten
                                                          ermöglicht die Modellierung komplexer realer
Thermoelektrische Nanospektroskopie zur                   Geometrien. (V. Soltwisch, FB 7.1, victor.soltwisch@
Abbildung molekularer Fingerabdrücke                      ptb.de, P. Hönicke, FB 7.2, philipp.hoenicke@ptb.de,
Zur Detektion molekularer Fingerabdrücke im IR-           S. Heidenreich, FB 8.4, sebastian.heidenreich@ptb.de)
Spektralbereich wurde ein Nahfeldmikroskop mit
einem thermoelektrischen Probenträger verbunden:          Methodenvergleich zur dimensionellen Charakteri-
Der durch die lokale Absorption im Nahfeld erzeugte       sierung von ultrahellen Quantenpunkten
Wärmegradient wird direkt im Probenträger in eine         Im Rahmen eines EMPIR-Projektes wurde gemein-
thermoelektrische Spannung umgewandelt und                sam mit der BAM die Größe von Nanopartikeln mit
ausgelesen. (B. Kästner, G. Ulrich, FB 7.1, bernd.kaes-   Kern-Schale-Struktur untersucht. Mit Hilfe von Rönt-
tner@ptb.de, georg.ulrich@ptb.de)                         genkleinwinkelstreuung (SAXS) konnten so Messun-
                                                          gen mit Röntgenphotoelektronenspektroskopie (XPS)
Low-Rank-Verfahren für schnelle IR-Spektro-               und hochaufgelöster Transmissions-Elektronenmik-
Mikroskopie                                               roskopie (HR-TEM) an ultrahellen Quantenpunkten
Nahfeld-basierte IR-Spektroskopie ermöglicht              validiert werden. (M. Krumrey, D. Skroblin, FB 7.2,
hochaufgelöste Messungen der chemischen Struktur          michael.krumrey@ptb.de, dieter.skroblin@ptb.de)
von Oberflächen, ist jedoch sehr zeitintensiv und
führt potenziell zu Strahlenschäden. Mit der PTB-         Inbetriebnahme und Charakterisierung eines vaku-
Arbeitgruppe 8.42 und der FU Berlin wurde im DFG-         umkompatiblen Detektors für Röntgenstreuexperi-
Projekt Bayesian compressed sensing for nanoscale         mente und Reflektometrie
chemical mapping in the mid-infrared regime nun eine      Im PTB-Labor bei BESSY II wurde am FCM-
Low-Rank-Methode entwickelt, die es erlaubt einen         Strahlrohr ein photonenzählender Flächendetektor
räumlich-spektralen Datensatz biologischer Struk-         installiert und charakterisiert, mit dem verschiedene
turen mit nur 5 % der üblichen Messpunktzahl zu           röntgenanalytische Messmethoden (Weitwinkelstreu-
bestimmen. (B. Kästner, FB 7.1, bernd.kaestner@ptb.       ung, Röntgendiffraktion, Nahkantenspektroskopie,
de, C. Elster, FB 8.4, clemens.elster@ptb.de)             Reflektometrie) im tender-X-ray-Bereich durchge-
                                                          führt werden können. Die spezielle vakuumtaugliche
Orbitalstruktur und Aromatizität von Kekulen              Version des Detektors wurde in Zusammenarbeit mit
durch Photoemission bestimmt                              dem Hersteller DECTRIS aus der Schweiz entwickelt.
Gemeinsam mit dem Forschungszentrum Jülich und            (D. Skroblin, C. Gollwitzer, FB 7.2, dieter.skroblin@
der Karl-Franzens-Universität Graz wurde mittels          ptb.de, christian.gollwitzer@ptb.de)
Photoemissionstomographie an der Metrology Light
Source in-situ die Synthese von Kekulen auf einer         Präzise Bestimmung von winkelabhängigen
Metalloberfläche sowie dessen chemische Bindungs-         atomaren Fundamentalparametern
struktur nachgewiesen. (A. Gottwald, H. Kirschner,        Für die Methodenentwicklung im Bereich der Rönt-
FB 7.1, alexander.gottwald@ptb.de; hans.kirschner@        genspektrometrie wurde ein neuartiger rotationsfä-
ptb.de)                                                   higer Detektoraufbau in Betrieb genommen und an
                                                          unterschiedlichen Dünnschichtsystemen getestet. Der
Algorithmus zur Rekonstruktion von                        Aufbau soll dazu verwendet werden, differentielle
3D-Nanostrukturen                                         Streuquerschnitte mit Hilfe von monochromatisierter
Mit der Universität Twente und dem Kurchatov-             Synchrotronstrahlung physikalisch rückführbar zu
Institut in Moskau wurde ein Algorithmus zur              bestimmen. (A. Wählisch, B. Beckhoff, FB 7.2, andre.
Beschreibung der Röntgenfluoreszenzemission von           waehlisch@ptb.de, burkhard.beckhoff@ptb.de)
periodischen dreidimensionalen Nanostrukturen auf
Oberflächen bei Anregung unter streifendem Einfall
entwickelt. Die Nutzung der Periodizität ermöglicht
eine quasi-analytische Lösung der Maxwell-Gleichun-
gen mit gleicher Genauigkeit wie die Finite-Elemente-

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Abteilungsbericht 2020 – Temperatur und Synchrotronstrahlung

Neue Photodiode aus schwarzem Silizium erreicht             Endgültige Bestätigung der theoretisch berechneten
Quantenausbeute von über 130 % im UV                        Virialkoeffizienten von Helium in einem breiten
Kooperationspartner aus Finnland und Spanien ist es         Temperaturbereich
gelungen mit einer neuartigen Photodiode die externe        Obwohl man mittels ab-initio-Methoden die Viri-
Quantenausbeute im ultravioletten Spektralbereich           alkoeffizienten und thermophysikalischen Stoffei-
von unter 80 % auf über 130 % zu steigern. Dazu wur-        genschaften von Helium sehr gut berechnen kann,
den durch eine nanostrukturierte Oberfläche die Re-         müssen Angaben zur entsprechenden Unsicherheit
flektionsverluste an der Siliziumoberfläche und durch       experimentell validiert werden. Aufgrund der
Passivierung der Siliziumoberfläche mit einer Al2O3-        hervorragenden Übereinstimmung von ab-initio-
Schicht Verluste durch Oberfllächenrekombination            Berechnungen des zweiten Virialkoeffizienten mit
verringert. Wegen der Ausbildung eines durch Ober-          experimentellen Ergebnissen der PTB, welche mittels
flächenladung induzierten pn-Übergangs konnte auf           Dielektrizitätskonstanten-Gasthermometrie im
die Dotierung mit Fremdatomen zur Erzeugung eines           Temperaturbereich von 4 K bis 273 K erzielt wurden,
pn-Überganges verzichtet werden, was ebenfalls zur          kann dieser zukünftig als berechenbarer Parameter
hohen Quantenausbeute beiträgt. Die PTB, mit ihren          angenommen werden. Dadurch wird eine deutliche
Möglichkeiten zur präzisen Messung durch radiome-           Verringerung der Unsicherheit von thermodynami-
trische Rückführung in der UV-Detektorradiometrie,          schen Temperaturmessungen mit Gasthermometern
konnte diese hohen Empfindlichkeiten messtechnisch          erreicht. (C. Gaiser, FB 7.4, christof.gaiser@ptb.de)
validieren. (L. Werner, FB 7.3, lutz.werner@ptb.de)
                                                            Referenzdaten für die Schallgeschwindigkeit in
Primäres Rauschthermometer für tiefste                      Seewasser
Temperaturen verbessert                                     Für die Erfassung und Modellierung von Klimaver-
Die Umsetzung der Neudefinition der Temperatur-             änderungen werden hochgenaue Daten der Schallge-
einheit erfordert die Entwicklung von Primärther-           schwindigkeit in Meerwasser in Abhängigkeit vom
mometern, welche die praktische Realisierung und            Druck, der Temperatur und der Salinität benötigt.
Weitergabe des Kelvins ermöglichen. Mit dieser              Diese wurden im Rahmen eine Promotionsvorhaben
Zielstellung wurde das primäre Magnetfeldfluktua-           mit einer neu entwickelten Apparatur und einer
tionsthermometer (pMFFT) für den Einsatz von 4 K            in weiten Bereichen weltweit bisher unerreichten
bis in den Millikelvinbereich substanziell verbessert       Genauigkeit gemessen. (S. Rudtsch, FB 7.4, steffen.
und eine Halbierung der Messunsicherheit erreicht.          rudtsch@ptb.de)
(A. Kirste, FB 7.4, alexander.kirste@ptb.de)
                                                            Neue Chip-Generation mit integrierten optischen
Verringerung der Unsicherheit der                           und elektrischen Sensoren für die photonischen
thermodynamischen Temperaturmessung zwischen                Thermometrie
35 K und 200 K                                              Im EMPIR-Projekt PhotOQuant wurde die 2. Genera-
Durch die Kombination neuester PTB-Messungen                tion von photonischen Mikroresonatoren entwickelt
mit dem Dielektrizitätskonstanten-Gasthermometer            und in einem kombinierten Design zusammen mit
(DCGT), im Bereich zwischen 35 K und 200 K, mit             elektrischen Sensoren auf einem mikrostrukturierten
weiteren Ergebnissen von Primärthermometern                 Chip integriert. Dies ermöglicht die zeitgleiche Tem-
anderer Institute konnte die Differenz zwischen der         peraturbestimmung mit elektrischen und optischen
thermodynamischen Temperatur T und der Tem-                 Sensoren und somit den direkten Vergleich beider
peratur gemäß der Internationalen Temperaturskala           Verfahren. Ferner wurde ein neues Konzept zur
von 1990 (ITS90) T90 mit einer um den Faktor vier           Kopplung der Chips mit optischen Fasern bzw. Fa-
geringeren Unsicherheit bestimmt werden. Die                serarrays umgesetzt, welches es ermöglicht, bis zu 32
mit großer Genauigkeit ermittelte Differenz T–T90           photonische Mikroresonatoren synchron auszulesen.
ermöglicht momentan den einfachsten Zugang zur              (R. Eisermann, FB 7.4, rene.eisermann@ptb.de)
thermodynamischen Temperatur, da in diesem
Temperaturbereich nach wie vor die Realisierung der
ITS-90 am effektivsten ist. (C. Gaiser, FB 7.4, christof.
gaiser@ptb.de)
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Abteilungsbericht 2020 – Abteilung 7

Laseroptische Temperaturmessung auf Basis               Neue Methode zur Korrektion kalorimetrisch
gefilterter Brillouin-Streuung                          bestimmter Energiespektren von Radionukliden
Im Rahmen des ZIM-Projekts „Berührungsloser,            Kalorimetrische Detektoren erlauben bei sehr tiefen
hochgenauer Wärmestromsensor für Flüssigkeiten“         Temperaturen die hochgenaue Bestimmung der Ener-
wird in Kooperation mit mehreren Partnern gegen-        giespektren von Radionukliden mit hoher Quantenef-
wärtig ein neuartiges, nichtinvasives Messprinzip       fizienz. Werden Teilchen oder Strahlung aus einem
zur Bestimmung der Temperatur von Flüssigkeiten         radioaktiven Zerfall nicht oder nicht vollständig vom
entwickelt. Hierfür kommt Laserstrahlung zum            Kalorimeter absorbiert, sind gemessene Spektren
Einsatz, welche beim Durchdringen der Flüssigkeit in    fehlerhaft. Eine neue statistische Methode zur Korrek-
verschiedene Komponenten mit charakteristischen         tion derartiger Spektren ist in den Fachbereichen 6.1
Spektren gestreut wird. Relevant für das Messver-       und 7.6, die gemeinsam ein Spektrometer basierend
fahren ist dabei die Brillouin-Komponente, deren        auf metallischen magnetischen Kalorimetern zur
Spektrum unter anderem temperaturabhängig ist. Die      Bestimmung von Nukliddaten betreiben, entwickelt
spektrale Veränderung wird durch molekulare Ab-         worden. Hierbei wird der typischerweise gut bekannte
sorptionsfilterung des Streulichts und anschließende    Detektor- bzw. Absorberaufbau mittels Monte-Carlo-
Intensitätsmessung erfasst und so die Temperatur des    Verfahren analysiert. Daraus wird eine detektorspe-
Fluids bestimmt. (M. Kühn, M. Juling, FB 7.5, mar-      zifische Matrix von Korrekturkoeffizienten ermittelt,
kus.kuehn@ptb.de, markus.juling@ptb.de)                 mit deren Hilfe die Korrektion eines Spektrums
                                                        erfolgen kann. (M. Paulsen FB 7.6, michael.paulsen@
Strömungssimulation in geschlossenen                    ptb.de)
RohrleitungenUm bestmögliche Modelle für die
Strömungssimulation hinter 90°-Bögen zu ermitteln,
                                                        Metrologie für die Wirtschaft
wurden verschiedene CFD-Löser (ANSYS Fluent,
OpenFOAM und RapidCFD) verglichen. Die Ergeb-
                                                        EUV Messungen für Industriepartner trotz
nisse zeigen, dass insbesondere im Nahfeld bis etwa
                                                        ­CORONA durchgehend verfügbar
dem 10-fachen des Rohrdurchmessers die Verwen-
                                                         Auch im eingeschränkten Betrieb wurde am EUV-
dung von RANS-Modellen geeignet ist. Bei größeren
                                                         Strahlrohr der MLS der Messbetrieb für die Industrie-
Entfernungen wird die Verwendung von Hybrid-LES/
                                                         partner durch den engagierten Einsatz der EUV-Ar-
RANS-Modellen empfohlen. (A. Ekat, FB 7.5, ann-
                                                         beitsgruppe mit Unterstützung der Maschinengruppe
kathrin.ekat@ptb.de)
                                                         des HZB aufrechterhalten. Die MLS war in dieser Zeit
                                                         die einzige Synchrotronstrahlungsquelle mit durch-
Dynamische Druckänderungen beim Schließen von
                                                         gehendem Betrieb. Dieser Beitrag zur Aufrechter-
Ventilen quantifiziert
                                                         haltung ihrer Fertigung wurde von den Partnern aus
Beim Schließen von Vakuumventilen entstehen auf
                                                         der Halbleiterindustrie mit großem Dank anerkannt.
Grund des verdrängten Volumens kleine Druckdiffe-
                                                         (M. Kolbe, 7.1, michael.kolbe@ptb.de)
renzen vor und hinter dem Ventil. Die Berücksichti-
gung dieser Druckdifferenzen ist für die Realisierung
                                                        Kooperation mit Carl Zeiss zur EUV-Reflektometrie
der Druckskala mit Hilfe des statischen Expansions-
                                                        um weitere vier Jahre verlängert
verfahrens im Bereich von 0.01 Pa bis 100 Pa von gro-
                                                        Die seit 1998 bestehende enge Zusammenarbeit mit
ßer Bedeutung, wenn mit kleinen Startvolumen ge-
                                                        Carl Zeiss bildet eine wichtige Grundlage für die kon-
arbeitet wird. Die Abhängigkeit des Differenzdrucks
                                                        tinuierliche Weiterentwicklung der messtechnischen
von Schließgeschwindigkeit, Startdruck, der Gasart
                                                        Fähigkeiten der PTB im EUV-Spektralbereich. Mit
und des Volumens wurde quantifiziert. Mit Hilfe
                                                        dem 9. Nachtrag wurde die für beide Seiten erfolg-
der ermittelten Korrekturfaktoren konnte die Unsi-
                                                        reiche und zukunftsorientierte Zusammenarbeit bis
cherheit der Druckdarstellung mit diesem Verfahren
                                                        Ende 2024 verlängert. Im Rahmen dieses Vorhabens
vermindert werden. (Th. Bock, M. Bernien, FB 7.5,
                                                        entwickelt die PTB neue Messtechnik im Bereich des
Thomas.Bock@ptb.de, Matthias.Bernien@ptb.de)
                                                        EUV und stellt diese ihren zahlreichen Kooperations-
                                                        partnern aus Forschungsinstituten und Industrie zur
                                                        Verfügung. (M. Kolbe, 7.1, michael.kolbe@ptb.de)
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Abteilungsbericht 2020 – Temperatur und Synchrotronstrahlung

Start des ECSEL-JU-Projektes IT2                         Der Ringvergleich ist ein wichtiger Beitrag zur Ak-
Zur Sicherung der Wettbewerbsfähigkeit der Eu-           tualisierung der DIN-Norm 51003 „Totalreflexions-
ropäischen Industrie fördert die EU im von ASML          Röntgenfluoreszenzanalyse (TXRF) – Allgemeine
koordinierten Projekt IT2 (Start 1.6.2020) die           Grundlagen und Begriffe“. (R. Unterumsberger,
Entwicklung der EUV-Lithografie der nächsten             B. Beckhoff, FB 7.2, rainer.unterumsberger@ptb.de,
Generation und neuartiger 3D-Halbleiterstrukturen.       burkhard.beckhoff@ptb.de)
Der PTB-Fachbereiche 7.1, 7.2 und 5.2 beteiligen sich
mit Elektronen- und Photonen-basierten Messme-           Messbereich für die dynamische Emissionsgrad-
thoden und werden mit Synchrotronstrahlung neue          und Wärmekapazitätsmessung im Hochtemperatur-
Messverfahren für die 2-nm-Technologie evaluieren.       bereich erweitert
(M. Kolbe, 7.1, michael.kolbe@ptb.de)                    Im Rahmen des EMPIR-Projekts Hi-Trace sollen
                                                         Referenzmaterialien auf ihre thermophysikalischen
Bestimmung von dimensionellen Gitterparametern           Eigenschaften im Hochtemperaturbereich bis 3000 °C
mit SAXS und GISAXS                                      untersucht werden. Für die dynamische Messung
Eine Serie von mehrfachstrukturierten Gittern mit        des Emissionsgrades und der Wärmekapazität wurde
einem Linienabstand von 32 nm und gezielt herge-         hierfür ein neuer Hochtemperatur-Probenhalter aus
stellten Unregelmäßigkeiten wurde im PTB-Labor           hochreinem, isostatisch gepresstem Grafit aufgebaut.
bei BESSY II mit GISAXS (Röntgenstreuung unter           Durch das induktive Heizsystem wird so ein zielge-
streifendem Strahlungseinfall) und beim NIST in          naues Aufheizen der Probe bis ca. 2500 °C und gleich-
USA mit Röntgenkleinwinkelstreuung (SAXS) in             zeitig durch eine gekühlte Blende die Strahlformung
Transmission untersucht. Die durch Simulation            für die pulsartige Erwärmung via Laser ermöglicht.
erhaltenen Gitterparameter stimmen gut überein.          (D. Urban, FB 7.3, david.urban@ptb.de)
GISAXS ist unabhängig von Transmission und Dicke
des Substrats, dafür ist die Simulation deutlich auf-    Neuer THz-Reflexionsmesskopf entwickelt
wändiger. (M. Krumrey, FB 7.2, michael.krumrey@          Im Rahmen eines durch das Zentrale Innovationspro-
ptb.de, V. Soltwisch, FB 7.1, victor.soltwisch@ptb.de)   gramm Mittelstand (ZIM) geförderten Kooperations-
                                                         projekts zur Terahertz (THz) Anwendung wurde von
Erfolgreiche Charakterisierung eines kommerziel-         der PTB ein robuster und kompakter THz-Messkopf
len Röntgenfluoreszenzgeräts                             entwickelt. Betrieben mit einem vom Industriepartner
Im Rahmen des EMPIR-SIP-Projekts Advancing               entwickelten schnellen Zeitbereichsspektrometer
Laboratory based X-ray Metrology techniques (AdLab-      (TDS) soll seine Einsatzmöglichkeit zur zerstörungs-
XMet) wurde eine Charakterisierungsmethodik für          freien Prüfung in einem industriellen Produktions-
kommerzielle Röntgenfluoreszenz-Laborgeräte mit          prozess bei einem kooperierenden Forschungsinstitut
streifendem Strahlungseinfall entwickelt und einge-      nachgewiesen werden. Ziel des Projekts ist es,
setzt. Durch diese Zusammenarbeit mit der Firma          erstmals Produktionsfehler mit THz-Strahlung in
Bruker Nano GmbH werden quantitative Untersu-            Echtzeit zu diagnostizieren, die bisher nur zerstörend
chungen mit den Laborgeräten ermöglicht. (P. Höni-       am fertigen Produkt aufgedeckt werden konnten.
cke, FB 7.2, philipp.hoenicke@ptb.de)                    (M. Kehrt FB 7.3, mathias.kehrt@ptb.de)

Ringversuch zur Totalreflexions-                         Simultane Messung von Reflexions-, Transmission-
Röntgenfluoreszenzanalyse (TXRF)                         und Emissionsgrad an semitransparenten
Im Rahmen eines WIPANO-Normungsprojektes                 Materialien
wurde ein (teilweise inter-)nationaler TXRF-             Mithilfe eines eigens für diese Anwendung entwi-
Ringvergleich mit sehr gut charakterisierten Proben      ckelten Probenhalters und eines inversen Strah-
durchgeführt, um unabhängig von möglichen Stör-          lungstransportmodells wurden erstmals an der
effekten durch die Probenpräparation zu werden.          Emissionsgrad-Messanlage an Luft (EMAF) simultan
Die gemittelten Ergebnisse der einzelnen Teilnehmer      der spektral gerichtete Transmissions-, Reflexions-
liegen im Wesentlichen innerhalb von 5 % und zeigen      und Emissionsgrad gemessen. Aus diesen wurden
die Zuverlässigkeit und Stärke der Methode TXRF.         weitergehend die spektrale Brechzahl und der spekt-

                                                                                                               11
Abteilungsbericht 2020 – Abteilung 7

rale Absorptionskoeffizient als fundamentale optische    Messbeständigkeit von Wärmemengenzählern in
Materialkonstanten identifiziert und ein vollständiges   Wasser-Glykol-Gemischen
Unsicherheitsbudget aufgestellt. (J. Gieseler, FB 7.3,   Für die Vorhersage der Messbeständigkeit von Wär-
julian.gieseler@ptb.de)                                  memengenzählern bei Verwendung in verschiedenen
                                                         Wasser-Glykol-Gemischen wurde ein neuer Prüfstand
EMPIR-Projekt EMIRIM erfolgreich abgeschlossen           errichtet. Der in Anlehnung zur Fachgrundnorm EN
Im Rahmen des EMPIR-Projekts Improvement of              1434 induzierte thermische Stress hatte dabei nicht
emissivity measurements on reflective insulation mate-   nur auf die zu untersuchenden Messgeräte, sondern
rials (EMIRIM) wurden gemeinsam von der PTB und          auch auf den Prüfstand sowie die eingesetzten Mess-
dem LNE Referenzproben entwickelt, um gezielt die        fluide erhebliche Auswirkungen. Die Anlage wurde
Messunsicherheit bei der anwendungsnahen Emissi-         erfolgreich abgenommen und steht nun für die wei-
onsgradmessungen von hochreflektierenden Folien zu       tere Verwendung bereit. (B. Peetz, M. Juling, FB 7.5,
verbessern. Diese Folien dienen zur Kaschierung von      bastian.peetz@ptb.de, markus.juling@ptb.de
vielfältigen Isolationsmaterialien, um deren Strah-
lungsverlust zu minimieren. Mithilfe der Referenz-       Routinemäßige Ausgabe von digitalen
proben kann die derzeitige Messunsicherheit von 0,05     Testkalibrierscheinen
auf 0,04 und perspektivisch auf 0,03 gesenkt werden.     Die AG Vakuummetrologie hat die Erzeugung von
Diese niedrigeren Werte fließen nun in die EN 16012      digitalen Kalibrierscheinen in ihren Kalibrier-
ein und erlauben damit in Zukunft die Qualifizierung     Workflow integriert. Sie basieren auf dem in der
hochwertigerer Isolationsfolien. (A. Adibekyan,          PTB entwickelten XML-Schema in seiner jeweils
FB 7.3, albert.adibekyan@ptb.de)                         aktuellen Version. Seit September werden für zwei der
                                                         Kalibrierdienstleistungen zusätzlich zum offiziellen
Leistungsfaktor thermoelektrischer Materialien           gedruckten Kalibrierschein testweise digitale Testka-
In der AG Thermoelektrik wurde ein Messmodul             librierscheine ausgegeben. Insgesamt sind dies bereits
entwickelt, das auf SI-Einheiten rückführbare und si-    41. Der digitale Kalibrierschein erlaubt, Daten ohne
multane Messungen des Seebeck-Koeffizienten S und        Medienbruch direkt digital weiterzuverarbeiten und
der elektrischen Leitfähigkeit σ thermoelektrischer      so eine Automatisierung der Qualitätsinfrastruktur.
Bulkmaterialien erlaubt. Kombiniert man die beiden       (R. Niepraschk, Th. Bock, M. Bernien, 7.5, rolf.
Transporteigenschaften miteinander, erhält man den       niepraschk@ptb.de, thomas.bock@ptb.de, matthias.
Leistungsfaktor thermoelektrischer Materialien, LF =     bernien@ptb.de)
S2σ, der ein Maß für die in diesem Material generier-
bare elektrische Energie ist und das Benchmarking        Elektronen auf geradem Weg
verschiedener thermoelektrischer Materialien erlaubt.    Das im EMPIR-Projekt 16NRM05 entwickelte
(F. Edler, FB 7.4, frank.edler@ptb.de)                   neuartige Ionisationsvakuummeter wurde in einer
                                                         zweiten, technisch verbesserten Modellreihe getestet.
Lasergeschweißte Faser-Chip-Kopplung für die             Die Elektronen gehen auf geradem Weg durch den
photonische Thermometrie                                 Ionisationsraum, so dass deren Bahnlänge gut vorher-
In Kooperation mit dem Fraunhofer-Institut für           sagbar ist. Die durch Simulationen und Messungen
Zuverlässigkeit und Mikrointegration (IZM) wurde         bestimmten Empfindlichkeiten stimmen hervorra-
eine Vorstudie zur Faser-Chip-Kopplung für die           gend überein, so dass auf ISO-Ebene die Normung
photonische Thermometrie erfolgreich abgeschlossen.      dieses Ionisationsvakuummeters als Bezugsnormal
Hierbei konnten Glasfasern mittels eines Laserprozes-    angestoßen werden kann. (K. Jousten, FB 7.5, karl.
ses direkt mit einem mikrostrukturierten Siliziumchip    jousten@ptb.de)
verschweißt werden. Diese sowohl mechanisch als
auch optisch stabile Verbindung zwischen Faser und       WIPANO-Vorhaben „SQUID-Standards“
Chip ermöglicht die Nutzung der photonischen Ther-       abgeschlossen
mometer in einem erweiterten Temperaturbereich.          Im Verbundvorhaben „Spezifikationen und standar-
(S. Krenek, FB 7.4, stephan.krenek@ptb.de)               disierte Charakterisierungsmethoden für SQUID-
                                                         Sensoren“ im Förderprogramm „Wissens- und

12
Abteilungsbericht 2020 – Temperatur und Synchrotronstrahlung

Technologietransfer durch Patente und Normen              Jahre wurde in der PTB mit Röntgenreflektometrie
– WIPANO“ mit den Vorhabenspartnern Magnicon              (XRR) untersucht. (M. Krumrey, FB 7.2, michael.
GmbH (Hamburg und Berlin) und Supracon AG                 krumrey@ptb.de)
(Jena) wurden vereinheitliche Terminologien, Sym-
bole und Einheiten für charakteristische Kenngrößen       Strukturelle Charakterisierung hocheffizienter
von dc-SQUID-Sensoren sowie Messmethoden zur              Perowskit-Solarzellen
deren Bestimmung entwickelt und erprobt. Die              Im Rahmen einer Zusammenarbeit mit dem Helm-
Projektergebnisse wurden in die Arbeitsgruppe             holtz-Zentrum Berlin (HZB) konnte die Kristallstruk-
14 „Supraleitende elektronische Bauelemente“ des          tur von Perowskit-Solarzellen charakterisiert werden,
Technischen Komitees 90 „Supraleitung“ der Interna-       mit denen ein neuer Rekord in der Gesamteffizienz
tional Electrotechnical Commission eingebracht und        für Tandemzellen von über 29 % erreicht wurde. Die
werden internationale technischen Spezifikationen         Strukturanalyse mittels Röntgendiffraktion unter
für die Leistungsparameter von dc-SQUID-Sensoren/         streifendem Einfall (GIWAXS) ermöglichte überdies,
Systemen ermöglichen. Dadurch werden die Markt-           den Einfluss des Temperns auf die Kristallstruktur
transparenz für derartige Bauelemente befördert           und somit die Effizienz zu untersuchen. (D. Skroblin,
und die Erschließung neuer SQUID-Anwendungen,             C. Gollwitzer, FB 7.2, dieter.skroblin@ptb.de, christi-
insbesondere im industriellen Bereich, unterstützt.       an.gollwitzer@ptb.de)
(J. Beyer, FB 7.6, joern.beyer@ptb.de)
                                                          Steady-State-Microbunching an der MLS
Patent für neues Rauschthermometer angemeldet             Die Untersuchungen an der Metrology Light Source
Ein an der PTB entwickeltes neues Konzept zur             (MLS) zum Steady-State-Microbunching, d. h. die
Temperaturmessung mittels elektrischer Widerstände        durch einen Laser dem Elektronenstrahl aufgeprägte
wurde im Oktober beim Deutschen Patent- und               Mikrostruktur in der Größe der Laserwellenlänge, die
Markenamt zum Patent angemeldet. Die Erfindung            mindestens einen Umlauf des Elektronenpakets um
kombiniert die etablierte Thermometrie mit gegebe-        den Speicherring erhalten bleibt, wurden durch die
nenfalls rückgeführten Widerstandsthermometern            Untersuchungen erster Parameterabhängigkeiten er-
und die Rauschthermometrie als eine primäre               folgreich fortgeführt. Auch wurde ein neuer Laser mit
Methode zur Messung der thermodynamischen Tem-            besserer zeitlicher Stabilität installiert und charakteri-
peratur und ist speziell für den industriell relevanten   siert. (R. Klein, FB 7.2, roman.klein@ptb.de, A. Hoehl,
Temperaturbereich von 77 K bis 1000 K interessant.        FB 7.1, arne.hoehl@ptb.de)
Eine sequenzielle Messprozedur und eine spezielle
Datenanalyse unterdrücken parasitäre Einflüsse der        DFG-Projekt zu neuartigen Lithium-Schwefel-
Sensorverdrahtung und des Verstärkers für die Sen-        Batterien
sorauslesung auf die Temperaturmessung. Das neue          Im Schwerpunktprogramm „Polymer-basierte Bat-
Konzept wurde bereits experimentell demonstriert          terien“ der DFG konnte ein Verbundprojekt zur in-
und soll als ein handliches Gerät mit USB-Speisung        operando-Untersuchung von neuen Materialien für
und erdfreier Messelektronik zukünftig auch kom-          Lithium-Schwefel-Batterien mit röntgenanalytischen
merzialisiert werden. (D. Drung, FB 7.6, dietmar.         Methoden eingeworben werden. Partner sind die TU
drung@ptb.de)                                             Chemnitz und die Universität Freiburg. Die Weiter-
                                                          entwicklung der Messtechnik für die Aufnahme von
                                                          hochauflösenden Röntgenemissionsspektren während
Metrologie für die Gesellschaft
                                                          der Zyklisierung der neuen Batterien ist ein wichtiger
                                                          Schwerpunkt der PTB in diesem Projekt. Das im
Langzeitstabilität von Mulitschichichtspiegeln für
                                                          Aufbau befindliche neue Mikrofokus-Strahlrohr für
ATHENA
                                                          tender-X-rays im PTB-Labor bei BESSY II wird die
Für das von der ESA geplante Röntgenobservatorium
                                                          effiziente Durchführung solcher Messungen ermögli-
ATHENA sind Silizium-Porenoptiken vorgesehen,
                                                          chen. (M. Müller, C. Zech, FB 7.2, matthias.mueller@
deren Oberflächen zur Erhöhung des Reflexionsgrads
                                                          ptb.de, claudia.zech@ptb.de)
mit Iridium und Borcarbid (Ir/B4C) beschichtet wer-
den sollen. Die Stabilität dieser Schichten über viele
                                                                                                                 13
Abteilungsbericht 2020 – Abteilung 7

Abschluss des EMPIR Vorhabens AEROMET und                  neuen Schwarzkörper auf eine zweite unabhängige
Start von AEROMET II                                       Weise auf das SI zurückgeführt. Die Konsistenz der
Das von der AG 7.24 koordinierte EMPIR-Projekt             bisherigen Rückführung im Rahmen der angestrebten
AEROsol METrology for atmospheric science and air          Unsicherheit von 0,5 W/m2 konnte gezeigt werden.
quality (AEROMET) ist erfolgreich im September             (M. Feierabend, FB 7.3, moritz.feierabend@ptb.de)
2020 abgeschlossen worden. Die PTB war mit refe-
renzprobenfreier Röntgenspektrometrie beteiligt, um        Charakterisierung der Prototypen der FORUM Re-
mit der quantitativen Untersuchung von Proben aus          ferenzsschwarzkörper
Feldmesskampagnen die mit Labormessgeräten erhal-          Im Rahmen der Phase B1 der Entwicklung des Earth
tenen Ergebnisse zu validieren. Das ebenfalls von 7.24     Explorers 9 der ESA: FORUM (Far-infrared Outgoing
koordinierte Nachfolgeprojet AEROMET II wurde              Radiation Understanding and Monitoring) wurden die
mit einem virtuellen Kick-off Meeting erfolgreich ge-      Prototypen für die on-board-Referenzschwarzkörper
startet. (Y. Kayser, B. Beckhoff, FB 7.2, yves.kayser@     der beiden derzeit noch konkurrierenden Herstel-
ptb.de, burkhard.beckhoff@ptb.de)                          lerkonsortien charakterisiert. Beide Schwarzkörper
                                                           wurden im Bereich von 6 µm bis 100 µm vollständig
Abschluss des EMPIR Vorhabens ADVENT                       spektral vermessen, und es konnte gezeigt werden,
Das EMPIR-Projekt ADVanced ENergy-saving Tech-             dass beide Schwarzkörperkonzepte für die spätere
nology (ADVENT), an dem die PTB mit Röntgen-               Anwendung als Referenzquelle auf dem FORUM-
und Infrarot-Spektroskopie (FTIR) zur zeitaufgelös-        Satelliten geeignet sind. (C. Monte, FB 7.3, christian.
ten Untersuchung von piezoelektrischen Materialien         monte@ptb.de)
beteiligt war, wurde erfolgreich im August 2020
abgeschlossen. (B. Kästner, FB 7.1, Y. Kayser, FB 7.2,     Rückführung des EUMETSAT Polar System
bernd.kaestner@ptb.de, yves.kayser@ptb.de)                 Satelliten-Programms
                                                           Ziel der Kooperation der PTB mit dem Centre Spatial
Horizon-2020-Vorhaben CHALLENGES gestartet                 de Liege (CSL) war die Rückführung des Optical
Das Horizon-2020-Projekt Real-time nano CHArac-            Ground Support Equipment (OGSE) des CSL auf
terization reLatEd techNoloGiES (CHALLENGES),              das SI für die radiometrische Charakterisierung der
dessen Workpackage zur Standardisierung vom FB             Multi-Viewing, Multi-Channel, Multi-Polarization
3.1 und der AG 7.24 gemeinsam geleitet wird, wurde         Imaging Mission (3MI) des EUMETSAT Polar System
erfolgreich mit einem virtuellen Kick-off Meeting          Satelliten-Programms der 2. Generation (2023 bis
gestartet. Die PTB wird u.a. zur Bewertung und             2037). Die Aufgabe des 3MI-Instruments ist das Mo-
Standardisierung von industriellen Messverfahren in        nitoring von Aerosolen als eine der wesentlichen Va-
den Bereichen Nanoelektronik und Photovoltaik bei-         riablen für Klimamodelle. Dazu wurde ein neuartiges
tragen. (R. Stosch, FB 3.1, B. Beckhoff, FB 7.2, rainer.   Strahldichtenormal, auf der Basis einer Ulbrichtkugel
stosch@ptb.de, burkhard.beckhoff@ptb.de)                   und einer LDLS-Strahlungsquelle, dessen optische
                                                           Strahlung über optische Fasern eingekoppelt wird, in
IR-Strahlungsmessungen der Atmosphäre werden               12 spektralen Kanälen im Spektralbereich von 390 nm
präziser                                                   bis 2170 nm mit dem Primärnormal für spektrale
Die PTB hat einen neuen Referenz-Schwarzkörper             Strahldichte der PTB verglichen. Im gesamten Spek-
entwickelt, der für die Kalibrierung von IR-Detek-         tralbereich konnten erweiterte Messunsicherheiten
toren mit einem hemisphärischen Akzeptanzwinkel            (k = 2) der spektralen Strahldichte kleiner als 1,5 %
optimiert ist. Derartige Detektoren werden vom             erreicht werden. (D. Taubert, FB 7.3, dieter.taubert@
Baseline Surface Radiation Network (BSRN) zum Mes-         ptb.de)
sen der atmosphärischen Gegenstrahlung eingesetzt.
Die Rückführung geschieht auf die World Infrared
Standard Group (WISG) am Physikalisch-Meteo-
rologisches Observatorium Davos (PMOD). Die
WISG wurde nun im Rahmen des EMPIR-Projekts
MetEOC3 durch die Charakterisierung mit dem

14
Abteilungsbericht 2020 – Temperatur und Synchrotronstrahlung

Erfolgreich abgeschlossene PTB-Forschungsar-              Internationale Zusammenarbeit
beiten zur Normneufassung CEN prEN 1434:2020
Thermal Energy Meters                                     Beratung von Entwicklungsländern zu
Im Jahr 2020 wurde die Erweiterung der zur MID            berührungslosen Körpertemperaturmessungen
harmonisierten Fachgrundnorm prEN 1434:2020 zur           Die COVID-19 Pandemie stellt insbesondere
europäischen Schlussabstimmung veröffentlicht, die        Entwicklungs- und Schwellenländer vor große Her-
wesentlich auf Forschungsarbeiten und Gremienar-          ausforderungen in Bezug auf die Leistungsfähigkeit
beiten der PTB beruht. Kerninhalte sind messtech-         der Qualitätsinfrastruktur im Gesundheitswesen.
nisch abgesicherte Prognosen der Messbeständigkeits-      In Zusammenarbeit mit der Gruppe 9.3 hat der
dauer, Verwendung von Wasser-Glykol-Gemischen             Fachbereich 7.3 die Länder Ghana, Uganda, Ruanda,
als Wärmeträgermedium, Teststrategien zum mess-           Georgien und Mongolei bei dem Aufbau von Messka-
technischen Verhalten gestörter Zulaufströmungsbe-        pazitäten und der Rückführung der messtechnischen
dingungen sowie Anforderungen zur Störabstandsun-         Normale für die berührungslose Bestimmung von
tersuchungen unter elektromagnetischen Fern- und          Körpertemperaturen durch Beratung bei der Auswahl
Nahfeldbedingungen. Außerdem wurden normierte             geeigneter Messmittel, Hilfestellung bei der Durch-
Richtlinien für Auswahl, Einbau und Betrieb ther-         führung der Messungen entsprechend geltender
mischer Energiemessgeräte im gesetzlich geregelten        Normen sowie durch Kalibrierung von geeigneten
Bereich unter maßgeblicher PTB-Mitwirkung zur             Referenz-Infrarotstrahlern unterstützt. (I. Müller,
europäischen Schlussabstimmung im Fachbericht             FB 7.3, ingmar.mueller@ptb.de)
prCEN/TR 00176037:2020 veröffentlicht. (J. Rose,
FB 7.5, juergen.rose@ptb.de)                              Schlüsselvergleich mit dem Staatsinstitut von
                                                          Russland abgeschlossen
Entwicklung von Mikrowellen-SQUID-Multiplexern            Die Sicherstellung der messtechnischen Rückführung
zur Auslesung supraleitender Strahlungsdetektoren         der Staaten im Euro-Asiatischen Raum (COOMET)
SQUID-basierte Strommessung ist die Methode der           für Temperaturmessgrößen erfolgt nahezu aus-
Wahl, um sogenannte Transition Edge Sensors (TESs),       schließlich durch das Staatsinstitut von Russland. Zur
supraleitenden Detektoren für Teilchen und Strah-         Absicherung der internationalen Vergleichbarkeit hat
lung, auszulesen. Für Messsysteme mit hunderten           der Fachbereich Temperatur einen bilateralen Schlüs-
oder tausenden TES-Detektoren sind SQUID-Multi-           selvergleich mit dem russischen Staatsinstitut durch-
plexer erforderlich. In einem in diesem Jahr begonnen     geführt und durch die sehr gute Übereinstimmung die
Horizon-2020-Vorhaben der EU beteiligt sich die           Konsistenz der Skalenrealisierungen nachgewiesen.
PTB an der Entwicklung von Mikrowellen-SQUID-             (S. Rudtsch, FB 7.4, steffen.rudtsch@ptb.de)
Multiplexern. Die Fachbereiche 2.4 und 7.6 koope-
rieren in dem Projekt AHEAD 2020 mit Partnern der         Vergleich von Hochvakuumskalen abgeschlossen
Space Research Organisation Netherlands (SRON) und        In den letzten drei Jahren wurde der Vergleich
dem National Institute of Advanced Industrial Science     EURAMET.M.P-K15.1 zum Vergleich der Vakuums-
and Technology in Japan (AIST). Die PTB wird kom-         kalen von 10–4 Pa bis 1 Pa durchgeführt. Einbezogen
plexe Mikrowellen-SQUID-Multiplexer-Schaltungen           waren neben der PTB als Pilotlabor das früher von
entwickeln und herstellen, die speziell für TES-basier-   der DAkkS akkreditierte Nationale Metrologieinstitut
te, abbildende Röntgen-Spektrometrie für zukünftige       NIMT aus Thailand, das designierte Institut IMT aus
astronomische Instrumente ausgelegt sind. (J. Beyer,      Slowenien, und TÜBITAK-UME aus der Türkei. Die
FB 7.6, joern.beyer@ptb.de)                               PTB stellte den Referenzwert zum Schlüsselvergleich
                                                          CCM.P-K15 her. Alle En-Werte waren kleiner als
                                                          0,6, so dass sowohl das NIMT als auch das IMT neue
                                                          CMC-Einträge bei der Datenbank des BIPM begrün-
                                                          den können. (K.Jousten, FB 7.5, Karl.Jousten@ptb.de)

                                                                                                             15
Abteilungsbericht 2020 – Abteilung 7

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Physikalisch-Technische Bundesanstalt
Abbestraße 2–12                                        Die Physikalisch-Technische Bundesanstalt,
10587 Berlin                                           das nationale Metrologieinstitut, ist eine
Abteilung 7 | Temperatur und Synchrotronstrahlung      wissenschaftlich-technische Bundesoberbehörde
                                                       im Geschäftsbereich des Bundesministeriums für
Assistenz                                              Wirtschaft und Energie.
Margit Kleinsorge
Telefon: (030) 3481-7464
Telefax: (030) 3481-7503
E-Mail: margit.kleinsorge@ptb.de
https://www.ptb.de/cms/ptb/fachabteilungen/abt7.html

Stand: 3 / 2021
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